Notre famille de produits 1 : Equipements et accessoires pour caractérisation électrique des matériaux semi-conducteurs
De nouveau produits arrivent : Conditionneur thermique pour test en température, appareil 4 pointes avec logiciel évolutif…

CM210/310      Station checkmate submicronique

CM210/310      Station checkmate submicronique

Images Produit Spécifications techniques Produits associés

Spécifications techniques

La série Checkmate représente l'état de l'art pour des stations de tests sous pointes disponibles en version pour puce individuelle jusqu'au wafer 200 mm ou 300 mm

  • Toutes les stations sont "upgradables" d'une version à l'autre (sur site pour la plupart)
  • Totalement contrôlable par accès GPIB (version motorisée)
  • Test sur carte imprimée, avec carte à pointes, sur dispositif en boitier...
  • Un grand nombre d'accessoires permet de répondre à toutes les applications, dont la caractérisation en froid -65°C et les mesures femtoamp
  • L'équipement idéal pour caractérisation, validation design, analyse de défaillances...
  • Version RF disponible

Références courantes

  • CM210x : Version 200 mm
  • CM310 : Version 300 mm

Taille wafer

200 mm

Déplacement X-Y du chuck

200/300 mm

Maintien de l'échantillon

Vide, réglage par zones

Méthode d'entrainement

Déplacement Z chuck

En contact / séparé

Résolution

Pneumatique

Répétabilité

2 µm

Réglage théta

+- 7,5 Degrés

Résolution théta

0,35 / 0,55 °

Déplacement Z plateau

2" (50 mm) avec blocage

Bloquage rotation

Oui

Manette contact/non contact du plateau

4,5 mm avec une répétabilité de +/- 1 um

Plateau

Acier pour micropositionneurs à vide ou magnétique

Pont optique

Pont optique avec déplacement X-Y de 50mm. Résolution: 50 TPI. Bloque focus en Z de 100mm

Option

Cartes à pointes, boite noire, chuck chauffant, chuck triaxial...

Produits associés

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Sonde multi-signaux personnalisable. Mixage de pointes DC et RF possibleMontage sur positionneur RFProduit économique et personnalisable selon application ...
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