S1160      Station manuelle multi-applications

Description Spécifications techniques Documents Produits associés

S1160      Station manuelle multi-applications

Description Spécifications techniques Documents Produits associés

Description

Station de test sous pointes pour analyses de précision telles que IV, CV, sur puces seules, sur wafers, sur composants...
Modulaire, la S1160 permet d'accueillir plusieurs options et accessoires pour une multitudes d'applications (température, mesures faibles courants...).


- Elévation rapide du plateau par bras manuel (contact / non contact)
- Accepte microscopes binoculaire et trinoculaire
- Wafers jusqu'à 8'' (Wafers 200mm)
- Réglage angulaire du Wafer
- Permet d'accueillir jusqu'à 8 micropositionneurs DC ou une carte à pointes
- Châssis massif pour une meilleure stabilité

REFERENCES COURANTES

S1160A-8N : Mouvement du pont optique pour microscope à tourelle
S1160B-8N : Mouvement du pont optique pour microscope trinoculaire stéréozoom
S1160C-8N : Pont optique fixe pour microscope trinoculaire stéréozoom

DOCUMENTS

Spécifications techniques

Maintien de l'échantillon

Anneaux de vide, réglage par zones

Mouvement du chuck

Manuel

Déplacement X-Y du chuck

200 mm

Matériau du chuck

Nickel

Résolution

1.6 TPI

Déplacement Z du chuck

Non

Réglage de planéité du chuck

Oui

Planéité

< 10 µm

Réglage théta

360 Degrés

Bloquage en rotation

Non

Ajustement Z du plateau

30 mm

Manette contact/non contact du plateau

10 mm avec une répétabilité de +/- 1 µm

Matériau du plateau

Acier pour micropositionneurs à vide ou magnétique

Type de mouvement du pont optique

Manuel

Déplacement X-Y du pont optique

X-Y 50x50mm - Résolution 10µm

Optique compatible

Microscope stéréozoom

Option

Microscope, chuck chauffant, carte à pointes...

Produits associés

S47 - Adaptateur de carte à pointes
Cette fixation mécanique permet de fixer une carte à pointes rectangulaire de 4,5" (114 mm) de large sur une station de tests sous pointes.

- Permet d'alimenter le dispositif par plusieurs pointes tout en effectuant des poses de pointes ciblées sur le milieu de la puce ou sur des plots internes de test
- Ce support existe en deux modèles dont l'un avec réglage de rotation
S725P - Micropositionneur S725 avec tête pivotante
Ce micropositionneur permet de positionner des pointe à des plots et lignes de dimension > 20 µm.

- La tête pivotante est conçue pour une plongée rapide en Z avant positionnement fin
UxTB - Porte-pointe Coaxial isolation téflon
Porte-pointe coaxial avec isolation téflon, spécifiquement conçu pour des mesures avec faible bruit.
MOTICAM1080 - Caméra numérique
Caméra adaptable sur tous les microscopes trinoculaires, elle est très utile pour une vison en direct pour faciliter la pose de pointes.

- Multi-sorties pour vision directe sur moniteur
S926P - Micropositionneur de précision S926 avec tête pivotante
Ce micropostionneur offre un encombrement minimal et permet de poser des pointes de test sur des plots ou sur des lignes avec une précision de l'ordre du micromètre.

- Version de tête pivotante (idéale pour les station de test sous pointe avec une descente rapide en Z et positionnement fin)
- Egalement disponibles en version tête à ressort (limite la pression de la pointe : S926S-x) ou tête fixe (S926C-x)
TA-VIS-7575 - Table antivibratoire sur coussin d'air
Table montée sur coussins d'air permettant un amortissement des vibrations du sol pour de l'analyse sous pointes de grande précision ou de l'inspection optique.

- Plateau de plusieurs dimensions selon poids et taille de l'équipement
- Rattrapage automatique du niveau horizontal
Pour toute information, devis, commande ou demande de rendez-vous avec un spécialiste technico-commercial. +33 (0)476 561 617

5 rue de la Verrerie

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