TESTS SOUS POINTESCarte à pointes & Mapping

CM210Station de test sous pointes manuelle haute précision 8"

La série Checkmate représente les stations de tests sous pointes les plus abouties, disponible jusqu'au wafer 300 mm.

- Toutes les stations sont "upgradables" d'une version à l'autre
- Version manuelle ou semi-automatique
- Test avec carte à pointes compatible
- Caractérisation en température optionelle (-60°C à 300°C)
- Mesures haute tension (HV) et faible courant (fA) possible
- Peut accueillir jusqu'à 8 micropositionneurs DC ou une carte à pointes

RÉFÉRENCES COURANTES

CM210 : Version 200 mm
CM310 : Version 300 mm

CM465Station de test sous pointes semi-automatique 6"

Station de test sous pointes semi-automatique permettant la caractérisation électrique d'un wafer complet jusqu'à 150 mm (6'').

- Logiciel de mapping, auto-alignement, reconnaissance de pattern, autofocus...
- Plateau X-Y piloté par moteur à induction linéaire et encodeur optique de grande précision
- Application sur cartes à pointes possible
- Mesures hautes tensions (HV - 10kV) et faibles courants (fA)
- Système développé pour la validation design (R&D) et rendement de production

CM250Station de test sous pointes semi-automatique 8"

Station de test sous pointes semi-automatique permettant la caractérisation électrique d'un wafer complet jusqu'à 200 mm (8").

- Logiciel de mapping, auto-alignement, reconnaissance de pattern, autofocus...
- Application sur cartes à pointes possible
- Caractérisation en température jusqu'à 600°C
- Mesures hautes tensions (HV - 10kV) et faible courants (fA)
- Système développé pour la validation design (R&D) et rendement de production
- Configurations : jusqu'à 10 ports DC/Kelvin
- Adaptation possible d'un chuck hautes performances ERS (refroidissement à air, température de -60°C à 300°C)

RÉFÉRENCES COURANTES

CM250 : Version 200 mm
CM350 : Version 300 mm

WL250-LEStation de test sous pointes semi-automatique HF 8" avec chambre locale

Station de test sous pointes semi-automatique permettant la caractérisation électrique hautes fréquences d'un wafer complet jusqu'à 200 mm (8").

- Logiciel de mapping, auto-alignement, reconnaissance de pattern, autofocus...
- Application sur cartes à pointes possible
- Caractérisation en température entre -60°C et 300°C
- Mesures HF jusqu'à 110 GHz
- Système développé pour la validation design (R&D) et rendement de production
- Configurations : jusqu'à 4 ports HF (N, S, E, O) et 4 DC
- Chambre locale optionnelle pour blindage EMI et isolation lumineuse

RÉFÉRENCES COURANTES

WL250 : Version 200 mm
WL350 : Version 300 mm
WL250-LE : Version 200 mm avec chambre locale
WL350-LE : Version 300 mm avec chambre locale

WL350-LEStation de test sous pointes semi-automatique HF 12" avec chambre locale

Station de test sous pointes semi-automatique permettant la caractérisation électrique hautes fréquences d'un wafer complet jusqu'à 300 mm (12").

- Logiciel de mapping, auto-alignement, reconnaissance de pattern, autofocus...
- Application sur cartes à pointes possible
- Caractérisation en température entre -60°C et 300°C
- Mesures HF jusqu'à 110 GHz
- Système développé pour la validation design (R&D) et rendement de production
- Configurations : jusqu'à 4 ports HF (N, S, E, O) et 4 DC
- Chambre locale optionnelle pour blindage EMI et isolation lumineuse

RÉFÉRENCES COURANTES

WL250 : Version 200 mm
WL350 : Version 300 mm
WL250-LE : Version 200 mm avec chambre locale
WL350-LE : Version 300 mm avec chambre locale

WL250Station de test sous pointes semi-automatique HF 8"

CM350Station de test sous pointes semi-automatique 12"

Station de test sous pointes semi-automatique permettant la caractérisation électrique d'un wafer complet jusqu'à 300 mm (12").

- Logiciel de mapping, auto-alignement, reconnaissance de pattern, autofocus...
- Application sur cartes à pointes possible
- Caractérisation en température jusqu'à 600°C
- Mesures hautes tensions (HV - 10kV) et faible courants (fA)
- Système développé pour la validation design (R&D) et rendement de production
- Configurations : jusqu'à 10 ports DC/Kelvin
- Adaptation possible d'un chuck hautes performances ERS (refroidissement à air, température de -60°C à 300°C)

RÉFÉRENCES COURANTES

CM250 : Version 200 mm
CM350 : Version 300 mm

PSM1000Microscope à tourelle

Microscope à tourelle d'inspection à forts grossissements.
Il est nécessaire pour le positionnement de pointes de tests sur des petites surfaces de contact.

- Peut être utilisé seul (sur stand) ou monté sur une station de test sous pointes
- Gamme d'accessoires et d'objectifs disponibles (NIR, NUV, polariseur, analyseur...)
- La tête trinoculaire permet l'utilisation de caméras numériques
- Application spectroscopique possible

PACELogiciel de mesure et de contrôle

PACE est un logiciel qui fournit une solution pour combiner des outils de mesure, automatiser des séquences de caractérisation et importer/exporter des données.

PACE s'articule autour de 3 fenêtres :
- Fenêtre de mesure : configuration et contrôle des outils de mesure
- Fenêtre de séquence : configuration et contrôle de l'exécution de la séquence
- Fenêtre de mapping : configuration du mapping et contrôle de la station de test (pour les stations semi-automatique)

L'interface peut-être personnalisée en fonction des besoins du client :
- Test MEMS sur support PCB
- Import de fichiers GDS pour mapping de wafer
- Pilotage d'analyseur de réseau (Rohde & Schwarz), SMU (Keithley, Keysight...)

S47Adaptateur de carte à pointes

Ce support mécanique permet de fixer une carte à pointes rectangulaire de 4,5" (114 mm) de large sur une station de tests sous pointes.

- Permet d'alimenter le dispositif par plusieurs pointes tout en effectuant des poses de pointes ciblées sur le milieu de la puce ou sur des plots internes de tests.
- Ce support existe en deux modèles dont l'un avec réglage de rotation.

ProbecardCarte à pointes

Les cartes à pointes permettent de répondre à toutes les applications de test de production et notamment là où les contraintes techniques sont importantes : grande densité de pointes, faible espacement (pitch), test parallèle (multi-DUT), contrainte technologique (low-k, plot sur cicuit actif...).

- Service de design pcb disponible permettant de réaliser des cartes spécifiques
- Tous services de fabrication, diagnostic, réparation, alignement...
- Adaptable pour tests sur plots ou sur bumps

A PROPOS : Carte à pointes & Mapping

La carte à pointes permet d'accéder à plusieurs plots en même temps. Cela peut être utile par exemple pour polariser un dispositif à tester ou pour un test complet de la puce
Nos stations manuelles ou semi-auto acceptent des cartes à pointes et des micropositionneurs. On peut donc polariser un circuit tout en testant des motifs internes.
De même pour des routines de test répétitives un positionneur motorisé peut être utilisé afin de contacter des points pré-programmés

Microworld propose également des cartes à pointes de production, montées sur des probers automatiques