TESTS SOUS POINTESTests à très faible courant

CM210-310Station de test sous pointes manuelle haute précision

La série Checkmate représente les stations de tests sous pointes les plus abouties, disponible jusqu'au wafer 300 mm.

- Toutes les stations sont "upgradables" d'une version à l'autre
- Version manuelle ou semi-automatique
- Test avec carte à pointes compatible
- Caractérisation en température optionelle (-60°C à +300°C)
- Mesures haute tension (HV) et faible courant (fA) possible
- Peut accueillir jusqu'à 8 micropositionneurs DC ou une carte à pointes

RÉFÉRENCES COURANTES

CM210 : Version 200 mm
CM310 : Version 300 mm

WL210EStation de test sous pointes HF manuelle haute précision 8" avec chambre locale

Cette station de test sous pointes est dérivée de la gamme Checkmate. Elle est munie en complément d'une chambre locale permettant des mesures en températures (chaud/froid) ou permet d'effectuer des mesures très faible courant.

- Mesures fA (faibles courants)
- Isolation lumineuse
- Blindage électrique
- Configurations : 4 ports HF ou 8 ports DC/Kelvin ou combinaison HF/DC
- Existe en 300mm
- Adaptation possible d'un chuck hautes performances ERS (refroidissement à air, température de -60°C à +300°C)

CM250-350Station de test sous pointes semi-automatique

Station de test sous pointes semi-automatique permettant la caractérisation électrique d'un wafer complet jusqu'à 300 mm (12'').

- Logiciel de mapping, auto-alignement, reconnaissance de pattern, autofocus...
- Application sur cartes à pointes possible
- Caractérisation en température jusqu'à +600°C
- Mesures hautes tensions (HV - 10kV) et faible courants (fA)
- Système développé pour la validation design (R&D) et rendement de production
- Configurations : jusqu'à 10 ports DC/Kelvin
- Adaptation possible d'un chuck hautes performances ERS (refroidissement à air, température de -60°C à +300°C)

RÉFÉRENCES COURANTES

CM250 : Version 200 mm
CM350 : Version 300 mm

PSM1000Microscope à tourelle

Microscope à tourelle d'inspection à forts grossissements.
Il est nécessaire pour le positionnement de pointes de tests sur des petites surfaces de contact.

- Peut être utilisé seul (sur stand) ou monté sur une station de test sous pointes
- Gamme d'accessoires et d'objectifs disponibles (NIR, NUV, polariseur, analyseur...)
- La tête trinoculaire permet l'utilisation de caméras numériques
- Application spectroscopique possible

AZOOMµMicroscope mono-objectif

Ce microscope permet le grossissement d'un microscope à tourelle sans l’encombrement des objectifs non utilisés.
Sa tête trinoculaire permet d'utiliser une caméra, et/ou un laser.

- L'illumination est réalisée par un éclairage traversant à LED
- Montage C pour caméra
- Grande distance de travail

MS12ZMicroscope mono-objectif

Ce microscope est composé d'un mono-objectif avec un zoom interne inclus.
Il permet un grande plage de grossissement sans l'inconvénient de la tourelle pour des applications de tests sous pointes.

- Compact et léger
- Grande distance de travail (idéal pour applications hautes fréquences)
- Montage C pour caméra
- Grande luminosité (éclairage par fibre optique LED)

SMZ171Microscope stéréozoom

Microscope stéréozoom à grossissement modéré pour faciliter le positionnement des pointes de tests.

- Très grande distance de travail (WD = 110mm)
- Montage C pour caméra numérique (version trinoculaire)
- Large gamme d'objectifs et d'oculaires pour tout grossissement
- Eclairage à LED ou fibre optique disponible

S725SMicropositionneur S725 avec tête à ressort

Ce modèle de micropositionneur permet d'accéder à des plots et des lignes de dimensions >20 µm.
La tête à ressort permet de limiter la pression de la pointe sur le plot (pour surface fragile ou applications en température).

S725PMicropositionneur S725 avec tête pivotante

Ce micropositionneur permet de positionner des pointe à des plots et lignes de dimension > 20 µm.
La tête pivotante est conçue pour une plongée rapide en Z avant positionnement fin.

S725HTMicropositionneur S725 haute température

Ce micropositionneur permet de poser des pointes de test sur des plots et lignes de dimension > 20 µm.
Modèle spécialement conçu pour les mesures en température, jusqu'à 600°C.

S926SMicropositionneur de précision S926 avec tête à ressort

Ce micropostionneur permet de poser des pointes de tests sur des plots ou sur des lignes avec une précision de l'ordre du micromètre.
Sa tête à ressort est idéale pour les applications en température ou sur les surfaces fragiles.

S926PMicropositionneur de précision S926 avec tête pivotante

Ce micropostionneur permet de poser des pointes de tests sur des plots ou sur des lignes avec une précision de l'ordre du micromètre.
Sa tête pivotante est idéale pour les stations de test sous pointe avec une descente rapide en Z et positionnement fin.

SP100Micropositionneur haute précision SP100

Ce micropositionneur de haute précision avec ses molettes en ligne permet de poser des pointes de tests sur des plots ou sur des lignes avec une précision de l'ordre du micromètre.

- Descente de la pointe totalement verticale.
- Option tête pivotante (plongée rapide pour pré-positionnement Z puis mouvement fin) ou Standard avec molette Z.
- Les molettes de réglage en ligne avec vis micrométriques (100TPI) permettent une densité optimale sur le plateau.

SP150Micropositionneur submicronique ultra-stable SP150

Micropositionneur de haute précision et ultra-stable avec molettes de mouvements en ligne, permet de poser des pointes sur des plots ou sur des lignes avec une précision submicronique.

- Descente de la pointe totalement verticale.
- Choix de tête Pivotante P ou Standard (descente avec molette Z).
- Le SP150 représente le micropositionneur le plus abouti actuellement disponible pour des positionnements de très grande précision.
- Les molettes de réglage en ligne avec vis micrométriques (100TPI) permettent une densité optimale sur le plateau.

UxTBPorte-pointe Coaxial isolation téflon

Ce porte-pointe coaxial permet de monter une pointe de test avec un angle de 45°.

Il est utile pour des mesures IV faibles bruits grace à son isolation téflon.

UxGBPorte-pointe Coaxial isolation céramique

Ce porte-pointe coaxial permet de monter une pointe de test avec un angle de 45°.

Il est utile pour des mesures IV faibles bruits grace à son isolation, et hautes températures jusqu'à 600°C.

TRXPorte-pointe Triaxial

Porte-pointe à très faible niveau de bruit (± 2 fA lorsque utilisé avec un chuck triaxial et en environnement clos).

Se monte sur les micropositionneurs S725P, S926P, SP100P, SP150P.

TA-VIS-7575Table antivibratoire sur coussin d'air

Table montée sur coussins d'air permettant un amortissement des vibrations du sol pour de l'analyse sous pointes de grande précision ou de l'inspection optique.

- Plateau de plusieurs dimensions selon poids et taille de l'équipement
- Rattrapage automatique du niveau horizontal

MW-DBBoite noire personnalisée

Pour les systèmes de test sous pointes non équipés de chambre locale, Microworld offre des boites noires permettant d'isoler les stations de tests sous pointes ou tout autre système.

- Isolation électrique et lumineuse
- Panneaux de connecteurs traversants
- Passage de câble col de cygne
- Taille et design sur demande

S1080Contrôleur de température

Ce chuck thermique tri temp permet une caractérisation en température complète des dispositifs dans une plage de température comprise entre -60°C et +300°C.

- Contrôle de la température sur écran tactile ou en remote
- Rapidité de changement d'état (chaud / froid)
- Possibilité de chauffage par rampe (paliers de températures)

PACELogiciel de mesure et de contrôle

PACE est un logiciel qui fournit une solution pour combiner des outils de mesure, automatiser des séquences de caractérisation et importer/exporter des données.

PACE s'articule autour de 3 fenêtres :
- Fenêtre de mesure : configuration et contrôle des outils de mesure
- Fenêtre de séquence : configuration et contrôle de l'exécution de la séquence
- Fenêtre de mapping : configuration du mapping et contrôle de la station de test (pour les stations semi-automatique)

L'interface peut-être personnalisée en fonction des besoins du client :
- Test MEMS sur support PCB
- Import de fichiers GDS pour mapping de wafer
- Pilotage d'analyseur de réseau (Rohde & Schwarz), SMU (Keithley, Keysight...)

ERS-AC3Chuck thermique

Depuis 50 ans ERS développe des chucks thermiques compatible avec toutes les stations de test sous pointe.

Ils possèdent les propriétés suivantes :
- Haute température : 300°C
- Basse température : une technologie brevetée à flux d'air permet le refroidissement jusqu'à -65°C
- Chuck TRIAX pour mesure faible courant (FemtoAmp)
- Chuck Haute tension
- Chuck non magnétique

TRXCHUCKChuck triaxial

Le chuck triaxial permet des mesures jusqu'au fA avec l'utilisation de micropositionneurs à bras triaxial et d'une boite noire isolant de la lumière et des perturbations magnétiques.

- Il est composé de trois parties dont une partie médiane polarisable
- Disponible en version 150-200-300mm
- Le chuck triaxial existe également en version haute température associé à un chuck chauffant ou tri-temp
- Compatible avec la plupart de nos stations en remplacement du chuck standard pour des mesures de caractérisation très faible courant.

MW-SCA50Sonde coaxiale faible courant

Utile pour des mesures faible courant (inf. à 10fA@150°C), cette sonde coaxiale est construite avec des composants micro-ondes. Le faible bruit est obtenu par un dépassement minimal de la pointe (3 mm).

- La pointe (remplaçable) est disponible de 0.5 µm à 20 µm
- En option : Tresse de masse, Kelvin, résistance série/parallèle...

MW-SCA250Sonde coaxiale Kelvin

Destinée à la mesure faible signaux, ces sondes coaxiales et Kelvin disposent de deux pointes indépendantes lorsque l'application nécessite de poser 2 pointes sur un même plot.

- Fil de 50 ohms semi-rigide de 200 µm isolé par un diélectrique Téflon, le faible bruit est obtenu par un dépassement minimal de la pointe (3 mm)
- Double-pointe disponible de 5 µm à 12,5 µm avec espacement de 12,5 à 100 µm

A PROPOS : Tests à très faible courant

Ces tests nécessitent un environnement spécifique afin de minimiser les courants de fuite.
• Chuck et pointes triaxiaux
• Boite noire
• Connectique adaptée

Dans ces conditions il est possible de mesurer des dispositifs sous pointes dans des gammes de courant très faibles de l'ordre de qq fA et éventuellement en température.