A PROPOS : Croissance de couche électronique par RTP (Rapid Thermal Processor)
Le procédé RTP utilise une élévation rapide de température dans une atmosphère contrôlée afin de faire croître une couche semi-conductrice (oxyde...) sur un matériau semi-conducteur par un procédé simple et reproductible.
Notre gamme d'appareils RTP est destinée à un usage laboratoire pour des plaquettes jusqu'à 100mm
