WL250-350      Station de test sous pointes semi-automatique HF

Description Spécifications techniques Documents Produits associés

WL250-350      Station de test sous pointes semi-automatique HF

Description Spécifications techniques Documents Produits associés

Référence

WL250-350

Désignation

Station de test sous pointes semi-automatique HF

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Description

Station de test sous pointes semi-automatique permettant la caractérisation électrique hautes fréquences d'un wafer complet jusqu'à 300 mm (12'').

- Logiciel de mapping, auto-alignement, reconnaissance de pattern, autofocus...
- Application sur cartes à pointes possible
- Caractérisation en température entre -60°C et +300°C
- Mesures HF jusqu'à 110 GHz
- Système développé pour la validation design (R&D) et rendement de production
- Configurations : jusqu'à 4 ports HF (N, S, E, O) et 4 DC
- Chambre locale optionnelle pour blindage EMI et isolation lumineuse


RÉFÉRENCES COURANTES

WL250 : Version 200 mm
WL350 : Version 300 mm
WL250-LE : Version 200 mm avec chambre locale
WL350-LE : Version 300 mm avec chambre locale

Spécifications techniques

Taille du wafer

Maintien de l'échantillon

Mouvement du chuck

Déplacement X-Y du chuck

Matériau du chuck

Résolution

Répétabilité

Précision

Déplacement Z chuck

Répétabilité Z chuck

Planéité

Réglage de planéité du chuck

Réglage théta

Résolution théta

Répétabilité théta

Ajustement Z plateau

Manette contact/non contact du plateau

Plateau

Mouvement du pont optique

Déplacement du pont optique

Chuck de calibration

Chuck sur glissière pour faciliter le chargement

Chambre locale

Option

200 ou 300 mm

Trous de vide, réglage par zones

Semi-automatique

200/300 mm

Nickel

0.5 µm

7 µm

5 µm

12.5 µm

1 µm

< 10 µm

Oui

+/- 7.5 Degrés

0.000035 Degrés

< 1.5 µm

38mm avec blocage

4 mm avec une répétabilité de +/- 1 µm

Acier pour micropositionneurs à vide ou magnétique

Motorisé

X-Y 50x50mm - Résolution 10µm

1 chuck de calibration avec réglage angulaire indépendant

Optionel

Optionnelle

Cartes à pointes, boite noire, chuck thermique, chuck triaxial...

Produits associés

SM40 - Micropositionneur RF & Microwave
Ce micropositionneur est spécifiquement conçu pour recevoir des pointes multicontact de configuration coplanaire, il dispose de déplacements de 25mm sur chaque axe et d'un système de prévention de mouvement intempestif de la pointe (cross roller bearing).

- Ultra-stable avec fixation par vis sur le plateau (option base magnétique)
- Molette de réglage de co-planarité pour les pointes multixontact (GS, GSG, GSGSG, ...)
- Disponible avec différentes orientations pour montage de la tête RF (Nord, Sud, Est, Ouest).
MWRF-50A - Sonde RF 50 GHz
Une gamme de sondes dédiées RF Microwave de DC à 50GHz en configuration GSG, SG, GS ou ''dual'' (2 sondes sur un positionneur).

• Ces sondes sont disponibles pour différents espacements (pitch) de 25 à 1250µm.
• Plusieurs styles de montage sur le positionneur
• Connecteur femelle 2,4mm
• Disponibles en BeCu ou Tungstène
• Option Non Magnétique
• Option haute température et forte puissance, nous consulter
SM90 - Micropositionneur RF & Microwave
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- Ultra-stable avec fixation par vis sur le plateau (option base magnétique)
- Molette de réglage de co-planarité pour les pointes multixontact (GS, GSG, GSGSG, ...)
- Disponible avec différentes orientations pour montage de la tête RF (Nord, Sud, Est, Ouest).
MWRF-67A - Sonde RF 67 GHz
Une gamme de sondes dédiées RF Microwave de DC à 67GHz en configuration GSG, SG, GS ou ''dual'' (2 sondes sur un positionneur).

• Ces sondes sont disponibles pour différents espacements (pitch) de 25 à 1250µm.
• Plusieurs styles de montage sur le positionneur
• Connecteur V femelle 1,85mm
• Disponibles en BeCu ou Tungstène
• Option Non Magnétique
• Option haute température et forte puissance, nous consulter
MS12Z - Microscope mono objectif
Ce microscope est composé d'un mono-objectif avec un zoom interne inclus.
Il permet un grande plage de grossissement sans l'inconvénient de la tourelle pour des applications de tests sous pointes.


- Compact et léger
- Grande distance de travail (idéal pour applications hautes fréquences)
- Montage C pour caméra
- Grande luminosité (éclairage par fibre optique)
MWRF-ECP40 - Sonde RF 40 GHz
Une gamme de sondes dédiées RF Microwave de DC à 40GHz en configuration GSG, SG, GS

• Ces sondes sont disponibles pour différents espacements (pitch) de 100µm à 2500µm par pas de 25µm
• Plusieurs styles de montage sur le positionneur
• Option Non Magnétique, nous consulter
MW-ERS-AC3 - Chuck thermique
Depuis 50 ans ERS développe des chucks thermiques compatible avec toutes les stations de test sous pointe.

Ils possèdent les propriétés suivantes :
- Haute température : 300°C
- Basse température : une technologie brevetée à flux d'air permet le refroidissement jusqu'à -60°C
- Chuck TRIAX pour mesure faible courant (FemtoAmp)
- Chuck Haute tension
- Chuck non magnétique
Pour toute information, devis, commande ou demande de rendez-vous avec un spécialiste technico-commercial. +33 (0)476 561 617

5 rue de la Verrerie

38120 Le Fontanil-Cornillon

Grenoble / France

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