TESTS SOUS POINTESMesures IV/CV & Analyse de défaillance

MOTICAM1080XCaméra numérique

Cette caméra est très utile pour une vison en direct pour faciliter la pose de pointes.

- Compatible avec nos microscopes trinoculaires
- Montage C
- Multi-sorties pour vision directe sur moniteur (HMDI) et USB

MOTICAM4000Caméra numérique haute définition

Caméra numérique haute définition d'inspection et d'aide à la pose de pointes sur wafer.

Cette caméra utilise un montage C pour être montée sur la plupart des microscopes du marché.
Sa haute définition lui offre la possibilité de poser les pointes sur des plots très petits.
Elle possède plusieurs sorties pour permettre une grande variété d'utilisations (HDMI 4K, USB...).
Une carte SD peut-être connectée pour réaliser des prises d'images rapides.

MOTICAM1080NCaméra numérique

H150Station de test sous pointes manuelle 4"

Station de tests sous pointes facile à utiliser pour wafers jusqu'à 100mm.

- Déplacement du chuck XY
- Système de levée rapide du plateau
- Accepte jusqu'à 6 micropositionneurs ou carte à pointes
- Support microscope fixe

S1160B-8NStation de test sous pointes manuelle 8"

Station de test sous pointes pour analyses de précision telles que IV, CV, sur puces seules, sur wafers, sur composants...
Modulaire, la S1160 permet d'accueillir plusieurs options et accessoires pour une multitudes d'applications (température, mesures faibles courants...).

- Elévation rapide du plateau par bras manuel (contact / non contact)
- Accepte microscopes binoculaire et trinoculaire
- Wafers jusqu'à 8'' (Wafers 200mm)
- Réglage angulaire du Wafer
- Permet d'accueillir jusqu'à 8 micropositionneurs DC ou une carte à pointes
- Châssis massif pour une meilleure stabilité

REFERENCES COURANTES

S1160A-8N : Mouvement du pont optique pour microscope à tourelle
S1160B-8N : Mouvement du pont optique pour microscope trinoculaire stéréozoom
S1160C-8N : Pont optique fixe pour microscope trinoculaire stéréozoom

CM170Station de test sous pointes manuelle haute stabilité

Issue de la combinaison de deux modèles, la station CM170 assure stabilité et précision pour un prix modéré.

- Large plateau permettant d'accueillir des têtes millimétriques
- Applications multiples (optique, carte à pointes, HF...)

RÉFÉRENCES COURANTES

CM170 : mesures DC à 100 MHz
WL170 : mesures DC à 110 GHz
WL170-THz : mmW jusqu'à 1.1 THz (chuck surélevé)

CM210Station de test sous pointes manuelle haute précision 8"

La série Checkmate représente les stations de tests sous pointes les plus abouties, disponible jusqu'au wafer 300 mm.

- Toutes les stations sont "upgradables" d'une version à l'autre
- Version manuelle ou semi-automatique
- Test avec carte à pointes compatible
- Caractérisation en température optionelle (-60°C à +300°C)
- Mesures haute tension (HV) et faible courant (fA) possible
- Peut accueillir jusqu'à 8 micropositionneurs DC ou une carte à pointes

RÉFÉRENCES COURANTES

CM210 : Version 200 mm
CM310 : Version 300 mm

WL210LEStation de test sous pointes RF manuelle haute précision 8" avec chambre locale

Cette station de test sous pointes est dérivée de la gamme Checkmate. Elle est munie en complément d'une chambre locale permettant des mesures en températures (chaud/froid) ou permet d'effectuer des mesures très faible courant.

- Mesures fA (faibles courants)
- Isolation lumineuse
- Blindage électrique
- Configurations : 4 ports HF ou 8 ports DC/Kelvin ou combinaison HF/DC
- Existe en 300mm
- Adaptation possible d'un chuck hautes performances ERS (refroidissement à air, température de -60°C à +300°C)

CM465Station de test sous pointes semi-automatique 6"

Station de test sous pointes semi-automatique permettant la caractérisation électrique d'un wafer complet jusqu'à 150 mm (6'').

- Logiciel de mapping, auto-alignement, reconnaissance de pattern, autofocus...
- Plateau X-Y piloté par moteur à induction linéaire et encodeur optique de grande précision
- Application sur cartes à pointes possible
- Mesures hautes tensions (HV - 10kV) et faibles courants (fA)
- Système développé pour la validation design (R&D) et rendement de production

CM250Station de test sous pointes semi-automatique 8"

Station de test sous pointes semi-automatique permettant la caractérisation électrique d'un wafer complet jusqu'à 200 mm (8").

- Logiciel de mapping, auto-alignement, reconnaissance de pattern, autofocus...
- Application sur cartes à pointes possible
- Caractérisation en température jusqu'à +600°C
- Mesures hautes tensions (HV - 10kV) et faible courants (fA)
- Système développé pour la validation design (R&D) et rendement de production
- Configurations : jusqu'à 10 ports DC/Kelvin
- Adaptation possible d'un chuck hautes performances ERS (refroidissement à air, température de -60°C à +300°C)

RÉFÉRENCES COURANTES

CM250 : Version 200 mm
CM350 : Version 300 mm

WL250-LEStation de test sous pointes semi-automatique HF 8" avec chambre locale

Station de test sous pointes semi-automatique permettant la caractérisation électrique hautes fréquences d'un wafer complet jusqu'à 200 mm (8").

- Logiciel de mapping, auto-alignement, reconnaissance de pattern, autofocus...
- Application sur cartes à pointes possible
- Caractérisation en température entre -60°C et +300°C
- Mesures HF jusqu'à 110 GHz
- Système développé pour la validation design (R&D) et rendement de production
- Configurations : jusqu'à 4 ports HF (N, S, E, O) et 4 DC
- Chambre locale optionnelle pour blindage EMI et isolation lumineuse

RÉFÉRENCES COURANTES

WL250 : Version 200 mm
WL350 : Version 300 mm
WL250-LE : Version 200 mm avec chambre locale
WL350-LE : Version 300 mm avec chambre locale

WL350-LEStation de test sous pointes semi-automatique HF 12" avec chambre locale

Station de test sous pointes semi-automatique permettant la caractérisation électrique hautes fréquences d'un wafer complet jusqu'à 300 mm (12").

- Logiciel de mapping, auto-alignement, reconnaissance de pattern, autofocus...
- Application sur cartes à pointes possible
- Caractérisation en température entre -60°C et +300°C
- Mesures HF jusqu'à 110 GHz
- Système développé pour la validation design (R&D) et rendement de production
- Configurations : jusqu'à 4 ports HF (N, S, E, O) et 4 DC
- Chambre locale optionnelle pour blindage EMI et isolation lumineuse

RÉFÉRENCES COURANTES

WL250 : Version 200 mm
WL350 : Version 300 mm
WL250-LE : Version 200 mm avec chambre locale
WL350-LE : Version 300 mm avec chambre locale

CM350Station de test sous pointes semi-automatique 12"

Station de test sous pointes semi-automatique permettant la caractérisation électrique d'un wafer complet jusqu'à 300 mm (12").

- Logiciel de mapping, auto-alignement, reconnaissance de pattern, autofocus...
- Application sur cartes à pointes possible
- Caractérisation en température jusqu'à +600°C
- Mesures hautes tensions (HV - 10kV) et faible courants (fA)
- Système développé pour la validation design (R&D) et rendement de production
- Configurations : jusqu'à 10 ports DC/Kelvin
- Adaptation possible d'un chuck hautes performances ERS (refroidissement à air, température de -60°C à +300°C)

RÉFÉRENCES COURANTES

CM250 : Version 200 mm
CM350 : Version 300 mm

PSM1000Microscope à tourelle

Microscope à tourelle d'inspection à forts grossissements.
Il est nécessaire pour le positionnement de pointes de tests sur des petites surfaces de contact.

- Peut être utilisé seul (sur stand) ou monté sur une station de test sous pointes
- Gamme d'accessoires et d'objectifs disponibles (NIR, NUV, polariseur, analyseur...)
- La tête trinoculaire permet l'utilisation de caméras numériques
- Application spectroscopique possible

MLC150Illuminateur à fibre optique

Système d'illumination halogène pour fibre optique.

- Un choix de fibre optique permettant une illumination circulaire, ou 1 bras, ou 2 bras...
- Intensité réglable en face avant ou par télécommande
- Compatible microscope stéréozoom SMZ171 et tourelle PSM1000

AZOOMµMicroscope mono-objectif

Ce microscope permet le grossissement d'un microscope à tourelle sans l’encombrement des objectifs non utilisés.
Sa tête trinoculaire permet d'utiliser une caméra, et/ou un laser.

- L'illumination est réalisée par un éclairage traversant à LED
- Montage C pour caméra
- Grande distance de travail

MS12ZMicroscope mono-objectif

Ce microscope est composé d'un mono-objectif avec un zoom interne inclus.
Il permet un grande plage de grossissement sans l'inconvénient de la tourelle pour des applications de tests sous pointes.

- Compact et léger
- Grande distance de travail (idéal pour applications hautes fréquences)
- Montage C pour caméra
- Grande luminosité (éclairage par fibre optique LED)

SMZ171Microscope stéréozoom

Microscope stéréozoom à grossissement modéré pour faciliter le positionnement des pointes de tests.

- Très grande distance de travail (WD = 110mm)
- Montage C pour caméra numérique (version trinoculaire)
- Large gamme d'objectifs et d'oculaires pour tout grossissement
- Eclairage à LED ou fibre optique disponible

LED60TIlluminateur à LED

Système d'illumination pour microscope stéréozoom.

- Forme annulaire permettant une illumination uniforme de l'échantillon
- Intensité réglable et interrupteur de marche/arrêt
- Version avec contrôle par segments

MOTICAMS12Caméra numérique

Caméra adaptable sur tous les microscopes trinoculaires, fournie une aide au positionnement des pointes de tests.

- Logiciel de capture et de mesure fourni
- Capteur haute résolution

S750Micropositionneur joystick économique

Micropositionneur économique pour circuits hybrides et plots de contact assez grands (supérieurs à 500 µm).

- Un mouvement large X-Y est couplée à un mouvement ajustable Z.
- Sa base est magnétique et les dimensions particulièrement restreintes.
- Il accepte les porte-pointes modèles standard U.
- Rallonge joystick optionnelle pour plus de précision.

S725SMicropositionneur S725 avec tête à ressort

Ce modèle de micropositionneur permet d'accéder à des plots et des lignes de dimensions >20 µm.
La tête à ressort permet de limiter la pression de la pointe sur le plot (pour surface fragile ou applications en température).

S725PMicropositionneur S725 avec tête pivotante

Ce micropositionneur permet de positionner des pointe à des plots et lignes de dimension > 20 µm.
La tête pivotante est conçue pour une plongée rapide en Z avant positionnement fin.

S725HTMicropositionneur S725 haute température

Ce micropositionneur permet de poser des pointes de test sur des plots et lignes de dimension > 20 µm.
Modèle spécialement conçu pour les mesures en température, jusqu'à 600°C.

S926SMicropositionneur de précision S926 avec tête à ressort

Ce micropostionneur permet de poser des pointes de tests sur des plots ou sur des lignes avec une précision de l'ordre du micromètre.
Sa tête à ressort est idéale pour les applications en température ou sur les surfaces fragiles.

S926PMicropositionneur de précision S926 avec tête pivotante

Ce micropostionneur permet de poser des pointes de tests sur des plots ou sur des lignes avec une précision de l'ordre du micromètre.
Sa tête pivotante est idéale pour les stations de test sous pointe avec une descente rapide en Z et positionnement fin.

SP100Micropositionneur haute précision SP100

Ce micropositionneur de haute précision avec ses molettes en ligne permet de poser des pointes de tests sur des plots ou sur des lignes avec une précision de l'ordre du micromètre.

- Descente de la pointe totalement verticale.
- Option tête pivotante (plongée rapide pour pré-positionnement Z puis mouvement fin) ou Standard avec molette Z.
- Les molettes de réglage en ligne avec vis micrométriques (100TPI) permettent une densité optimale sur le plateau.

SP150Micropositionneur submicronique ultra-stable SP150

Micropositionneur de haute précision et ultra-stable avec molettes de mouvements en ligne, permet de poser des pointes sur des plots ou sur des lignes avec une précision submicronique.

- Descente de la pointe totalement verticale.
- Choix de tête Pivotante P ou Standard (descente avec molette Z).
- Le SP150 représente le micropositionneur le plus abouti actuellement disponible pour des positionnements de très grande précision.
- Les molettes de réglage en ligne avec vis micrométriques (100TPI) permettent une densité optimale sur le plateau.

USPorte-pointe standard fixation pointe par vis

Ce porte-pointe permet de monter une pointe de test avec un angle de 45°.

Il est utile pour des mesures IV standard.
La fixation de la pointe se fait par vis pour un encombrement réduit.

UPPorte-pointe standard fixation pointe par ressort

Ce porte-pointe permet de monter une pointe de test avec un angle de 45°.

Il est utile pour des mesures IV standard.
La fixation de la pointe se fait par ressort pour un montage rapide et sur.

UxTBPorte-pointe Coaxial isolation téflon

Ce porte-pointe coaxial permet de monter une pointe de test avec un angle de 45°.

Il est utile pour des mesures IV faibles bruits grace à son isolation téflon.

UxGBPorte-pointe Coaxial isolation céramique

Ce porte-pointe coaxial permet de monter une pointe de test avec un angle de 45°.

Il est utile pour des mesures IV faibles bruits grace à son isolation, et hautes températures jusqu'à 600°C.

TA-VIS-7575Table antivibratoire sur coussin d'air

Table montée sur coussins d'air permettant un amortissement des vibrations du sol pour de l'analyse sous pointes de grande précision ou de l'inspection optique.

- Plateau de plusieurs dimensions selon poids et taille de l'équipement
- Rattrapage automatique du niveau horizontal

D3Boite noire avec chuck

Spécialement conçue pour la mesure en température, cette boite noire type ''valise'' est munie d'un chuck (ambiant ou chauffant) ainsi que d'un plateau rond permettant de positionner plusieurs micropositionneurs magnétiques.

- Un microscope peut-être utilisé pour des motifs plus petits
- Une solution particulièrement économique pour une variété d'applications de test

S1080Contrôleur de température

Ce chuck thermique tri temp permet une caractérisation en température complète des dispositifs dans une plage de température comprise entre -60°C et +300°C.

- Contrôle de la température sur écran tactile ou en remote
- Rapidité de changement d'état (chaud / froid)
- Possibilité de chauffage par rampe (paliers de températures)

PACELogiciel de mesure et de contrôle

PACE est un logiciel qui fournit une solution pour combiner des outils de mesure, automatiser des séquences de caractérisation et importer/exporter des données.

PACE s'articule autour de 3 fenêtres :
- Fenêtre de mesure : configuration et contrôle des outils de mesure
- Fenêtre de séquence : configuration et contrôle de l'exécution de la séquence
- Fenêtre de mapping : configuration du mapping et contrôle de la station de test (pour les stations semi-automatique)

L'interface peut-être personnalisée en fonction des besoins du client :
- Test MEMS sur support PCB
- Import de fichiers GDS pour mapping de wafer
- Pilotage d'analyseur de réseau (Rohde & Schwarz), SMU (Keithley, Keysight...)

ERS-AC3Chuck thermique

Depuis 50 ans ERS développe des chucks thermiques compatible avec toutes les stations de test sous pointe.

Ils possèdent les propriétés suivantes :
- Haute température : 300°C
- Basse température : une technologie brevetée à flux d'air permet le refroidissement jusqu'à -65°C
- Chuck TRIAX pour mesure faible courant (FemtoAmp)
- Chuck Haute tension
- Chuck non magnétique

CM-BMCSupport de carte PCB

Ce support de cartes PCB permet de fixer des cartes électroniques munies de composants sur une station de test sous pointes.

- Utile pour l'analyse de défaillances sur composants montés sur carte ou nécessitant une circuiterie spécifique

PTG20Pointe de test en tungstène

Pointe de test droite avec finesse (tip radius) de 0,5 à 100 µm, le corps rigide en tungstène peut être plié et/ou coupé pour dégager l'espace au dessus dans le cas d'objectif à très courte distance de travail.

- Matériau tungstène, longueur totale 38 mm
- Usage pour tests sous pointes standard sur plots et/ou sur motifs
- Le corps peut être plaquée nickel pour soudure aisée, ajouter suffixe "N" au P/N

PTG4Pointe de test en cuivre avec fil tungstène

Pointe de test droite composée d'un corps en tungstène sur lequel est rapporté par soudure un fil de diamètre plus fin, la tige flexible minimise les dommages sur le matériau de contact et supporte mieux les vibrations ambiantes.

- Longueur de la tige flexible 3 à 5 mm, diamètre 5 à 125 microns
- Finesse de bout de du fil tungstène de 0.1 à 5 microns
- Usage pour tests sur plots et/ou sur lignes internes
- Le corps rigide en tungstène peut être plié suivant différentes formes et/ou coupé pour dégager l'espace dans le cas d'objectif à très courte distance de travail

PTSE-TGPointe de test en tungstène plaquée or

Pointe de test droite en tungstène plaquée or, le corps rigide peut être plié et/ou coupé pour dégager l'espace au-dessus dans le cas d'objectif à très courte distance de travail.

- Usage pour test sous pointes standard sur plots et/ou sur lignes internes
- Le matériau tungstène doré convient particulièrement pour des surfaces fragiles

PTSE-TCPointe de test en carbure de tungstène

Pointe de test droite en carbure de tungstène, le corps rigide peut être plié et/ou coupé pour dégager l'espace au-dessus dans le cas d'objectif à très courte distance de travail.

- Usage pour test sous pointes standard sur plots et/ou sur lignes internes
- Le matériau carbure de tungstène convient particulièrement pour des surfaces dures

PTSE-OPointe de test en osmium

Pointe de test droite en osmium, le corps rigide peut être plié et/ou coupé pour dégager l'espace au-dessus dans le cas d'objectif à très courte distance de travail.

- Usage pour test sous pointes standard sur plots et/ou sur lignes internes
- Le matériau osmium convient particulièrement pour des surfaces fragiles

PTSE-PPointe de test en palladium

Pointe de test droite en palladium, le corps rigide peut être plié et/ou coupé pour dégager l'espace au-dessus dans le cas d'objectif à très courte distance de travail.

- Usage pour test sous pointes standard sur plots et/ou sur lignes internes
- Le matériau palladium convient particulièrement pour des surfaces difficiles à contacter ou pour des mesures faibles courants

MW-SCA250Sonde coaxiale Kelvin

Destinée à la mesure faible signaux, ces sondes coaxiales et Kelvin disposent de deux pointes indépendantes lorsque l'application nécessite de poser 2 pointes sur un même plot.

- Fil de 50 ohms semi-rigide de 200 µm isolé par un diélectrique Téflon, le faible bruit est obtenu par un dépassement minimal de la pointe (3 mm)
- Double-pointe disponible de 5 µm à 12,5 µm avec espacement de 12,5 à 100 µm

MWPA-7Sonde active 7

Cette série de sondes est destinée au test sous pointes de noeuds internes sensibles en complément aux modèles 12C et 18C pour stimuler les circuits et mesurer les réponses des noeuds adjacents

- Le câble flexible coaxial de 1,8m terminé par une impédance de 50 ohms élimine les réflexions
- Le connecteur miniature reçoit la pointe (remplaçable) avec une isolation coaxiale jusqu'à 3 mm du bout afin d'éviter les capacités parasites
- Diverses références de finesse et de forme sont disponibles
- Modèles disponibles : 7, 7A, adaptable sur tout micropositionneur (modèle à préciser)
- Pour des applications en température (jusqu'à 200°C), les modèles MWPA-7-HT et MWPA-7A-HT sont disponibles

MWPA-12CSonde active 12C

Sonde destinée au test sous pointes de noeuds internes sensibles nécessitant une faible capacité d'entrée

- Gamme de fréquence DC jusqu'à 500 MHz
- Bras actif spécifique au micropositionneur utilisé (à spécifier lors de la commande)
- Nécessite une alimentation pour fonctionner, valable pour une ou deux sondes, modèle MW-PS2
- La pointe (remplaçable) est équipée d'un MOS en entrée, divers modèles de finesse et de radius sont disponibles
- Une pointe de remplacement est fournie avec la sonde, voir également la série de pointes remplaçables MWPA-R12C
- Autres modèles disponibles : 7, 7A, 18C, 19C, 28, 29, 34A, 35

MWPA-18CSonde active 18C

Sonde destinée au test sous pointes de noeuds internes sensibles nécessitant une faible capacité d'entrée.

- Gamme de fréquences DC jusqu'à 350MHz
- Bras actif spécifique au micropositionneur utilisé (à préciser lors de la commande)
- Nécessite une alimentation pour fonctionner, valable pour une ou deux sondes, modèle MW-PS2
- La pointe (remplaçable et fournie) est équipée d'un MOS en entrée, divers modèles de finesse et de radius sont disponibles
- Voir la série de pointes remplaçables MWPA-R18C
- Autres modèles disponibles : 7, 7A, 12C, 19, 28, 29, 34A et 35

MWPA-28Sonde active 28

Sonde destinée au test sous pointes de noeuds internes sensibles nécessitant une faible capacité d'entrée.

- Gamme de fréquences DC jusqu'à 1 GHz
- Bras actif spécifique au micropositionneur utilisé (modèle à spécifier lors de la commande)
- Nécessite une alimentation pour fonctionner, valable pour une ou deux sondes, modèle MW-PS2
- La pointe fournie (remplaçable) est équipée d'un MOS en entrée, divers modèles de finesse et de radius sont disponibles
- Voir la série de pointes remplaçables MWPA-R28
- Autres modèles disponibles : 7, 7A, 112C, 18C, 19C, 29, 34A, 35

MWPA-34ASonde active 34A

Sonde destinée au test sous pointes de noeuds internes sensibles nécessitant une faible capacité d'entrée

- Gamme de fréquences DC jusqu'à 3 GHz
- Bras actif spécifique au micropositionneur utilisé (modèle à spécifier lors de la commande)
- Nécessite une alimentation pour fonctionner, valable pour une ou deux sondes, modèle MW-PS2
- La pointe fournie (remplaçable) est équipée d'un MOS en entrée, divers modèles de finesse et de radius sont disponibles
- Voir la série de pointes remplaçables MWPA-R34A
- Autres modèles disponibles : 7, 7A, 12C, 18C, 19C, 28, 29, 35

MWPA-35Sonde active 35

Sonde destinée au test sous pointes de noeuds internes sensibles nécessitant une faible capacité d'entrée.

- Gamme de fréquences DC jusqu'à 26 GHz
- Bras actif spécifique au micropositionneur utilisé (modèle à spécifier lors de la commande)
- Nécessite une alimentation pour fonctionner, valable pour une ou deux sondes, modèle MW-PS3
- La pointe (remplaçable) est équipée d'un MOS en entrée, divers modèles de finesse et de radius sont disponibles
- Voir la série de pointes remplaçables MWPA-R35. Attention, cette sonde est livrée sans sa pointe de remplacement.
- Autres modèles disponibles : 7, 7A, 12C, 18C, 19C, 28, 29, 34A

A PROPOS : Mesures IV/CV & Analyse de défaillance

Microworld offre des solutions complètes et dédicacées afin de réaliser vos mesures DC paramétriques tout en faisant face aux challenges de la reproductibilité des mesures. Les mesures I/V, C/V peuvent être réalisées sur l'ensemble de nos stations, manuelles et semi-automatiques, ainsi qu'en températures variables (-60°C à +600°C). L'ensemble des Sourcemeter (Agilent, Keithley..) sont intégrés afin de proposer des connexions performantes.