ApplicationCARACTERISATION DES COUCHES ELECTRONIQUES Mesures par contact Mercure

Mesures par contact Mercure

Epaisseur oxyde, low K high K...

Le contact mercure est particulièrement adapté pour lamesure C-V et de résistance de couche sur les implantations de type USJ (Ultra-shallow Junction), sur des substrats fortement dopés ou sur des couches extrêmement fragiles ne supportan pas la pression d'une pointe Il permet un contact métallique souple contrairement aux méthodes par pointes

Test non destructif & Contact à pression nulle
Surface de contact parfaitement reproductible, Conception "sécurité absolue"
Rafraichissement du mercure avant chaque tests
Changement de réservoir une à deux fois par an selon usage
Pour wafers et substrats jusqu'à 12" (300mm)
Permet de mesurer & caractériser & monitorer un grand nombre de paramètres sur les matériaux semi-conducteurs et la qualité des procédés eux-mêmes.

DEMANDE D'INFORMATIONS

CVM92M

Appareil manuel C-V contact mercure

Appareil C(V) manuel à contact mercure pour caractérisation de wafers et substrats jusqu'à 200mm Chargement manuel de l'échantillon, Mesure automatiquePermet de Mesurer & Caractériser & Monitorer un grand nombre de paramètres sur les matériaux semi-conducteurs et la qualité des procédés eux-mêmes ...

TAF-XX

Table antivibratoire passive

• Dimensions : Selon demande
• Utilisation : Station de test sous pointes, AFM, Microscopie
• Pieds : Réglables en hauteur

Plateau en nid d'abeille plein (ou taraudé) monté sur plots gonflés permettant un amortissement des vibrations du sol pour analyses sous pointes de précision ou inspection optique Plateau de plusieurs dimensions selon poids et taille de l'équipementEpaisseur du marbre adaptée à l'équipement à recevoirPlots Faebi gonflés à la pompe à vélo ou compresseur (ligne d'air continue non indisp...

La caractérisation par appareil à contact mercure permet de mesurer et monitorer un grand nombre de paramètres

Intégrité oxyde et épaisseur
Détermination low K High K
Densité de porteurs sur couche EPI et implantée
...

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CVM92M

Appareil manuel C-V contact mercure