CM465      Station de test sous pointes 6'' semi-automatique

Description Spécifications techniques Documents Produits associés

CM465      Station de test sous pointes 6'' semi-automatique

Description Spécifications techniques Documents Produits associés

Référence

CM465

Désignation

Station de test sous pointes 6'' semi-automatique

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Description

Station de test sous pointes semi-automatique permettant la caractérisation électrique d'un wafer complet jusqu'à 150 mm (6'').

- Logiciel de mapping, auto-alignement, reconnaissance de pattern, autofocus...
- Plateau X-Y piloté par moteur à induction linéaire et encodeur optique de grande précision
- Application sur cartes à pointes possible
- Mesures hautes tensions (HV - 10kV) et faibles courants (fA)
- Système développé pour la validation design (R&D) et rendement de production

DOCUMENTS

Spécifications techniques

Taille du wafer

Maintien de l'échantillon

Mouvement du chuck

Déplacement X-Y du chuck

Matériau du chuck

Résolution

Répétabilité

Précision

Déplacement Z chuck

Répétabilité Z chuck

Planéité

Réglage de planéité du chuck

Réglage théta

Ajustement Z plateau

Manette contact/non contact du plateau

Plateau

Mouvement du pont optique

Déplacement du pont optique

Chuck sur glissière pour faciliter le chargement

Option

150 mm

Anneaux de vide, réglage par zones

Semi-automatique

150 mm

Nickel

1 µm

3 µm

10 µm

12.5 mm

1 µm

< 10 µm

Oui

20 Degrés

35mm avec bloquage

4 mm avec une répétabilité de +/- 1 µm

Acier pour micropositionneurs à vide ou magnétique

Manuel

X-Y 50x50mm - Résolution 10µm

Oui

Cartes à pointes, boite noire, chuck thermique, chuck triaxial...

Produits associés

MWPHV-3 - Pointe Haute Tension 3kV
Pour des applications de mesures sous pointes nécessitant des tensions de plusieurs milliers de volts, la pointe HVP (High Voltage Probe) fournit une connexion triaxiale pour des mesures haute tension - faible courant optimales, les embouts de pointes sont remplaçables.

• Versions triax et coax modèles HVP-3-TX et HVP-3-CX
• Un élément de notre configuration forte puissance PowerPro
• Specs PowerPro 3kV triax / 10kV coax, 450A pulsed / 10A DC
• Type de connecteur à spécifier
SP100-x - Micropositionneur haute précision SP100
Ce micropositionneur de haute précision avec boutons de mouvements en ligne permet de poser des pointes de test sur des plots ou sur des lignes avec une précision de l'ordre du micromètre.

- Descente de la pointe totalement verticale
- Option tête pivotante (plongée rapide pour pré-positionnement Z puis mouvement fin) ou Standard avec molette Z
- Les molettes de réglage en ligne avec vis micrométriques (100TPI) permettent une densité optimale sur le plateau
S926P-x - Micropositionneur de précision S926 avec tête pivotante
Ce micropostionneur offre un encombrement minimal et permet de poser des pointes de test sur des plots ou sur des lignes avec une précision de l'ordre du micromètre.

- Version de tête pivotante (idéale pour les station de test sous pointe avec une descente rapide en Z et positionnement fin)
- Egalement disponibles en version tête à ressort (limite la pression de la pointe : S926S-x) ou tête fixe (S926C-x)
MS12Z - Microscope mono objectif
Ce microscope est composé d'un mono-objectif avec un zoom interne inclus.
Il permet un grande plage de grossissement sans l'inconvénient de la tourelle pour des applications de tests sous pointes.


- Compact et léger
- Grande distance de travail (idéal pour applications hautes fréquences)
- Montage C pour caméra
- Grande luminosité (éclairage par fibre optique)
Pour toute information, devis, commande ou demande de rendez-vous avec un spécialiste technico-commercial. +33 (0)476 561 617

5 rue de la Verrerie

38120 Le Fontanil-Cornillon

Grenoble / France

Fax : +33(0) 476 757 484

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