Systèmes de mesures 4 pointes

CARACTERISATION DE COUCHES - Systèmes de mesures 4 pointes

Ensemble d'équipements permettant de mesurer la résistivité de surface des couches minces en utilisantla méthode 4 pointes en ligne.

- Systèmes portables, manuels et semi-automatiques
- Puces seules au wafer 300mm (12")
- Température jusqu'à 600°C
- Logiciel de cartographie, mesure et analyse
- Têtes 4 pointes avec choix de pitch, radius et pression
Systèmes manuels
Cette série d'appareils convient aux laboratoires de caractérisation, les modèles proposés sont soit totalement manuels avec un stand porte-tête 4 pointes et une sortie fils libre vers l'instrumentation, soit plus complets incluant le logiciel sur pc et optionnellement l'appareil de mesure
• Trois configurations pour répondre à tous les budgets
• Adaptables pour wafers jusqu'à 200 mm
• Option température pour mesure de certains matériaux
S302
Stand de mesure 4 pointes
Stand de mesure 4 pointes
Le système se compose d'une potence de maintien de la tête de tests avec levier de descente et d'un plateau de réception pour wafer de 4, 6, 8 ou 12 pouces. Le positionnement de l'échantillon est manuel ainsi que la mise en contact de la tête 4 pointes sur l'échantillon.

- Un micro-switch permet d'assurer l'injection du courant à partir du moment où toutes les pointes sont en contact
- La mesure est effectuée par un appareil externe de type Keithley qui peut faire partie de la fourniture
- Le système peut être complété par le logiciel de mesure et d'affichage des résultats
- Parfait pour pour laboratoires, universités, centres de recherche... dans le domaine caractérisation de matériaux
MW-Pack4PP-M
Ensemble de mesure 4 pointes manuel gamme moyenne résistivité
Ensemble de mesure 4 pointes manuel gamme moyenne résistivité
Système de mesure 4 pointes pour laboratoires, pour la recherche et petites productions. Le stand comprend plusieurs fonctionnalités lui permettant d'assurer des mesures de résistivité et de résistance de surface grâce à 4 pointes précises. Il est possible de caractériser les matériaux fabriqués par dopage semi-conducteur, dépot de métal ou sur verre, matériaux caoutchouteux...

Un levier manuel permet de faire un mouvement en Z de contact et non contact avec une répétabilité de l'ordre du micron. De plus, une molette de réglage située sur le coté droit permet d'affiner avec précision le mouvement en Z.
L'échantillon à tester est monté sur un support mobile qui permet de se placer sous la tête de mesure facilement entre chaque point de mesure.


- Un micro-switch permet d'assurer l'injection du courant à partir du moment où toutes les pointes sont en contact.
- La mesure est effectuée par un appareil externe Keithley 2450.

Le système de mesure utilise un logiciel de mesure et d'affichage des résultats qui permet l'exportation des données pour un traitement de données postérieur. Il est possible d'effectuer une cartographie de l'échantillon en fonction des résistivités ou des épaisseurs mesurées.
L'utilisateur saisit la taille et forme de l'échantillon, bord d'exclusion et nombre de point à tester. Une image graphique des points de mesure cibles est affichée. A la fin du test de tous les points, nous retrouvons la moyenne des valeurs mesurées, l'écart type ainsi que les maximums et minimums de mesure.
Systèmes semi-automatiques
Les appareils semi-automatiques sont prévus pour tester une plaquette entière jusqu'à 300 mm de diamètre avec plusieurs cartographies possible afin de déterminer la moyenne et l'écart-type des valeurs de résistivité obtenues. Le chargement est manuel, les déplacements X-Y-Z et le contrôle de la mesure sont automatiques
• Plusieurs cartographies possible, rectangulaires, polaires...
• Mode personnalisé permettant de mesurer sur des points précis définis par l'utilisateur
• Gamme de courant automatique
• Logiciel très complet de mesure et de gestion des cartographies et valeurs mesureées
• SPC, graphe 3D...
333A
Système de mesure 4 pointes semi-automatique
Système de mesure 4 pointes semi-automatique
Gamme de mesure de 1 mohm/sq à 8E5ohm/sq, mesures 1pt, 5 pts ou cartographie pour ces systèmes semi-automatiques, cartographie et analyse jusqu'à 6000 points jusqu'au wafer 300mm.

- Gamme de mesure standard et étendue, stockage et récupération des valeurs de mesure, fonctions de recherche de résultats évoluées
- Cartographies de mesure polaires ou rectangulaires, jusqu'à 650 points de mesure, scan de diamètre, sites de tests "custom"
- Compensation d'effet de bord, détection automatique de la polarité...
- Ces appareils permettent de répondre à tous les besoins en terme de qualification de résistance de couche, que ce soit en R&D et manuel ou en mode production
280I
Système de mesure 4 pointes semi-automatique
Système de mesure 4 pointes semi-automatique
Gamme de mesure de 1 mohm/sq à 8E11ohm/sq, mesures 1pt, 5 pts ou cartographie pour ces systèmes semi-automatiques, cartographie et analyse jusqu'à 6000 points.

- Gamme de mesure standard et étendue, stockage et récupération des valeurs de mesure, fonctions de recherche de résultats évoluées
- Cartographies de mesure polaires ou rectangulaires, jusqu'à 650 points de mesure, scan de diamètre, sites de tests "custom"
- Compensation d'effet de bord, détection automatique de la polarité...
- Ces appareils permettent de répondre à tous les besoins en terme de qualification de résistance de couche, que ce soit en R&D et manuel ou en mode production
QUADPRO
Système de mesure 4 pointes semi-automatique évolutif
Système de mesure 4 pointes semi-automatique évolutif
Ce système est un dérivé du système de mesure PRO4 dans une version semi-automatique (ou manuel) et pour diverses gammes de résistivité, faible et haute résistivité (jusqu'à 10 Gohm/sq).

• Un contrôleur en température et un logiciel optionnel permet une gestion du coefficient TCR
• Adapté aux applications Recherches sur matériaux semi-conducteurs


Têtes de mesure 4 pointes
Les têtes de mesure de résistivité de surface disposent de quatre pointes en ligne montées sur ressort indépendamment l'une de l'autre, différents modèles sont disponibles selon le type de couche à mesurer et les caractéristiques électriques.
• Série pour usage ambiant adaptables sur nos équipements ou autres montages
• Modèles haute température
• Câblage standard ou coaxial
• Option câblage spécifique haute résistivité

SP4
Tête de mesures 4 pointes
Tête de mesures 4 pointes
Tête 4 pointes pour température ambiante, utilisable sur équipements de la série Pack4PP et Quadpro et ou pour une utilisation séparée. La tête standard est conçue en delrin avec des pointes en tungstène. Une baïonnette ainsi que deux vis permettent de fixer la pointe à notre stand 4 pointes facilement pour des mesures précises et répétables.

- Matériau des pointes défini selon application & Type de couche
- Choix des paramètres : Espacements de pointes (pitch), finesses de bout, pression des pointes,
- Terminaisons : Fils volants, fiches banane, BNC, câbles triaxiaux, connecteur 9 broches...
CP4
Tête de mesures 4 pointes cylindrique
Tête de mesures 4 pointes cylindrique
Tête 4 pointes pour mesure de résistivité utilisable sur équipements de la série 280 ou séparément, espacements de pointes standard 1 mm.

- Pointes avec pression ajustable
- Finesse de bout des pointes (tip radius) adaptée à la plupart des couches électroniques
- Livrée avec connecteur 9 broches pour câblage direct
- Utilisation température ambiante uniquement.
HT4
Tête de mesures 4 pointes haute température
Tête de mesures 4 pointes haute température
Tête 4 pointes pour haute température, utilisable sur équipements de la série Pro4 et Quadpro et séparément.

- Matériau des pointes défini selon type de couche à mesurer
- Choix des paramètres : Espacements de pointes (pitch), finesses de bout, pression des pointes
- Terminaisons : Fils volants, Banana jacks, Triax, Connecteur...
- Option câblage haute résistivité
Wafers de calibration
Pour toute information, devis, commande ou demande de rendez-vous avec un spécialiste technico-commercial. +33 (0)476 561 617

5 rue de la Verrerie

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