Systèmes de mesures non destructif

CARACTERISATION DE COUCHES - Systèmes de mesures non destructif

Ensemble de systèmes de mesures de la résistivité sans contact, pour éviter toute détérioration de la surface de l'échantillon ou du wafer.

Ces systèmes utilisent la méthode du courant de Foucault (Eddy Current) qui permet entre autre de mesures des échantillons avec une couche d'oxyde.
Systèmes manuels
Systèmes semi-automatiques
TF map 2525SR
Système par courant de Foucault semi-automatique
Système par courant de Foucault semi-automatique
La série TF map 2525 mesure automatiquement la résistance de couche de grands échantillons jusqu'à 254 x 254 mm² (10 x 10 pouces) en mode sans contact.
Après un positionnement manuel de l'échantillon, l'appareil mesure et affiche automatiquement une cartographie précise de la résistance de la couche sur toute la zone de l'échantillon.
Les paramètres de mesure permettent de choisir facilement et de manière flexible entre des temps de mesure rapides inférieurs à 1 minute ou une résolution de mesure spatiale élevée de plus de 1 000 000 points de mesure.

Avantages de ce système :

- Mesure sans contact
- Non destructif
- Mesure rapide et précise
- Cartographie haute résolution de couches minces conductrices
- Imagerie de substrats
- Détection des défauts et analyse des revêtements
- Caractérisation des couches conductrices cachées et encapsulées
- Diverses fonctions d'analyse intégrées au logiciel (distribution de résistance de feuille, balayage de ligne, analyse de point unique...)
- Fonctions de sauvegarde et d'exportation des données de mesure
TF map 2530
Système par courant de Foucault semi-automatique
Système par courant de Foucault semi-automatique
La série TF map 2530 mesure automatiquement la résistance de couche de grands échantillons jusqu'à 300 x 300 mm² (12 x 12 pouces) en mode sans contact.
Après un positionnement manuel de l'échantillon, l'appareil mesure et affiche automatiquement une cartographie précise de la résistance de la couche sur toute la zone de l'échantillon.
Les paramètres de mesure permettent de choisir facilement et de manière flexible entre des temps de mesure rapides inférieurs à 1 minute ou une résolution de mesure spatiale élevée de plus de 1 000 000 points de mesure.

Avantages de ce système :

- Mesure sans contact
- Non destructif
- Mesure rapide et précise
- Cartographie haute résolution de couches minces conductrices
- Imagerie de substrats
- Détection des défauts et analyse des revêtements
- Caractérisation des couches conductrices cachées et encapsulées
- Diverses fonctions d'analyse intégrées au logiciel (distribution de résistance de feuille, balayage de ligne, analyse de point unique...)
- Fonctions de sauvegarde et d'exportation des données de mesure
Systèmes portables
La méthode de test par courants de Foucault utilise des variations de conductivité locales pour la caractérisation des caractéristiques telles que l'épaisseur, la résistance de la couche, l'homogénéité du matériau ou d'autres changements physiques dans l'échantillon.
Le signal de courant de Foucault complexe contient diverses informations sur le matériau de test, qui peuvent être séparées dans de nombreux cas avec des algorithmes simples ou complexes.
L'électronique à courants de Foucault puissante appliquée offre une large gamme de fréquences de 10 kHz à 100 MHz qui est utilisée pour atteindre différentes sensibilités et profondeur de pénétration en fonction de l'application.
Tous nos produits sont proposés avec un logiciel convivial pour une évaluation rapide en temps réel.
TF portable
Système par courant de Foucault portable
Système par courant de Foucault portable
Le système TF portable 1010 est un appareil de mesure compact et portable pour la mesure de résistivité sur de grandes surfaces. Il permet de caractériser par contact rapide de grandes plaques conductrices. Le système utilise la méthode des courants de Foucault, appelés aussi Eddy current. Cette méthode permet de faire des mesures non destructives. Il est possible de mesurer des échantillons et composants encapsulés. Les courants de Foucoult pénètrent les couches non conductrices tel que les oxydes de surface ou tout autre revêtement.

C'est un appareil facile à utiliser qui est contrôlé via un écran tactile.

Il est possible de mesurer les surfaces suivantes :

- Verre à faible émission
- Verre électrochrome intelligent
- Revêtement miroir
- Couche réfléchissante
- Film conducteur
- couche d'électrodes
- Electrodes de batterie
- Papier conducteur
- Textile conducteur


Pour toute information, devis, commande ou demande de rendez-vous avec un spécialiste technico-commercial. +33 (0)476 561 617

5 rue de la Verrerie

38120 Le Fontanil-Cornillon

Grenoble / France

Fax : +33(0) 476 757 484

RCS Grenoble B 381 001 171 - APE 4652Z

TVA FR 48 381 001 171