MATERIELS DE CARACTERISATION DE COUCHES MINCESSystèmes de mesures 4 pointes

MATERIELS DE CARACTERISATION DE COUCHES MINCES - Systèmes de mesures 4 pointes

Usage général
Semi-automatiques
Standards de calibration

Ensemble d'équipements permettant de mesurer la résistivité de surface des couches minces en ohm/carré ou ohm.cm, mode manuel ou automatique, cartographie
• Modèles manuels basiques ou plus évolués avec logiciel de mesure, systèmes portables
• Modèles semi-automatiques pour plaquettes jusqu'à 300 mm, avec cartographie (mapping)
• Choix de têtes de mesure 4 pointes en ligne
• Option température

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Usage général

Cette série d'appareils convient aux laboratoires de caractérisation, les modèles proposés sont soit totalement manuels avec un stand porte-tête 4 pointes et une sortie fils libre vers l'instrumentation, soit plus complets incluant le logiciel sur pc et optionnellement l'appareil de mesure
• Trois configurations pour répondre à tous les budgets
• Adaptables pour wafers jusqu'à 200 mm
• Option température pour mesure de certains matériaux

S302

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Stand de mesure 4 pointes

Le système se compose d'une potence de maintien de la tête de tests avec levier de descente et d'un plateau de réception pour wafer de 4, 6, 8 ou 12 pouces. Le positionnement de l'échantillon est manuel ainsi que la mise en contact de la tête 4 pointes sur l'échantillon.

- Un micro-switch permet d'assurer l'injection du courant à partir du moment où toutes les pointes sont en contact
- La mesure est effectuée par un appareil externe de type Keithley qui peut faire partie de la fourniture
- Le système peut être complété par le logiciel de mesure et d'affichage des résultats
- Parfait pour pour laboratoires, universités, centres de recherche... dans le domaine caractérisation de matériaux

MW-Pack4PP-M

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Ensemble de mesure 4 pointes manuel gamme moyenne résistivité

Système de mesure 4 pointes pour laboratoires, pour la recherche et petites productions. Le stand comprend plusieurs fonctionnalités lui permettant d'assurer des mesures de résistivité et de résistance de surface grâce à 4 pointes précises. Il est possible de caractériser les matériaux fabriqués par dopage semi-conducteur, dépot de métal ou sur verre, matériaux caoutchouteux...

Un levier manuel permet de faire un mouvement en Z de contact et non contact avec une répétabilité de l'ordre du micron. De plus, une molette de réglage située sur le coté droit permet d'affiner avec précision le mouvement en Z.
L'échantillon à tester est monté sur un support mobile qui permet de se placer sous la tête de mesure facilement entre chaque point de mesure.

- Un micro-switch permet d'assurer l'injection du courant à partir du moment où toutes les pointes sont en contact.
- La mesure est effectuée par un appareil externe Keithley 2450.

Le système de mesure utilise un logiciel de mesure et d'affichage des résultats qui permet l'exportation des données pour un traitement de données postérieur. Il est possible d'effectuer une cartographie de l'échantillon en fonction des résistivités ou des épaisseurs mesurées.
L'utilisateur saisit la taille et forme de l'échantillon, bord d'exclusion et nombre de point à tester. Une image graphique des points de mesure cibles est affichée. A la fin du test de tous les points, nous retrouvons la moyenne des valeurs mesurées, l'écart type ainsi que les maximums et minimums de mesure.

Semi-automatiques

Les appareils semi-automatiques sont prévus pour tester une plaquette entière jusqu'à 300 mm de diamètre avec plusieurs cartographies possible afin de déterminer la moyenne et l'écart-type des valeurs de résistivité obtenues. Le chargement est manuel, les déplacements X-Y-Z et le contrôle de la mesure sont automatiques
• Plusieurs cartographies possible, rectangulaires, polaires...
• Mode personnalisé permettant de mesurer sur des points précis définis par l'utilisateur
• Gamme de courant automatique
• Logiciel très complet de mesure et de gestion des cartographies et valeurs mesureées
• SPC, graphe 3D...

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