CARACTERISATION DE COUCHESSystèmes de mesures 4 pointesSystèmes semi-automatiques

333ASystème de mesure 4 pointes semi-automatique 12"

Systèmes semi-automatique de mesure 4 pointes en ligne sur échantillon allant de 10mm à 300mm de diamètre.
Grâce à leurs chuck motorisés, les 333A permettent de cartographier jusqu'à 6000 points de mesure sur des gammes de résistance de surface de 1 mohm/sq à 8E11 Ohm/sq.

Spécification:

• Différentes versions adaptées aux différentes gammes de résistance testées
• Plusieurs types de cartographie : 1pts, 5pts, 9pts, diagonale, carthésien, customisé etc..
• Algorithme de calcul puissant
• Compensation effet de bord, facteur géométrique
• Communication SECS II
• Version possible en Full-Automatique avec chargement de wafers via cassette et pré-aligner

Application:

- Si, Ge, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN, ZnO, TCOs
- Composant optoélectronique
- Nanomatériaux
- Capteurs, MEMS
- Polymère conducteur
- Dépôt d'oxyde
- Céramique & Verre
- Batteries
- Electrodes
- Photovoltaïque

280ISystème de mesure 4 pointes semi-automatique 8"

Systèmes semi-automatique de mesure 4 pointes en ligne sur échantillon allant de 10mm à 200mm de diamètre.
Grâce à leurs chuck motorisés, les 280I permettent de cartographier jusqu'à 6000 points de mesure sur des gammes de résistance de surface de 1 mohm/sq à 8E5 Ohm/sq.

Spécification:

• Gamme étendu jusqu'à 8E11 Ohm/sq.
• Différentes versions adaptées aux différentes gammes de résistance testées
• Plusieurs types de cartographie : 1pts, 5pts, 9pts, diagonale, carthésien, customisé etc..
• Algorithme de calcul puissant
• Compensation effet de bord, facteur géométrique
• Communication SEC II
• Version possible en Full-Automatique avec chargement de wafers via cassette et pré-aligner

Application:

- Si, Ge, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN, ZnO, TCOs
- Composant optoélectronique
- Nanomatériaux
- Capteurs, MEMS
- Polymère conducteur
- Dépôt d'oxyde
- Céramique & Verre
- Batteries
- Electrodes
- Photovoltaïque

QUADPRO2ASystème de mesure 4 pointes semi-automatique en température

Système semi-automatique de mesure 4 pointes en ligne en température sur échantillon allant de 10mm à 300mm de diamètre. Capable de mesurer des gammes de résistance de surface de 10μΩ/sq à 10GΩ/sq. Plusieurs versions possibles pour optimiser la précision sur la mesure en fonction des gammes testées.

Spécifications:

• Mesure V/I, résistance de feuille, résistivité ou épaisseur
• Rapports Moyenne, Écart-type, Minimum, Maximum et 3Sigma pour l'ensemble de données
• Mesures du coefficient de température de résistance (TCR)
• Cartographie 2D automatisée, cartographie 3D et coupe transversale
• Ultra haute précision et répétabilité
• Cartographie comparative

L'option TCR

L'option Coefficient de température de résistance intègre le contrôle de la température de l'échantillon ainsi que le contrôle automatisé du courant injecté et les calculs de résistance.
Intégré à un système de chuck thermique, le test balaie automatiquement les températures sur une large gamme sans déplacer les pointes de test. Les mesures sont prises à chaque températures cibles et les résultats sont tracés sur un graphique. Le TCR est exprimé en parties par million (PPM).
Les utilisateurs définissent la plage de température, les paliers, et le delay pour chaque point de test avant d'effectuer une mesure. Une variété de chuck thermiques sont disponibles pour définir la plage et la résolution allant de la température ambiante à 300°C, avec une résolution de 1°.
Les données peuvent être imprimées ou exportées vers une feuille de calcul pour une analyse plus approfondie.

A PROPOS DE NOS Systèmes semi-automatiques

Grâce à leurs supports motorisés, les systèmes semi-automatiques sont parfaitement adaptés pour mesurer l'ensemble de la surface d'échantillons de taille variable. Le chargement se fait manuellement puis l'ensemble des paramètres de mesure et d'analyse se configure à l'aide d'un logiciel intégré. Le mapping est ensuite réalisé de manière automatique et les résultats affichés sous forme de tableur ou cartographie 2D/3D facilitant ainsi l'interprétation des résultats. Mesure possible en température jusqu'à 300°C avec le Quadpro2A

Equipements :

• 280SI : Echantillon jusqu'à 200mm - Gamme de résistance de surface : 1mΩ/sq à 8E5 Ω/sq
• 280DI : Echantillon jusqu'à 200mm - Gamme de résistance de surface : 1mΩ/sq à 8E11 Ω/sq
• 333A : Echantillon jusqu'à 300mm - Gamme de résistance de surface : 1mΩ/sq jusqu'à 8E11 Ω/sq
• Quadpro2A : Echantillon jusqu'à 300mm - Gamme de résistance de surface : 10μΩ/sq jusqu'à 10 GΩ/sq (jusqu'à 300°C)

Spécifications :

• Jusqu'à 6 000 points de mesure par échantillon
• Cartographies 2D/3D, mesures diagonales, 1 point, 9 points etc..
• Différentes taille/géométrie d'échantillon compatibles
• Calcul automatique de la gamme de courant optimale (auto-range)
• Tests de répétabilité, détermination du type de dopage de la couche
• Algorithme correcteurs (exclusion de bords, correcteur géométrique)
• Différents niveaux d'utilisateur avec accès sécurisé (par mot de passe)
• Export des données sous CSV, Excel, SEC II etc..

Gamme de mesure : 10μΩ/sq jusqu'à 8E11Ω/sq