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QUADPRO      Système de mesure 4 pointes semi-automatique évolutif

QUADPRO      Système de mesure 4 pointes semi-automatique évolutif

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Référence

QUADPRO

Désignation

Système de mesure 4 pointes semi-automatique évolutif

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Spécifications techniques

Ce système est un dérivé du système de mesure PRO4 dans une version semi-automatique (ou manuel) et pour diverses gammes de résistivité, faible et haute résistivité (jusqu'à 10 Gohm/sq).

  • Un contrôleur en température et un logiciel optionnel permet une gestion du coefficient TCR
  • Adapté aux applications Recherches sur matériaux semi-conducteurs

Taille wafer

100, 150 ou 200

Gamme de résistivité

1 µohm/sq à 10 Gohm/sq Ohm/sq

Type de mouvement

Manuel ou Semi-automatique

Compatibilité

SP4 - HT4 - HR4

Logiciel

Gestion de la mesure, calcul, analyse, mapping, contrôle de température

SMU

Keithley 2400, 2600, 2182 ou 2636

Option

Température, boite noire

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