Stations de puissance "PowerPro"

Ces stations de mesure sous pointes en forte tension jusqu'à 10kV en coax et fort courant (100A pulsé, 10A DC) permettent de tester et de caractériser les dispositifs sous pointes donc au niveau du wafer, ce qui n'était pas possible jusqu'à présent. Les systèmes PowerPro fournissent une possibilité de mesures Kelvin sur pad dans des conditions de puissance avec une seule pointe spécifique. • Les tensions de mesure disponibles de 3kV triax à 10kV coax, 10A DC à 450A pulsé • Solution spécifique pour anti-arc électrique • Pointes spéciales fort courant (Kelvin) et haute tension (triax ou coax) • Chuck spécialement conçu pour la forte puissance, avec prises de vide ajustables et connexions Kelvin • Plateformes typiques d'utilisation des PowerPro : WL350, WL210e, CM170
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