CV92M      Appareil manuel C-V par contact mercure

Le modèle manuel CV92M, est une station manuelle permettant la caractérisation de couche semi-conductrice par contact mercure.
L'échantillon est positionné sur un chuck au-dessus d'une sonde contenant la goutte de mercure. Lorsque l'utilisateur actionne le bouton poussoir, la sonde se rapproche de l'échantillon et une infime goutte de mercure et libérée afin d'assurer le contact électrique. Les mouvements du chuck sont motorisés et un panneau de contrôle permet de lire sa position en temps réel. La sonde et le chuck connecté en BNC, permettent la communication avec un appareil source-mesure externe (qui peut être fourni).
CV92M est parfaitement adapté pour des utilisateurs qui cherche à faire de mesure via contact mercure à faible coût, de manière sécurisée et facile d'utilisation.

Surface mesurables:

- Silicium pure
- Carbure de silicium (SiC)
- SOI
- Film à faible et fort K
- Couche d'oxyde très fines
- Fibre de carbone
- Couche USJ
- Jusqu'a 300mm de diamètre

Spécifications :

• Capacité mesurable : 0 à 20nF
• Plage de mesure de courant : 50fA à 1mA
• Taille d'échantillon : de 10x10mm à 300x300mm
• Aire minimale de contact : 2E-5 cm2
• Ultra répétable
• Différents type de mesure (1pt, Rayon, Ligne)

Application :

- Contrôle de l'intégrité des oxydes minces
- Profilage de la densité de dopage
- Mesures de résistivité de matériaux semi-isolants et fibre de carbone
- Caractérisation pseudo MOST des structures SOI
- Mesure sur films avec fort et faible K (couche USJ)
- Etudes d'échantillons ferroélectriques
- Caractérisation des nouveaux matériaux type carbure de silicium (SiC)