WL210-310      Station de test sous pointes HF manuelle haute précision

Description Spécifications techniques Documents Produits associés

WL210-310      Station de test sous pointes HF manuelle haute précision

Description Spécifications techniques Documents Produits associés

Référence

WL210-310

Désignation

Station de test sous pointes HF manuelle haute précision

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Description

La série WaveLink représente les stations de tests sous pointes HF les plus abouties, disponible jusqu'au wafer 300 mm.

- Non résonance de l'ensemble jusqu'à 500 GHz
- Toutes les stations sont "upgradables" d'une version à l'autre
- Version manuelle ou semi-automatique
- Caractérisation en température optionnelle (-60°C à +300°C)
- Peut accueillir jusqu'à 4 micropositionneurs RF et 4 micropositionneurs DC simultanément

RÉFÉRENCES COURANTES

WL210 : Version 200 mm
WL310 : Version 300 mm

Spécifications techniques

Taille du wafer

Maintien de l'échantillon

Mouvement du chuck

Déplacement X-Y du chuck

Matériau du chuck

Résolution

Précision

Déplacement Z chuck

Planéité

Réglage de planéité du chuck

Réglage théta

Résolution théta

Bloquage rotation

Ajustement Z plateau

Manette contact/non contact du plateau

Plateau

Mouvement du pont optique

Déplacement du pont optique

Dégagement du microscope

Chuck de calibration

Chuck sur glissière pour faciliter le chargement

Option

200 ou 300 mm

Trous de vide, réglage par zones

Manuelle

200/300 mm

Nickel

0.1 µm

1 µm

250µm - Pneumatique

< 10 µm

Oui

+/- 6 Degrés

< 0.1 Degrés

Oui

38mm avec blocage

4 mm avec une répétabilité de +/- 1 µm

Acier pour micropositionneurs à vide ou magnétique

Manuel

X-Y 50x50mm - Résolution 10µm

100mm vertical - Pneumatique

1 chuck de calibration avec réglage angulaire indépendant

Optionel

Cartes à pointes, boite noire, chuck thermique, chuck triaxial...

Produits associés

SM40 - Micropositionneur RF & Microwave
Ce micropositionneur est spécifiquement conçu pour recevoir des pointes multicontact de configuration coplanaire, il dispose de déplacements de 25mm sur chaque axe et d'un système de prévention de mouvement intempestif de la pointe (cross roller bearing).

- Ultra-stable avec fixation par vis sur le plateau (option base magnétique)
- Molette de réglage de co-planarité pour les pointes multixontact (GS, GSG, GSGSG, ...)
- Disponible avec différentes orientations pour montage de la tête RF (Nord, Sud, Est, Ouest).
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MWRF-110H - Sonde RF 110 GHz
Une gamme de sondes dédiées RF Microwave de DC à 110GHz en configuration GSG, SG, GS ou ''dual'' (2 sondes sur un positionneur).

• Ces sondes sont disponibles pour différents espacements (pitch) de 25 à 1250µm.
• Plusieurs styles de montage sur le positionneur
• Connecteur femelle 1mm
• Disponibles en BeCu ou Tungstène
• Option non magnétique, nous consulter
MWRF-67A - Sonde RF 67 GHz
Une gamme de sondes dédiées RF Microwave de DC à 67GHz en configuration GSG, SG, GS ou ''dual'' (2 sondes sur un positionneur).

• Ces sondes sont disponibles pour différents espacements (pitch) de 25 à 1250µm.
• Plusieurs styles de montage sur le positionneur
• Connecteur V femelle 1,85mm
• Disponibles en BeCu ou Tungstène
• Option Non Magnétique
• Option haute température et forte puissance, nous consulter
MS12Z - Microscope mono objectif
Ce microscope est composé d'un mono-objectif avec un zoom interne inclus.
Il permet un grande plage de grossissement sans l'inconvénient de la tourelle pour des applications de tests sous pointes.


- Compact et léger
- Grande distance de travail (idéal pour applications hautes fréquences)
- Montage C pour caméra
- Grande luminosité (éclairage par fibre optique)
MW-ERS-AC3 - Chuck thermique
Depuis 50 ans ERS développe des chucks thermiques compatible avec toutes les stations de test sous pointe.

Ils possèdent les propriétés suivantes :
- Haute température : 300°C
- Basse température : une technologie brevetée à flux d'air permet le refroidissement jusqu'à -60°C
- Chuck TRIAX pour mesure faible courant (FemtoAmp)
- Chuck Haute tension
- Chuck non magnétique
Pour toute information, devis, commande ou demande de rendez-vous avec un spécialiste technico-commercial. +33 (0)476 561 617

5 rue de la Verrerie

38120 Le Fontanil-Cornillon

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