CARACTERISATION DE COUCHESSystèmes de mesures 4 pointesSystèmes manuels

S302Stand de mesure 4 pointes

Le système se compose d'une potence de maintien de la tête 4PP avec levier de descente et d'un plateau de réception pour wafer 100 ou 150 mm. Le positionnement de l'échantillon est manuel ainsi que la mise en contact de la tête 4 pointes sur l'échantillon.

Applications :

- Si, Ge, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN, ZnO, TCOs
- Composant optoélectronique
- Nanomatériaux
- Capteurs, MEMS
- Polymère conducteur
- Dépôt d'oxyde
- Céramique & Verre
- Batteries
- Electrodes
- Photovoltaïque

Spécifications :

• Un micro-switch permet d'assurer l'injection du courant à partir du moment où toutes les pointes sont en contact
• La mesure est effectuée par un appareil externe de type Keithley qui peut faire partie de la fourniture
• Le système peut être complété par le logiciel de mesure et d'affichage des résultats
• Parfait pour pour laboratoires, universités, centres de recherche... dans le domaine caractérisation de matériaux

MW-Pack4PP-MEnsemble de mesure 4 pointes manuel gamme moyenne résistivité

Système de mesure 4 pointes pour laboratoires, pour la recherche et petites productions. Le stand comprend plusieurs fonctionnalités lui permettant d'assurer des mesures de résistivité et de résistance de surface grâce à 4 pointes précises. Il est possible de caractériser les matériaux fabriqués par dopage semi-conducteur, dépot de métal ou sur verre, matériaux caoutchouc...

Un levier manuel permet de faire un mouvement en Z de contact et non contact avec une répétabilité de l'ordre du micron. De plus, une molette de réglage située sur le dessus de l'appareil permet d'affiner avec précision le mouvement en Z.
L'échantillon à tester est monté sur un support mobile qui permet de se placer sous la tête de mesure facilement entre chaque point de mesure.
De plus, l'équipement dispose de plusieurs tailles de chuck allant de 4" à 12".

Applications :

- Si, Ge, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN, ZnO, TCOs
- Composant optoélectronique
- Nanomatériaux
- Capteurs, MEMS
- Polymère conducteur
- Dépôt d'oxyde
- Céramique & Verre
- Batteries
- Electrodes
- Photovoltaïque

Spécifications:

• Mesure V/I, résistance de feuille, résistivité ou épaisseur
• Mapping
• Un micro-switch permet d'assurer l'injection du courant à partir du moment où toutes les pointes sont en contact.
• La mesure est effectuée par un appareil externe Keithley 2450.
• Logiciel permettant le traitement des données
• Création d'une courbe I/V
• Mesure bipolaire
• Export de données sous format Txt, Excel, CSV...

Le système de mesure utilise un logiciel de mesure et d'affichage des résultats qui permet l'exportation des données pour un traitement de données postérieur. Il est possible d'effectuer une cartographie de l'échantillon en fonction des résistivités ou des épaisseurs mesurées.
L'utilisateur saisit la taille et forme de l'échantillon, bord d'exclusion et nombre de point à tester. Une image graphique des points de mesure cibles est affichée. A la fin du test de tous les points, nous retrouvons la moyenne des valeurs mesurées, l'écart type ainsi que les maximums et minimums de mesure.

MW-Pack4PP-HEnsemble de mesure 4 pointes manuel gamme forte résistivité

Système de mesure 4 pointes pour laboratoires, pour la recherche et petites productions. Le stand comprend plusieurs fonctionnalités lui permettant d'assurer des mesures de résistivité et de résistance de surface grâce à 4 pointes précises. Il est possible de caractériser les matériaux fabriqués par dopage semi-conducteur, dépot de métal ou sur verre, matériaux caoutchouc...

Un levier manuel permet de faire un mouvement en Z de contact et non contact avec une répétabilité de l'ordre du micron. De plus, une molette de réglage située sur le dessus de l'appareil permet d'affiner avec précision le mouvement en Z.
L'échantillon à tester est monté sur un support mobile qui permet de se placer sous la tête de mesure facilement entre chaque point de mesure.
De plus, l'équipement dispose de plusieurs tailles de chuck allant de 4" à 12".

Applications :

- Si, Ge, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN, ZnO, TCOs
- Composant optoélectronique
- Nanomatériaux
- Capteurs, MEMS
- Polymère conducteur
- Dépôt d'oxyde
- Céramique & Verre
- Batteries
- Electrodes
- Photovoltaïque

Spécifications:

• Mesure V/I, résistance de feuille, résistivité ou épaisseur
• Création d'une courbe I/V
• Mesure bipolaire
• Export de données sous format Txt, Excel, CSV...
• Un micro-switch permet d'assurer l'injection du courant à partir du moment où toutes les pointes sont en contact.
• La mesure est effectuée par un appareil externe Keithley 2635B.
• Logiciel permettant le traitement des données

Le système de mesure utilise un logiciel de mesure et d'affichage des résultats qui permet l'exportation des données pour un traitement de données postérieur. Il est possible d'effectuer une cartographie de l'échantillon en fonction des résistivités ou des épaisseurs mesurées.
L'utilisateur saisit la taille et forme de l'échantillon, bord d'exclusion et nombre de point à tester. Une image graphique des points de mesure cibles est affichée. A la fin du test de tous les points, nous retrouvons la moyenne des valeurs mesurées, l'écart type ainsi que les maximums et minimums de mesure.

A PROPOS DE NOS Systèmes manuels

Nous utilisons la méthode 4 pointes en ligne qui permet de mesurer la Résistance, la résistivité, la résistance de couche ou bien l'épaisseur de votre échantillon.
Cette série d'appareils compacts convient aux laboratoires de caractérisation, université ou R&D.
Nous proposons, soit un stand mécanique avec sa tête 4 pointes permettant le contact sur l'échantillon soit une solution tout intégrée incluant le stand, sa tête de mesure, l'instrumentation ainsi qu'un logiciel de contrôle et d'analyse.

Equipements :

• MW-Pack4PP-M : Echantillon jusqu'à 300mm - Gamme de résistance de surface : 10µΩ/sq à 100MΩ/sq
• MW-Pack4PP-H : Echantillon jusqu'à 300mm - Gamme de résistance de surface : 1mΩ/sq à 300MΩ/sq
• S302 : Echantillon jusqu'à 150mm - Stand de mesure seul
• S303 : Echantillon jusqu'à 300mm - Stand de mesure seul
• Quadpro : Echantillon jusqu'à 200mm - Gamme de résistance de surface : 10µOhm/sq à 10GOhm/sq - Coefficient TCR

Spécifications :

• Adaptables pour des wafers jusqu'à 300mm
• Option température pour mesure de certains matériaux
• Fonction Auto-range : calcul automatique de la gamme de courant optimale
• Mesure DC ou pulsée
• Export des données en format CSV, Excel, Txt...
• Logiciel de traitement des données (Courbe I(V), mapping, binning etc..)
• Plusieurs configurations pour répondre à toutes les applications
• Compatible avec les appareils Keithley (2450, 2601, 2636...)

Gamme de mesure : 10µOhm/sq à 10GOhm/sq