Notre famille de produits 1 : Equipements et accessoires pour caractérisation électrique des matériaux semi-conducteurs
De nouveau produits arrivent : Conditionneur thermique pour test en température, appareil 4 pointes avec logiciel évolutif…

WL210e/310e      Station manuelle avec chambre locale

WL210e/310e      Station manuelle avec chambre locale

Images Produit Spécifications techniques Produits associés

Spécifications techniques

Cette station de test est dérivée de la gamme submicronique Checkmate. Elle est munie en complément d'une chambre locale permettant des mesure en température (chaud/froid) ou permet d'effectuer des mesures très faible courant.

  • Le déplacement du chuck est motorisé pour une grande précision de déplacement
  • WL210e compatible avec l'option forte puissance PowerPro
  • Modèle WL210e => 200mm max, WL310e => 300mm

Références courantes

  • WL210e : Version 200 mm
  • WL310e : Version 300 mm

Taille wafer

200

Maintien de l'échantillon

Vide, réglage par zones

Bloquage rotation

Oui

Manette contact/non contact du plateau

4,5 mm avec une répétabilité de +/- 1 um

Plateau

Acier pour micropositionneurs à vide ou magnétique

Pont optique

Pont optique avec déplacement X-Y de 50mm. Résolution: 50 TPI. Bloque focus en Z de 100mm

Option

Chuck chaud/froid, puissance PowerPro

Produits associés

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