CARACTERISATION DE COUCHESSystèmes de mesures 4 pointes

CARACTERISATION DE COUCHES - Systèmes de mesures 4 pointes

Systèmes manuels
Systèmes semi-automatiques
Têtes de mesure 4 pointes
Wafers de calibration

Ensemble d'équipements permettant de mesurer la résistivité de surface des couches minces en utilisantla méthode 4 pointes en ligne.

- Systèmes portables, manuels et semi-automatiques
- Puces seules au wafer 300mm (12")
- Température jusqu'à 600°C
- Logiciel de cartographie, mesure et analyse
- Têtes 4 pointes avec choix de pitch, radius et pression

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Systèmes manuels

Cette série d'appareils convient aux laboratoires de caractérisation, les modèles proposés sont soit totalement manuels avec un stand porte-tête 4 pointes et une sortie fils libre vers l'instrumentation, soit plus complets incluant le logiciel sur pc et optionnellement l'appareil de mesure
• Trois configurations pour répondre à tous les budgets
• Adaptables pour wafers jusqu'à 200 mm
• Option température pour mesure de certains matériaux

S302

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Stand de mesure 4 pointes

Le système se compose d'une potence de maintien de la tête de tests avec levier de descente et d'un plateau de réception pour wafer de 4, 6, 8 ou 12 pouces. Le positionnement de l'échantillon est manuel ainsi que la mise en contact de la tête 4 pointes sur l'échantillon.

- Un micro-switch permet d'assurer l'injection du courant à partir du moment où toutes les pointes sont en contact
- La mesure est effectuée par un appareil externe de type Keithley qui peut faire partie de la fourniture
- Le système peut être complété par le logiciel de mesure et d'affichage des résultats
- Parfait pour pour laboratoires, universités, centres de recherche... dans le domaine caractérisation de matériaux

MW-Pack4PP-M

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Ensemble de mesure 4 pointes manuel gamme moyenne résistivité

Système de mesure 4 pointes pour laboratoires, pour la recherche et petites productions. Le stand comprend plusieurs fonctionnalités lui permettant d'assurer des mesures de résistivité et de résistance de surface grâce à 4 pointes précises. Il est possible de caractériser les matériaux fabriqués par dopage semi-conducteur, dépot de métal ou sur verre, matériaux caoutchouteux...

Un levier manuel permet de faire un mouvement en Z de contact et non contact avec une répétabilité de l'ordre du micron. De plus, une molette de réglage située sur le coté droit permet d'affiner avec précision le mouvement en Z.
L'échantillon à tester est monté sur un support mobile qui permet de se placer sous la tête de mesure facilement entre chaque point de mesure.

- Un micro-switch permet d'assurer l'injection du courant à partir du moment où toutes les pointes sont en contact.
- La mesure est effectuée par un appareil externe Keithley 2450.

Le système de mesure utilise un logiciel de mesure et d'affichage des résultats qui permet l'exportation des données pour un traitement de données postérieur. Il est possible d'effectuer une cartographie de l'échantillon en fonction des résistivités ou des épaisseurs mesurées.
L'utilisateur saisit la taille et forme de l'échantillon, bord d'exclusion et nombre de point à tester. Une image graphique des points de mesure cibles est affichée. A la fin du test de tous les points, nous retrouvons la moyenne des valeurs mesurées, l'écart type ainsi que les maximums et minimums de mesure.

Systèmes semi-automatiques

Les appareils semi-automatiques sont prévus pour tester une plaquette entière jusqu'à 300 mm de diamètre avec plusieurs cartographies possible afin de déterminer la moyenne et l'écart-type des valeurs de résistivité obtenues. Le chargement est manuel, les déplacements X-Y-Z et le contrôle de la mesure sont automatiques
• Plusieurs cartographies possible, rectangulaires, polaires...
• Mode personnalisé permettant de mesurer sur des points précis définis par l'utilisateur
• Gamme de courant automatique
• Logiciel très complet de mesure et de gestion des cartographies et valeurs mesureées
• SPC, graphe 3D...

333A

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Système de mesure 4 pointes semi-automatique

Gamme de mesure de 1 mohm/sq à 8E5ohm/sq, mesures 1pt, 5 pts ou cartographie pour ces systèmes semi-automatiques, cartographie et analyse jusqu'à 6000 points jusqu'au wafer 300mm.

- Gamme de mesure standard et étendue, stockage et récupération des valeurs de mesure, fonctions de recherche de résultats évoluées
- Cartographies de mesure polaires ou rectangulaires, jusqu'à 650 points de mesure, scan de diamètre, sites de tests "custom"
- Compensation d'effet de bord, détection automatique de la polarité...
- Ces appareils permettent de répondre à tous les besoins en terme de qualification de résistance de couche, que ce soit en R&D et manuel ou en mode production

280I

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Système de mesure 4 pointes semi-automatique

Gamme de mesure de 1 mohm/sq à 8E11ohm/sq, mesures 1pt, 5 pts ou cartographie pour ces systèmes semi-automatiques, cartographie et analyse jusqu'à 6000 points.

- Gamme de mesure standard et étendue, stockage et récupération des valeurs de mesure, fonctions de recherche de résultats évoluées
- Cartographies de mesure polaires ou rectangulaires, jusqu'à 650 points de mesure, scan de diamètre, sites de tests "custom"
- Compensation d'effet de bord, détection automatique de la polarité...
- Ces appareils permettent de répondre à tous les besoins en terme de qualification de résistance de couche, que ce soit en R&D et manuel ou en mode production

QUADPRO

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Système de mesure 4 pointes semi-automatique évolutif

Ce système est un dérivé du système de mesure PRO4 dans une version semi-automatique (ou manuel) et pour diverses gammes de résistivité, faible et haute résistivité (jusqu'à 10 Gohm/sq).

• Un contrôleur en température et un logiciel optionnel permet une gestion du coefficient TCR
• Adapté aux applications Recherches sur matériaux semi-conducteurs

Têtes de mesure 4 pointes

Les têtes de mesure de résistivité de surface disposent de quatre pointes en ligne montées sur ressort indépendamment l'une de l'autre, différents modèles sont disponibles selon le type de couche à mesurer et les caractéristiques électriques.
• Série pour usage ambiant adaptables sur nos équipements ou autres montages
• Modèles haute température
• Câblage standard ou coaxial
• Option câblage spécifique haute résistivité

SP4