Croissance de couche électronique par RTP (Rapid Thermal Processor)

Le procédé RTP utilise une élévation rapide de température dans une atmosphère contrôlée afin de faire croître une couche semi-conductrice (oxyde...) sur un matériau semi-conducteur par un procédé simple et reproductible. Notre gamme d'appareils RTP est destinée à un usage laboratoire pour des plaquettes jusqu'à 100mm
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