Les appareils de la série CVMap permettent de mesurer-caractériser-monitorer un grand nombre de paramètres sur les matériaux semi-conducteurs sur la qualité des procédés eux-mêmes
  • Acceptent des plaquettes de toute taille jusqu'à 300 mm
  • Chargement manuel ou automatique
  • Modèles spécifiques à 3 points de contact pour matériaux à substrats isolants (SOI..)
  • Appareils combinés mesure de résistivité et mesures C(V) permettant de caractériser les USJ (Ultra-Shallow Junction)
Le contact Mercure permet de s'affranchir des dommages causés par des pointes et de mesurer ainsi sur des couches sensibles
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