A PROPOS DE NOS CARACTERISATION DE COUCHES
Microworld propose un ensemble d'équipements et d'accessoires de caractérisation électrique & mécanique de couches minces semi-conductrices.
Les techniques utilisées permettent de mesurer des paramètres intrinsèques comme la résistivité, la mobilité, la constante diélectrique ou encore le module d'Young, de divers types de substrats conducteurs, semi-conducteurs ou isolants.
Ces systèmes peuvent être portatifs, manuels ou semi-automatiques et permettent ainsi l'étude d'échantillon de la taille d'une puce jusqu'à celle d'un wafer 12 pouces (300mm).
Equipements :
• Systèmes de mesure 4 pointes en ligne (Loi d'Ohm appliquée aux couches minces) pour déterminer les résistances de surface ( et/ou résistivité, épaisseur)
• Systèmes de mesure sans contact pour extraire la résistivité ou l'épaisseur en utilisant les courants de Foucault (Eddy current)
• Systèmes de mesure par effet Hall (méthode Van Der Pauw) pour calculer la mobilité et la concentration des porteurs de charge (dopants majoritaires)
• Systèmes de mesure à contact par goutte de mercure pour caractériser des oxydes et extraire le facteur K (constante diélectrique), Vbd (courant de claquage), Cox et Tox etc...
• Systèmes de caractérisation mécanique (profilomètres optiques, testeurs mécaniques, tribomètres)
Applications :
- Si, Ge, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN, ZnO, TCOs, ITOs
- Composants optoélectroniques
- Nanomatériaux
- Capteurs, MEMS
- Polymères conducteurs
- Dépôts d'oxyde
- Céramiques & Verres
- Batteries
- Electrodes
- Photovoltaïque
