CARACTERISATION DE COUCHESSystèmes de mesures 4 pointes

S302Stand de mesure 4 pointes

Le système se compose d'une potence de maintien de la tête 4PP avec levier de descente et d'un plateau de réception pour wafer 100 ou 150 mm. Le positionnement de l'échantillon est manuel ainsi que la mise en contact de la tête 4 pointes sur l'échantillon.

Applications :

- Si, Ge, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN, ZnO, TCOs
- Composant optoélectronique
- Nanomatériaux
- Capteurs, MEMS
- Polymère conducteur
- Dépôt d'oxyde
- Céramique & Verre
- Batteries
- Electrodes
- Photovoltaïque

Spécifications :

• Un micro-switch permet d'assurer l'injection du courant à partir du moment où toutes les pointes sont en contact
• La mesure est effectuée par un appareil externe de type Keithley qui peut faire partie de la fourniture
• Le système peut être complété par le logiciel de mesure et d'affichage des résultats
• Parfait pour pour laboratoires, universités, centres de recherche... dans le domaine caractérisation de matériaux

S303Stand de mesure 4 pointes grande surface

Le système se compose d'une potence de maintien de la tête 4PP avec levier de descente et d'un plateau de réception pour wafer 200 ou 300 mm. Le positionnement de l'échantillon est manuel ainsi que la mise en contact de la tête 4 pointes sur l'échantillon.

Applications :

- Si, Ge, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN, ZnO, TCOs
- Composant optoélectronique
- Nanomatériaux
- Capteurs, MEMS
- Polymère conducteur
- Dépôt d'oxyde
- Céramique & Verre
- Batteries
- Electrodes
- Photovoltaïque

Spécifications :

• Un micro-switch permet d'assurer l'injection du courant à partir du moment où toutes les pointes sont en contact
• La mesure est effectuée par un appareil externe de type Keithley qui peut faire partie de la fourniture
• Le système peut être complété par le logiciel de mesure et d'affichage des résultats
• Parfait pour pour laboratoires, universités, centres de recherche... dans le domaine caractérisation de matériaux

MW-Pack4PP-MEnsemble de mesure 4 pointes manuel gamme moyenne résistivité

Système de mesure 4 pointes pour laboratoires, pour la recherche et petites productions. Le stand comprend plusieurs fonctionnalités lui permettant d'assurer des mesures de résistivité et de résistance de surface grâce à 4 pointes précises. Il est possible de caractériser les matériaux fabriqués par dopage semi-conducteur, dépot de métal ou sur verre, matériaux caoutchouc...

Un levier manuel permet de faire un mouvement en Z de contact et non contact avec une répétabilité de l'ordre du micron. De plus, une molette de réglage située sur le dessus de l'appareil permet d'affiner avec précision le mouvement en Z.
L'échantillon à tester est monté sur un support mobile qui permet de se placer sous la tête de mesure facilement entre chaque point de mesure.
De plus, l'équipement dispose de plusieurs tailles de chuck allant de 4" à 12".

Applications :

- Si, Ge, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN, ZnO, TCOs
- Composant optoélectronique
- Nanomatériaux
- Capteurs, MEMS
- Polymère conducteur
- Dépôt d'oxyde
- Céramique & Verre
- Batteries
- Electrodes
- Photovoltaïque

Spécifications:

• Mesure V/I, résistance de feuille, résistivité ou épaisseur
• Mapping
• Un micro-switch permet d'assurer l'injection du courant à partir du moment où toutes les pointes sont en contact.
• La mesure est effectuée par un appareil externe Keithley 2450.
• Logiciel permettant le traitement des données
• Création d'une courbe I/V
• Mesure bipolaire
• Export de données sous format Txt, Excel, CSV...

Le système de mesure utilise un logiciel de mesure et d'affichage des résultats qui permet l'exportation des données pour un traitement de données postérieur. Il est possible d'effectuer une cartographie de l'échantillon en fonction des résistivités ou des épaisseurs mesurées.
L'utilisateur saisit la taille et forme de l'échantillon, bord d'exclusion et nombre de point à tester. Une image graphique des points de mesure cibles est affichée. A la fin du test de tous les points, nous retrouvons la moyenne des valeurs mesurées, l'écart type ainsi que les maximums et minimums de mesure.

MW-Pack4PP-HEnsemble de mesure 4 pointes manuel gamme forte résistivité

Système de mesure 4 pointes pour laboratoires, pour la recherche et petites productions. Le stand comprend plusieurs fonctionnalités lui permettant d'assurer des mesures de résistivité et de résistance de surface grâce à 4 pointes précises. Il est possible de caractériser les matériaux fabriqués par dopage semi-conducteur, dépot de métal ou sur verre, matériaux caoutchouc...

Un levier manuel permet de faire un mouvement en Z de contact et non contact avec une répétabilité de l'ordre du micron. De plus, une molette de réglage située sur le dessus de l'appareil permet d'affiner avec précision le mouvement en Z.
L'échantillon à tester est monté sur un support mobile qui permet de se placer sous la tête de mesure facilement entre chaque point de mesure.
De plus, l'équipement dispose de plusieurs tailles de chuck allant de 4" à 12".

Applications :

- Si, Ge, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN, ZnO, TCOs
- Composant optoélectronique
- Nanomatériaux
- Capteurs, MEMS
- Polymère conducteur
- Dépôt d'oxyde
- Céramique & Verre
- Batteries
- Electrodes
- Photovoltaïque

Spécifications:

• Mesure V/I, résistance de feuille, résistivité ou épaisseur
• Création d'une courbe I/V
• Mesure bipolaire
• Export de données sous format Txt, Excel, CSV...
• Un micro-switch permet d'assurer l'injection du courant à partir du moment où toutes les pointes sont en contact.
• La mesure est effectuée par un appareil externe Keithley 2635B.
• Logiciel permettant le traitement des données

Le système de mesure utilise un logiciel de mesure et d'affichage des résultats qui permet l'exportation des données pour un traitement de données postérieur. Il est possible d'effectuer une cartographie de l'échantillon en fonction des résistivités ou des épaisseurs mesurées.
L'utilisateur saisit la taille et forme de l'échantillon, bord d'exclusion et nombre de point à tester. Une image graphique des points de mesure cibles est affichée. A la fin du test de tous les points, nous retrouvons la moyenne des valeurs mesurées, l'écart type ainsi que les maximums et minimums de mesure.

QUADPRO2MSystème de mesure 4 pointes manuel en température

Système manuel de mesure 4 pointes en ligne en température sur échantillon allant de 10mm à 300mm de diamètre. Capable de mesurer des gammes de résistance de surface de 10μΩ/sq à 10GΩ/sq. Plusieurs versions possibles pour optimiser la précision sur la mesure en fonction des gammes testées.

Spécifications:

• Mesure V/I, résistance de feuille, résistivité ou épaisseur
• Rapports Moyenne, Écart-type, Minimum, Maximum et 3Sigma pour l'ensemble de données
• Mesures du coefficient de température de résistance (TCR)
• Cartographie 2D automatisée, cartographie 3D et coupe transversale
• Ultra haute précision et répétabilité
• Cartographie comparative

L'option TCR

L'option Coefficient de température de résistance intègre le contrôle de la température de l'échantillon ainsi que le contrôle automatisé du courant injecté et les calculs de résistance.
Intégré à un système de chuck thermique, le test balaie automatiquement les températures sur une large gamme sans déplacer les pointes de test. Les mesures sont prises à chaque températures cibles et les résultats sont tracés sur un graphique. Le TCR est exprimé en parties par million (PPM).
Les utilisateurs définissent la plage de température, les paliers, et le delay pour chaque point de test avant d'effectuer une mesure. Une variété de chuck thermiques sont disponibles pour définir la plage et la résolution allant de la température ambiante à 300°C, avec une résolution de 1°.
Les données peuvent être imprimées ou exportées vers une feuille de calcul pour une analyse plus approfondie.

333ASystème de mesure 4 pointes semi-automatique 12"

Systèmes semi-automatique de mesure 4 pointes en ligne sur échantillon allant de 10mm à 300mm de diamètre.
Grâce à leurs chuck motorisés, les 333A permettent de cartographier jusqu'à 6000 points de mesure sur des gammes de résistance de surface de 1 mohm/sq à 8E11 Ohm/sq.

Spécification:

• Différentes versions adaptées aux différentes gammes de résistance testées
• Plusieurs types de cartographie : 1pts, 5pts, 9pts, diagonale, carthésien, customisé etc..
• Algorithme de calcul puissant
• Compensation effet de bord, facteur géométrique
• Communication SECS II
• Version possible en Full-Automatique avec chargement de wafers via cassette et pré-aligner

Application:

- Si, Ge, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN, ZnO, TCOs
- Composant optoélectronique
- Nanomatériaux
- Capteurs, MEMS
- Polymère conducteur
- Dépôt d'oxyde
- Céramique & Verre
- Batteries
- Electrodes
- Photovoltaïque

280ISystème de mesure 4 pointes semi-automatique 8"

Systèmes semi-automatique de mesure 4 pointes en ligne sur échantillon allant de 10mm à 200mm de diamètre.
Grâce à leurs chuck motorisés, les 280I permettent de cartographier jusqu'à 6000 points de mesure sur des gammes de résistance de surface de 1 mohm/sq à 8E5 Ohm/sq.

Spécification:

• Gamme étendu jusqu'à 8E11 Ohm/sq.
• Différentes versions adaptées aux différentes gammes de résistance testées
• Plusieurs types de cartographie : 1pts, 5pts, 9pts, diagonale, carthésien, customisé etc..
• Algorithme de calcul puissant
• Compensation effet de bord, facteur géométrique
• Communication SEC II
• Version possible en Full-Automatique avec chargement de wafers via cassette et pré-aligner

Application:

- Si, Ge, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN, ZnO, TCOs
- Composant optoélectronique
- Nanomatériaux
- Capteurs, MEMS
- Polymère conducteur
- Dépôt d'oxyde
- Céramique & Verre
- Batteries
- Electrodes
- Photovoltaïque

QUADPRO2ASystème de mesure 4 pointes semi-automatique en température

Système semi-automatique de mesure 4 pointes en ligne en température sur échantillon allant de 10mm à 300mm de diamètre. Capable de mesurer des gammes de résistance de surface de 10μΩ/sq à 10GΩ/sq. Plusieurs versions possibles pour optimiser la précision sur la mesure en fonction des gammes testées.

Spécifications:

• Mesure V/I, résistance de feuille, résistivité ou épaisseur
• Rapports Moyenne, Écart-type, Minimum, Maximum et 3Sigma pour l'ensemble de données
• Mesures du coefficient de température de résistance (TCR)
• Cartographie 2D automatisée, cartographie 3D et coupe transversale
• Ultra haute précision et répétabilité
• Cartographie comparative

L'option TCR

L'option Coefficient de température de résistance intègre le contrôle de la température de l'échantillon ainsi que le contrôle automatisé du courant injecté et les calculs de résistance.
Intégré à un système de chuck thermique, le test balaie automatiquement les températures sur une large gamme sans déplacer les pointes de test. Les mesures sont prises à chaque températures cibles et les résultats sont tracés sur un graphique. Le TCR est exprimé en parties par million (PPM).
Les utilisateurs définissent la plage de température, les paliers, et le delay pour chaque point de test avant d'effectuer une mesure. Une variété de chuck thermiques sont disponibles pour définir la plage et la résolution allant de la température ambiante à 300°C, avec une résolution de 1°.
Les données peuvent être imprimées ou exportées vers une feuille de calcul pour une analyse plus approfondie.

SRM232Système de mesure 4 pointes portable

Le système de résistivité portable est un dispositif qui offre la possibilité de mesurer la résistivité, résistance, résistance de surface ou bien l'épaisseur sur une grande variété de matériaux de tailles variables. Grâce à son fonctionnement sur pile, ce système présente des applications polyvalentes qui peuvent être mises à profit dans divers domaines.

Applications :

- Si, Ge, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN, ZnO, TCOs
- Dépôt d'oxyde
- Photovoltaïque
- Céramique & Verre
- Composant optoélectronique
- Nanomatériaux
- Capteurs, MEMS
- Polymère conducteur
- Batteries
- Electrodes

Spécifications :

• 4 modèles/gammes de mesure disponibles avec calibrateur adapté
• Tête 4 pointes interchangeable
• Applications : Conductivité/résistivité de couches sur panneaux de grandes dimensions, fuselages, carrosseries... ou en mesure totalement mobile sur site extérieur.

SP4Tête de mesures 4 pointes

Tête 4 pointes pour température ambiante, utilisable sur équipements de la série Pack4PP, Quadpro et ou pour une utilisation séparée. La tête standard est conçue en delrin avec 4 pointes indépendantes en tungstène ou en osmium. Une baïonnette ainsi que deux vis permettent de fixer la pointe à notre stand 4 pointes facilement pour des mesures précises et répétables.

Spécifications :

• Matériau des pointes défini selon application & type de couche
• Choix des paramètres : Espacements de pointes (pitch), finesses de bout, pression des pointes
• Terminaisons : Fils volants, fiches banane, BNC, câbles triaxiaux, connecteur 9 broches...

CP4Tête de mesures 4 pointes cylindrique

Tête 4 pointes pour mesure de résistivité, resistance, resistance de surface ou épaisseur. Utilisable sur équipements de la série 280 ou séparément, espacements de pointes standard est de 1 mm. La pression est réglable directement sur la tête.

Spécifications:

• Pointes avec pression ajustable
• Finesse de bout des pointes (tip radius) adaptée à la plupart des couches électroniques
• Livrée avec connecteur 9 broches pour câblage direct
• Utilisation température ambiante uniquement

HT4Tête de mesures 4 pointes haute température

Tête 4 pointes pour haute température et haute résistivité, utilisable sur équipements de la série Pack4PP, Quadpro et ou pour une utilisation séparée. La tête standard est conçue en macor avec 4 pointes indépendantes en tungstène ou en osmium. Une baïonnette ainsi que deux vis permettent de fixer la pointe à notre stand 4 pointes facilement pour des mesures précises et répétables.

Spécifications :

• Matériau des pointes défini selon type de couche à mesurer
• Choix des paramètres : Espacements de pointes (pitch), finesses de bout, pression des pointes
• Terminaisons : Fils volants, Banana jacks, Triax...

CWWafer de calibration

Wafer permettant de calibrer un système 4 pointes

Spécifications :

• Wafer Silicium
• Diamètre 4" (100 mm)

SRS3Wafer de calibration 3" certifié NIST

Ce wafer permet de calibrer les systèmes de mesures de résistivité 4 pointes. Il possède la certification NIST.

Spécifications :

• Wafer 3" (75mm)
• Certification NIST valable 1 an

SRS8Wafer de calibration 8"

Ce wafer permet de calibrer les systèmes de mesures de résistivité 4 pointes. Il possède la certification NIST.

Spécifications :

• Wafer 8" (200mm)
• Certification NIST valable 1 an

SRS12Wafer de calibration 12"

Ce wafer permet de calibrer les systèmes de mesures de résistivité 4 pointes. Il possède la certification NIST.

Spécifications :

• Wafer 12" (300mm)
• Certification NIST valable 1 an

A PROPOS DE NOS Systèmes de mesures 4 pointes

Ensemble d'équipements permettant de mesurer la résistance de surface de couches minces en utilisant la méthode 4 pointes en ligne (à bien différencier de la méthode Van Der Pauw).
A l'aide d'une tête de mesure disposant de 4 pointes métalliques réparties de manière rectiligne et équidistante, un courant est injecté au niveau des deux contacts extérieures et une tension est mesurée aux bornes des deux pointes intérieures. Par loi d'ohm puis grâce à des algorithmes poussés on détermine ainsi la résistance surfacique de la couche mince mesurée.
Ces systèmes existent en version portable, manuelle ou automatique.
Les logiciels permettent de piloter l'appareil de source/mesure (type Keithley ou Keysight), effectuer des tracés ou cartographies et exporter les données pour des analyses plus poussées. Certaines versions sont également disponibles pour de la mesure en température.

Applications :

- Si, Ge, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN, ZnO, TCOs
- Composants optoélectroniques
- Nanomatériaux
- Capteurs, MEMS
- Polymères conducteurs
- Dépôts d'oxyde
- Céramiques & Verres
- Batteries
- Electrodes
- Photovoltaïque

Spécifications :

• Gamme de résistance de surface : 10 µΩ/sq à 8E11 Ω/sq
• Taille d'échantillon : de la puce jusqu'au wafer 12" (300mm)
• Nombre de points de mesure : jusqu'à 6 000 points