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280I      Système de mesure 4 pointes semi-automatique

280I      Système de mesure 4 pointes semi-automatique

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Référence

280I

Désignation

Système de mesure 4 pointes semi-automatique

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Spécifications techniques

Gamme de mesure de 1 mohm à 8E11ohm/carré, mesures 1pt, 5 pts ou cartographie pour ce système semi-automatique, cartographie et analyse jusqu'à 6000 points.

  • Gamme de mesure standard et étendue, stockage et récupération des valeurs de mesure, fonctions de recherche de résultats évoluées
  • Cartographies de mesure polaires ou rectangulaires, jusqu'à 650 points de mesure, scan de diamètre, sites de tests "custom"
  • Compensation d'effet de bord, détection automatique de la polarité...
  • Ces appareils permettent de répondre à tous les besoins en terme de qualification de résistance de couche, que ce soit en R&D et manuel ou en mode production

Taille wafer

de l'échantillon seul au wafer 200mm

Gamme de résistivité

1 mohm/sq à 800 Kohm/sq Ohm/sq

Type de mouvement

Semi-automatique

Compatibilité

CP4

Logiciel

Gestion de la mesure "auto range", mapping, analyse des résultats, courbe 3D

SMU

Interne

Option

Version étendue à 8E11 ohm/sq

Ordinateur

Inclus

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Pour toute information, devis, commande ou demande de rendez-vous avec un spécialiste technico-commercial. +33 (0)476 561 617

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