CARACTERISATION DE COUCHES

Microworld propose un ensemble de matériels et fournitures de caractérisation électrique des couches fines semi-conductrices.
Les techniques utilisées permettent de mesurer des paramètres importants concernant le comportement électronique des couches et ainsi déterminer les gammes de fonctionnement des dispositifs.

Du système manuel au système semi-automatique (voire full-auto) jusqu'au wafer 300mm (12").

Différentes gammes de systèmes :

- Systèmes 4 pointes pour la mesure de résistivité
- Systèmes sans contact pour la mesure de résistivité avec oxyde
- Systèmes utilisant l'effet Hall pour déterminer la mobilité et la concentration des porteurs
- Systèmes d'analyse de matériaux (profilomètres optiques, testeurs mécaniques, tribomètres)
- Systèmes Mercure pour des mesures de oxydation (Tox, Cox) et de claquage (Vbd)