Appareils de mesure par contact Mercure

Les appareils de la série CVMap permettent de mesurer-caractériser-monitorer un grand nombre de paramètres sur les matériaux semi-conducteurs sur la qualité des procédés eux-mêmes

• Acceptent des plaquettes de toute taille jusqu'à 300 mm
• Chargement manuel ou automatique
• Modèles spécifiques à 3 points de contact pour matériaux à substrats isolants (SOI..)
• Appareils combinés mesure de résistivité et mesures C(V) permettant de caractériser les USJ (Ultra-Shallow Junction)

Le contact Mercure permet de s'affranchir des dommages causés par des pointes et de mesurer ainsi sur des couches sensibles