Mesures 4 pointes

Mesures manuelles 1 ou quelques points
Automatique avec cartographie

Permet de mesurer la résistivité de surface de couche électronique soit de manière manuelle (positionnement de la tête et séquence de test) soit automatiquement sur des plaquettes ou substrats de différentes tailles
• Choix d'équipements d'entrée de gamme à automatiques avec cartographie
• Grand choix de têtes 4 pointes pour tous types de matériaux
• Option de mesure en température

DEMANDE D'INFORMATIONS

Mesures manuelles 1 ou quelques points

Mesure de la résistivité de surface d'un matériau semi-conducteur en un point ou jusqu'à 5 points (avec déplacement manuel)
• Utilise une potence et une tête 4 pointes dans une gamme de plusieurs modèles
• Système évolutif

S302

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Stand de mesure 4 pointes

Le système se compose d'une potence de maintien de la tête de tests avec levier de descente et d'un plateau de réception pour wafer de 4, 6, 8 ou 12 pouces. Le positionnement de l'échantillon est manuel ainsi que la mise en contact de la tête 4 pointes sur l'échantillon.

- Un micro-switch permet d'assurer l'injection du courant à partir du moment où toutes les pointes sont en contact
- La mesure est effectuée par un appareil externe de type Keithley qui peut faire partie de la fourniture
- Le système peut être complété par le logiciel de mesure et d'affichage des résultats
- Parfait pour pour laboratoires, universités, centres de recherche... dans le domaine caractérisation de matériaux

SRS3

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Wafer de calibration

Ce wafer permet de calibrer les systèmes de mesures de résistivité 4 pointes

- Wafer 3''
- Certification NIST valable 1 an

SP4

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Tête de mesures 4 pointes

Tête 4 pointes pour température ambiante, utilisable sur équipements de la série Pack4PP et Quadpro et ou pour une utilisation séparée. La tête standard est conçue en delrin avec des pointes en tungstène. Une baïonnette ainsi que deux vis permettent de fixer la pointe à notre stand 4 pointes facilement pour des mesures précises et répétables.

- Matériau des pointes défini selon application & Type de couche
- Choix des paramètres : Espacements de pointes (pitch), finesses de bout, pression des pointes,
- Terminaisons : Fils volants, fiches banane, BNC, câbles triaxiaux, connecteur 9 broches...

CP4

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Tête de mesures 4 pointes cylindrique

Tête 4 pointes pour mesure de résistivité utilisable sur équipements de la série 280 ou séparément, espacements de pointes standard 1 mm.

- Pointes avec pression ajustable
- Finesse de bout des pointes (tip radius) adaptée à la plupart des couches électroniques
- Livrée avec connecteur 9 broches pour câblage direct
- Utilisation température ambiante uniquement.

HT4

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Tête de mesures 4 pointes haute température

Tête 4 pointes pour haute température, utilisable sur équipements de la série Pro4 et Quadpro et séparément.

- Matériau des pointes défini selon type de couche à mesurer
- Choix des paramètres : Espacements de pointes (pitch), finesses de bout, pression des pointes
- Terminaisons : Fils volants, Banana jacks, Triax, Connecteur...
- Option câblage haute résistivité

Automatique avec cartographie

Mesurer la résistivité de surface sur une plaquette entière ou partielle, afficher une cartographie (mapping) et des paramètres moyenne écart-type...avec des graphes 3D.
• Permet de connaitre l'homogénéité de résultats ou la dispersion sur une surface semi-conductrice ainsi que les moyennes des valeurs et écart-type

280I