WL210E      Station de test sous pointes 8'', manuelle avec chambre locale

Description Spécifications techniques Documents Produits associés

WL210E      Station de test sous pointes 8'', manuelle avec chambre locale

Description Spécifications techniques Documents Produits associés

Description

Cette station de test sous pointes est dérivée de la gamme Checkmate. Elle est munie en complément d'une chambre locale permettant des mesures en températures (chaud/froid) ou permet d'effectuer des mesures très faible courant.

- Mesures fA (faibles courants)
- Isolation lumineuse
- Blindage électrique
- Configurations : 4 ports HF ou 8 ports DC/Kelvin ou combinaison HF/DC
- Existe en 300mm
- Adaptation possible d'un chuck hautes performances ERS (refroidissement à air, température de -60°C à +300°C)

Références courantes :

  • WL210E : Version 200 mm

DOCUMENTS

Spécifications techniques

Taille du wafer

Maintien de l'échantillon

Mouvement du chuck

Déplacement X-Y du chuck

Matériau du chuck

Résolution

Précision

Déplacement Z chuck

Planéité

Réglage de planéité du chuck

Réglage théta

Résolution théta

Bloquage rotation

Ajustement Z plateau

Manette contact/non contact du plateau

Plateau

Mouvement du pont optique

Déplacement du pont optique

Dégagement du microscope

Chuck de calibration

Chambre locale

Isolation lumineuse

Blindage EMI

Chuck sur glissière pour faciliter le chargement

Option

200 mm

Trous de vide, réglage par zones

Motorisé

200 mm

Nickel

Rapide 10 TPI - Fin 100 TPI

1 µm

250µm - Pneumatique

< 10 µm

Oui

+/- 6 Degrés

< 0.1 Degrés

Oui

38mm avec blocage

4 mm avec une répétabilité de +/- 1 µm

Acier pour micropositionneurs à vide ou magnétique

Manuel

X-Y 50x50mm - Résolution 10µm

100mm vertical - Pneumatique

1 chuck de calibration avec réglage angulaire indépendant

Oui

> 130 dB

> 30 dB @ 1kHz et 1MHz

Oui

Chuck chaud/froid, puissance PowerPro

Produits associés

SM40 - Micropositionneur RF & Microwave
Ce micropositionneur est spécifiquement conçu pour recevoir des pointes multicontact de configuration coplanaire, il dispose de déplacements de 25mm sur chaque axe et d'un système de prévention de mouvement intempestif de la pointe (cross roller bearing).

- Ultra-stable avec fixation par vis sur le plateau (option base magnétique)
- Molette de réglage de co-planarité pour les pointes multixontact (GS, GSG, GSGSG, ...)
- Disponible avec différentes orientations pour montage de la tête RF (Nord, Sud, Est, Ouest).
MWRF-40A - Sonde RF 40 GHz
Une gamme de sondes dédiées RF Microwave de DC à 40GHz en configuration GSG, SG, GS ou ''dual'' (2 sondes sur un positionneur).

• Ces sondes sont disponibles pour différents espacements (pitch) de 25µm à 2540µm
• Plusieurs styles de montage sur le positionneur
• Connecteur K femelle 2,9mm
• Disponibles en BeCu, Nickel ou Tungstène
• Option Non Magnétique
• Options haute température et fort courant/forte tension nous consulter
SP100-x - Micropositionneur haute précision SP100
Ce micropositionneur de haute précision avec boutons de mouvements en ligne permet de poser des pointes de test sur des plots ou sur des lignes avec une précision de l'ordre du micromètre.

- Descente de la pointe totalement verticale
- Option tête pivotante (plongée rapide pour pré-positionnement Z puis mouvement fin) ou Standard avec molette Z
- Les molettes de réglage en ligne avec vis micrométriques (100TPI) permettent une densité optimale sur le plateau
MS12Z - Microscope mono objectif
Ce microscope est composé d'un mono-objectif avec un zoom interne inclus.
Il permet un grande plage de grossissement sans l'inconvénient de la tourelle pour des applications de tests sous pointes.


- Compact et léger
- Grande distance de travail (idéal pour applications hautes fréquences)
- Montage C pour caméra
- Grande luminosité (éclairage par fibre optique)
MW-ERS-AC3 - Chuck thermique
Depuis 50 ans ERS développe des chucks thermiques compatible avec toutes les stations de test sous pointe.

Ils possèdent les propriétés suivantes :
- Haute température : 300°C
- Basse température : une technologie brevetée à flux d'air permet le refroidissement jusqu'à -60°C
- Chuck TRIAX pour mesure faible courant (FemtoAmp)
- Chuck Haute tension
- Chuck non magnétique
Pour toute information, devis, commande ou demande de rendez-vous avec un spécialiste technico-commercial. +33 (0)476 561 617

5 rue de la Verrerie

38120 Le Fontanil-Cornillon

Grenoble / France

Fax : +33(0) 476 757 484

RCS Grenoble B 381 001 171 - APE 4652Z

TVA FR 48 381 001 171