Les appareils semi-automatiques sont prévus pour tester une plaquette entière jusqu'à 300 mm de diamètre avec plusieurs cartographies possible afin de déterminer la moyenne et l'écart-type des valeurs de résistivité obtenues. Le chargement est manuel, les déplacements X-Y-Z et le contrôle de la mesure sont automatiques
• Plusieurs cartographies possible, rectangulaires, polaires...
• Mode personnalisé permettant de mesurer sur des points précis définis par l'utilisateur
• Gamme de courant automatique
• Logiciel très complet de mesure et de gestion des cartographies et valeurs mesureées
• SPC, graphe 3D...
280I
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Système de mesure 4 pointes semi-automatique
Gamme de mesure de 1 mohm à 8E11ohm/carré, mesures 1pt, 5 pts ou cartographie pour ce système semi-automatique, cartographie et analyse jusqu'à 6000 points.
• Gamme de mesure standard et étendue, stockage et récupération des valeurs de mesure, fonctions de recherche de résultats évoluées
• Cartographies de mesure polaires ou rectangulaires, jusqu'à 650 points de mesure, scan de diamètre, sites de tests "custom"
• Compensation d'effet de bord, détection automatique de la polarité...
• Ces appareils permettent de répondre à tous les besoins en terme de qualification de résistance de couche, que ce soit en R&D et manuel ou en mode production
QUADPRO
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Système de mesure 4 pointes semi-automatique évolutif
Ce système est un dérivé du système de mesure PRO4 dans une version semi-automatique (ou manuel) et pour diverses gammes de résistivité, faible et haute résistivité (jusqu'à 10 Gohm/sq).
• Un contrôleur en température et un logiciel optionnel permet une gestion du coefficient TCR
• Adapté aux applications Recherches sur matériaux semi-conducteurs
Permettent de mesurer la résistivité par méthode 4 pointes sur des surfaces larges grâce à une tête 4 pointes mobile
• Plusieurs gammes de résistivité selon couches à mesurer
• Echantillons calibrateurs disponibles
• Pointes montées sur ressorts permettant un contact par pression
