CARACTERISATION DE COUCHESSystèmes de mesures non destructif

TF labSystème manuel de mesure de résistivité sans contact

La série TF lab 2020 permet de mesurer des couches minces semi-conductrices sans contact grâce aux courant de Foucault.
L'appareil de table compact est idéal pour des mesures rapides et précises d'échantillons jusqu'à 200 x 200 mm (8 x 8 pouces).
Cette mesure non destructive est possible pour une large gamme de substrat semi-conducteur ou conducteur.

Le TF lab 2020, qui existe en plusieurs version, permet des mesures de:

- Résistance de surface
- Résistivité
- Épaisseur
- Anisotropy

Avantages:

- Mesure non destructive
- Mesure en temps réel sans contact ultra rapide
- Mesure précise de couches minces conductrices à différente profondeur de pénétration
- Caractérisation de couches conductrices cachées et encapsulées
- Software facile d'utilisation & affichage des résultats en temps réel

Applications :

- Écran, écran tactile et écran plat
- Applications OLED et LED
- Couches de graphène
- Wafer et cellules photovoltaïques
- Wafer semi-conducteur
- Couche de métallisation et métallisation de wafer
- Électrodes de batterie
- Papier et textile conducteurs
- Conducteur organique
- Polymère
- Verre architectural revêtu
- Verre électrochrome intelligent, Smart Glass

TF map 2525SRSystème par courant de Foucault semi-automatique

La série TF map 2525 permet d'extraire automatiquement les caractéristiques intrinsèques d'échantillons jusqu'à 250 x 250mm (10 x 10 pouces) en mode sans contact et donc non destructeur.
Lors du positionnement manuel de l'échantillon, l'appareil mesure et affiche automatiquement la distribution des propriétés sur toute la zone de l'échantillon. Les paramètres de mesure permettent de choisir facilement et de manière flexible entre des temps de mesure rapides inférieurs à 1 minute ou une résolution de mesure spatiale élevée de plus de 50 000 points de mesure par échantillon.
La cartographie résultante donne un véritable aperçu de l'homogénéité et de la qualité des couches mesurées quelles soient transparentes ou opaques.
L'appareil compact permet, selon sa configuration, d'extraire de manière précise la résistance de surface, la résistivité, l'épaisseur ou encore l'anisotropie

Avantages:

- Mesure sans contact
- Non destructif
- Mesure rapide et précise
- Cartographie haute résolution de couches minces conductrices
- Imagerie de substrats
- Détection des défauts et analyse des revêtements
- Caractérisation des couches conductrices cachées et encapsulées
- Diverses fonctions d'analyse intégrées au logiciel (distribution de résistance de feuille, balayage de ligne, analyse de point unique...)
- Fonctions de sauvegarde et d'exportation des données de mesure

Applications :

- Écran, écran tactile et écran plat
- Applications OLED et LED
- Couches de graphène
- Wafer et cellules photovoltaïques
- Wafer semi-conducteur
- Couche de métallisation et métallisation de wafer
- Électrodes de batterie
- Papier et textile conducteurs
- Conducteur organique
- Polymère
- Verre architectural revêtu
- Verre électrochrome intelligent, Smart Glass

TF map 2530Système par courant de Foucault semi-automatique

La série TF map 2530 mesure automatiquement la résistance de couche de grands échantillons jusqu'à 300 x 300 mm (12 x 12 pouces) en mode sans contact.
Après un positionnement manuel de l'échantillon, l'appareil mesure et affiche automatiquement une cartographie précise de la résistance de la couche sur toute la zone de l'échantillon.
Les paramètres de mesure permettent de choisir facilement et de manière flexible entre des temps de mesure rapides inférieurs à 1 minute ou une résolution de mesure spatiale élevée de plus de 100 000 points de mesure.

Le TF map 2530, qui existe en plusieurs version, permet des mesures de:

- Résistance de surface
- Résistivité
- Épaisseur
- Anisotropy

Avantages:

- Mesure sans contact
- Non destructif
- Mesure rapide et précise
- Cartographie haute résolution de couches minces conductrices
- Imagerie de substrats
- Détection des défauts et analyse des revêtements
- Caractérisation des couches conductrices cachées et encapsulées
- Diverses fonctions d'analyse intégrées au logiciel (distribution de résistance de feuille, balayage de ligne, analyse de point unique...)
- Fonctions de sauvegarde et d'exportation des données de mesure

Applications :

- Écran, écran tactile et écran plat
- Applications OLED et LED
- Couches de graphène
- Wafer et cellules photovoltaïques
- Wafer semi-conducteur
- Couche de métallisation et métallisation de wafer
- Électrodes de batterie
- Papier et textile conducteurs
- Conducteur organique
- Polymère

TF portableSystème par courant de Foucault portable

Le système TF portable 1010 est un appareil de mesure compact et portable pour la mesure de résistivité sur de grandes surfaces. Il permet de caractériser par contact rapide de grandes surface conductrices.
Le système utilise la méthode des courants de Foucault. Cette méthode permet de faire des mesures non destructives. Il est possible de mesurer des échantillons et composants encapsulés grâce a ces courants faible qui pénètrent les couches non conductrices tel que les oxydes ou tout autres revêtements.
Le TF Portable 1010 est un appareil facile à utiliser et contrôlé via un écran tactile. Compact, il permet, selon sa configuration, d'extraire de manière précise la résistance de surface, la résistivité, l'épaisseur ou encore l'anisotropie d'un matériau

Avantages :

- Appareil de mesure compact et portable
- Mesure manuelle
- Mesure instantanée en direct
- Collecte de données numériques et transmission de données via Bluetooth
- Caractérisation des couches conductrices cachées et encapsulées

Application:

- Verre architectural (LowE)
- Revêtements miroir
- Couches réfléchissantes
- Feuilles d'emballage
- Couches d'électrodes en verre intelligent / électrochrome et stockage d'énergie
- Électrodes de batterie
- Papier conducteur et textiles conducteurs
- Polymère conducteur

A PROPOS DE NOS Systèmes de mesures non destructif

Les systèmes de mesure sans contact de la série TF contiennent un ensemble de capteurs qui induisent des courants faibles dans des couches conductrices et semi-conductrices. Ces courants induits, aussi appelés courant de Foucault, génèrent un champ électromagnétique directement lié aux paramètres intrinsèques de l'échantillon.
Ainsi, nous allons pouvoir caractériser sa résistivité, son épaisseur de couche, son anisotropie, sa perméabilité, sa permissivité ou encore son émissivité sans aucun contact mécanique.

En modulant les fréquences d'émissions du champs magnétique initial, nous allons pouvoir contrôler la profondeur de pénétration et donc l'épaisseur de couche que l'on souhaite mesurer. Il est donc possible de réaliser des mesures d'une ou plusieurs couches en simultané sur une large gamme de matériaux.

La technologie est indépendante des caractéristiques de surface ou de la morphologie. En outre, elle ne nécessite aucun type de contact ou de préparation particulière de l'échantillon comme pour des tests 4 pointes en ligne, des mesures à effet Hall ou Van-der-Pauw. Le système ne nécessite pas la mise en place de structure de test et n'est pas affecté par la rugosité de surface, les encapsulations non conductrices ou les couches de passivation. De plus, la mesure n'affecte pas physiquement la couche mince testée.

Les instruments à courants de Foucault ont une longue durée de vie car ils s'affranchissent de toute usure mécanique de part leur caractère sans contact.
Cela permet également d'obtenir des répétabilités élevées et de grandes précisions de manière ultra-rapide ce qui assure la qualité de la mesure de diverses couches minces.

Enfin, ces systèmes sont souvent accompagnés d'un logiciel avec diverses fonctions d'enregistrement et d'exportation de données permettant ainsi une lecture simple des résultats sous forme de cartographie par exemple.

Applications :

- Fines couches de revêtement
- Films conducteurs
- Papiers et textiles conducteurs
- Composants encapsulés
- Métaux
- Capteurs photoélectriques
- Conducteurs organiques
- Ecrans tactiles et écrans plats
- Applications OLED et LED
- Couches de graphène
- Wafers et cellules photovoltaïques
- Électrodes de batterie
- Polymères conducteurs

Caractéristiques principales :

• Gamme de résistance de surface 0,1mΩ/sq à 200kΩ/sq
• Mesure instantanée ultra-rapide
• Taille d'échantillon : 10x10mm jusqu'à 300x300mm
• Mesure sans contact
• Système compact

CARACTERISATION DE COUCHESSystèmes de mesures non destructif

Systèmes manuels

Systèmes semi-automatiques

Systèmes portables

TF labSystème manuel de mesure de résistivité sans contact

TF map 2525SRSystème par courant de Foucault semi-automatique

TF map 2530Système par courant de Foucault semi-automatique

TF portableSystème par courant de Foucault portable