280I      Système de mesure 4 pointes semi-automatique

Description Spécifications techniques Documents Produits associés

280I      Système de mesure 4 pointes semi-automatique

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Référence

280I

Désignation

Système de mesure 4 pointes semi-automatique

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Description

Gamme de mesure de 1 mohm à 8E11ohm/carré, mesures 1pt, 5 pts ou cartographie pour ce système semi-automatique, cartographie et analyse jusqu'à 6000 points.

• Gamme de mesure standard et étendue, stockage et récupération des valeurs de mesure, fonctions de recherche de résultats évoluées
• Cartographies de mesure polaires ou rectangulaires, jusqu'à 650 points de mesure, scan de diamètre, sites de tests "custom"
• Compensation d'effet de bord, détection automatique de la polarité...
• Ces appareils permettent de répondre à tous les besoins en terme de qualification de résistance de couche, que ce soit en R&D et manuel ou en mode production

DOCUMENTS

Spécifications techniques

Taille du wafer

Gamme de résistivité

Type de mouvement

Compatibilité

Logiciel

SMU

Option

Dimensions

Poids

Ordinateur

Puce individuelle, wafer partiel, max 200 mm

1 mohm/sq à 800 Kohm/sq

Semi-automatique

CP4

Gestion de la mesure "auto range", mapping, analyse des résultats, courbe 3D

Interne

Version étendue à 8E11 ohm/sq

55x50xh38 cm

30 Kg

Inclus

Produits associés

Pack 4PP - Système de mesure 4 pointes manuel évolutif
Système de mesure 4 pointes pour laboratoires, pour la recherche et petites productions. Le stand comprend plusieurs fonctionnalités lui permettant d'assurer des mesures de résistivité 4 pointes précises. Un levier manuel permet de faire un mouvement en Z de contact et non contact avec une répétabilité de l'ordre du micron. De plus, une molette de réglage située sur le coté droit permet d'affiner avec précision le mouvement en Z.
L'échantillon à tester est monté sur un support mobile qui permet de se placer sous la tête de mesure facilement entre chaque point de mesure.


• Un micro-switch permet d'assurer l'injection du courant à partir du moment où toutes les pointes sont en contact
• La mesure est effectuée par un appareil externe de type Keithley

Le système de mesure utilise un logiciel de mesure et d'affichage des résultats qui permet l'exportation des données pour un traitement de données postérieur. Il est possible d'effectuer une cartographie de l'échantillon en fonction des résistivités ou des épaisseurs mesurées.
L'utilisateur saisit la taille et forme de l'échantillon, bord d'exclusion et nombre de point à tester. Une image graphique des points de mesure cibles est affichée. A la fin du test de tous les points, nous retrouvons la moyenne des valeurs mesurées, l'écart type ainsi que les maximums et minimums de mesure.

Pour toute information, devis, commande ou demande de rendez-vous avec un spécialiste technico-commercial. +33 (0)476 561 617

5 rue de la Verrerie

38120 Le Fontanil-Cornillon

Grenoble / France

Fax : +33(0) 476 757 484

RCS Grenoble B 381 001 171 - APE 4652Z

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