QUADPRO      Système de mesure 4 pointes semi-automatique évolutif

Description Spécifications techniques Documents Produits associés

QUADPRO      Système de mesure 4 pointes semi-automatique évolutif

Description Spécifications techniques Documents Produits associés

Référence

QUADPRO

Désignation

Système de mesure 4 pointes semi-automatique évolutif

  Produits similaires   Demander plus d’information   Demander un devis

Description

Ce système est un dérivé du système de mesure PRO4 dans une version semi-automatique (ou manuel) et pour diverses gammes de résistivité, faible et haute résistivité (jusqu'à 10 Gohm/sq).

• Un contrôleur en température et un logiciel optionnel permet une gestion du coefficient TCR
• Adapté aux applications Recherches sur matériaux semi-conducteurs


DOCUMENTS

Spécifications techniques

Taille du wafer

Gamme de résistivité

Type de mouvement

Compatibilité

Logiciel

SMU

Option

100, 150 ou 200

1 µohm/sq à 10 Gohm/sq Ohm/sq

Manuel ou Semi-automatique

SP4 - HT4 - HR4

Gestion de la mesure, calcul, analyse, mapping, contrôle de température

Keithley 2400, 2600, 2182 ou 2636

Température, boite noire

Produits associés

SP4-xx - Tête de mesures 4 pointes
Tête 4 pointes pour température ambiante, utilisable sur équipements de la série Pro4 et Quadpro et séparément.

• Matériau des pointes défini selon application & Type de couche
• Choix des paramètres : Espacements de pointes (pitch), finesses de bout, pression des pointes,
• Terminaisons : Fils volants, fiches banane, BNC, câbles triaxiaux, connecteur 9 broches...
Pack 4PP - Système de mesure 4 pointes manuel évolutif
Système de mesure 4 pointes pour laboratoires, pour la recherche et petites productions. Le stand comprend plusieurs fonctionnalités lui permettant d'assurer des mesures de résistivité 4 pointes précises. Un levier manuel permet de faire un mouvement en Z de contact et non contact avec une répétabilité de l'ordre du micron. De plus, une molette de réglage située sur le coté droit permet d'affiner avec précision le mouvement en Z.
L'échantillon à tester est monté sur un support mobile qui permet de se placer sous la tête de mesure facilement entre chaque point de mesure.


• Un micro-switch permet d'assurer l'injection du courant à partir du moment où toutes les pointes sont en contact
• La mesure est effectuée par un appareil externe de type Keithley

Le système de mesure utilise un logiciel de mesure et d'affichage des résultats qui permet l'exportation des données pour un traitement de données postérieur. Il est possible d'effectuer une cartographie de l'échantillon en fonction des résistivités ou des épaisseurs mesurées.
L'utilisateur saisit la taille et forme de l'échantillon, bord d'exclusion et nombre de point à tester. Une image graphique des points de mesure cibles est affichée. A la fin du test de tous les points, nous retrouvons la moyenne des valeurs mesurées, l'écart type ainsi que les maximums et minimums de mesure.

Pour toute information, devis, commande ou demande de rendez-vous avec un spécialiste technico-commercial. +33 (0)476 561 617

5 rue de la Verrerie

38120 Le Fontanil-Cornillon

Grenoble / France

Fax : +33(0) 476 757 484

RCS Grenoble B 381 001 171 - APE 4652Z

TVA FR 48 381 001 171