Cette série d'appareils convient aux laboratoires de caractérisation, les modèles proposés sont soit totalement manuels avec un stand porte-tête 4 pointes et une sortie fils libre vers l'instrumentation, soit plus complets incluant le logiciel sur pc et optionnellement l'appareil de mesure • Trois configurations pour répondre à tous les budgets • Adaptables pour wafers jusqu'à 200 mm • Option température pour mesure de certains matériaux
Stand de mesure 4 pointes
S302
Stand de mesure 4 pointes
Système de mesure 4 pointes manuel évolutif
PRO4
Système de mesure 4 pointes manuel évolutif
Les appareils semi-automatiques sont prévus pour tester une plaquette entière jusqu'à 300 mm de diamètre avec plusieurs cartographies possible afin de déterminer la moyenne et l'écart-type des valeurs de résistivité obtenues. Le chargement est manuel, les déplacements X-Y-Z et le contrôle de la mesure sont automatiques • Plusieurs cartographies possible, rectangulaires, polaires... • Mode personnalisé permettant de mesurer sur des points précis définis par l'utilisateur • Gamme de courant automatique • Logiciel très complet de mesure et de gestion des cartographies et valeurs mesureées • SPC, graphe 3D...
Système de mesure 4 pointes semi-automatique
280I
Système de mesure 4 pointes semi-automatique
Système de mesure 4 pointes semi-automatique évolutif
QUADPRO
Système de mesure 4 pointes semi-automatique évolutif
Permettent de mesurer la résistivité par méthode 4 pointes sur des surfaces larges grâce à une tête 4 pointes mobile • Plusieurs gammes de résistivité selon couches à mesurer • Echantillons calibrateurs disponibles • Pointes montées sur ressorts permettant un contact par pression
SRM - Système de mesure 4 pointes portable
SRM232-XX
SRM - Système de mesure 4 pointes portable
Standards de calibration pour vérification et ajustage des appareils de mesure 4 pointes, disponibles en wafer avec plusieurs valeurs de résistivité
Wafer de calibration
SRS3
Wafer de calibration
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