Systèmes de mesures 4 pointes

MATERIELS DE CARACTERISATION DE COUCHES MINCES - Systèmes de mesures 4 pointes

Ensemble d'équipements permettant de mesurer la résistivité de surface des couches minces en ohm/carré ou ohm.cm, mode manuel ou automatique, cartographie
• Modèles manuels basiques ou plus évolués avec logiciel de mesure, systèmes portables
• Modèles semi-automatiques pour plaquettes jusqu'à 300 mm, avec cartographie (mapping)
• Choix de têtes de mesure 4 pointes en ligne
• Option température
S302-x
Stand de mesure 4 pointes
Stand de mesure 4 pointes
Le système de base se compose d'une potence de maintien de la tête de tests avec levier de descente et d'un plateau de réception pour wafer de 4, 6 ou 8 pouces. Le positionnement de l'échantillon est manuel ainsi que la mise en contact de la tête 4 pointes sur l'échantillon.

• Un micro-switch permet d'assurer l'injection du courant à partir du moment où toutes les pointes sont en contact
• La mesure est effectuée par un appareil externe de type Keithley qui peut faire partie de la fourniture ou pas
• Le système peut être complété par le logiciel de mesure et d'affichage des résultats.
• Parfait pour pour laboratoires, universités, centres de recherche...dans le domaine caractérisation de matériaux.

Pack 4PP
Système de mesure 4 pointes manuel évolutif
Système de mesure 4 pointes manuel évolutif
Système de mesure 4 pointes pour laboratoires, pour la recherche et petites productions. Le stand comprend plusieurs fonctionnalités lui permettant d'assurer des mesures de résistivité 4 pointes précises. Un levier manuel permet de faire un mouvement en Z de contact et non contact avec une répétabilité de l'ordre du micron. De plus, une molette de réglage située sur le coté droit permet d'affiner avec précision le mouvement en Z.
L'échantillon à tester est monté sur un support mobile qui permet de se placer sous la tête de mesure facilement entre chaque point de mesure.


• Un micro-switch permet d'assurer l'injection du courant à partir du moment où toutes les pointes sont en contact
• La mesure est effectuée par un appareil externe de type Keithley

Le système de mesure utilise un logiciel de mesure et d'affichage des résultats qui permet l'exportation des données pour un traitement de données postérieur. Il est possible d'effectuer une cartographie de l'échantillon en fonction des résistivités ou des épaisseurs mesurées.
L'utilisateur saisit la taille et forme de l'échantillon, bord d'exclusion et nombre de point à tester. Une image graphique des points de mesure cibles est affichée. A la fin du test de tous les points, nous retrouvons la moyenne des valeurs mesurées, l'écart type ainsi que les maximums et minimums de mesure.

280I
Système de mesure 4 pointes semi-automatique
Système de mesure 4 pointes semi-automatique
Gamme de mesure de 1 mohm à 8E11ohm/carré, mesures 1pt, 5 pts ou cartographie pour ce système semi-automatique, cartographie et analyse jusqu'à 6000 points.

• Gamme de mesure standard et étendue, stockage et récupération des valeurs de mesure, fonctions de recherche de résultats évoluées
• Cartographies de mesure polaires ou rectangulaires, jusqu'à 650 points de mesure, scan de diamètre, sites de tests "custom"
• Compensation d'effet de bord, détection automatique de la polarité...
• Ces appareils permettent de répondre à tous les besoins en terme de qualification de résistance de couche, que ce soit en R&D et manuel ou en mode production
QUADPRO
Système de mesure 4 pointes semi-automatique évolutif
Système de mesure 4 pointes semi-automatique évolutif
Ce système est un dérivé du système de mesure PRO4 dans une version semi-automatique (ou manuel) et pour diverses gammes de résistivité, faible et haute résistivité (jusqu'à 10 Gohm/sq).

• Un contrôleur en température et un logiciel optionnel permet une gestion du coefficient TCR
• Adapté aux applications Recherches sur matériaux semi-conducteurs


SRS3
Wafer de calibration
Wafer de calibration
Ce wafer permet de calibrer les systèmes de mesures de résistivité 4 pointes

• Certification NIST valable 1 an
Cette série d'appareils convient aux laboratoires de caractérisation, les modèles proposés sont soit totalement manuels avec un stand porte-tête 4 pointes et une sortie fils libre vers l'instrumentation, soit plus complets incluant le logiciel sur pc et optionnellement l'appareil de mesure
• Trois configurations pour répondre à tous les budgets
• Adaptables pour wafers jusqu'à 200 mm
• Option température pour mesure de certains matériaux
S302-x
Stand de mesure 4 pointes
Stand de mesure 4 pointes
Le système de base se compose d'une potence de maintien de la tête de tests avec levier de descente et d'un plateau de réception pour wafer de 4, 6 ou 8 pouces. Le positionnement de l'échantillon est manuel ainsi que la mise en contact de la tête 4 pointes sur l'échantillon.

• Un micro-switch permet d'assurer l'injection du courant à partir du moment où toutes les pointes sont en contact
• La mesure est effectuée par un appareil externe de type Keithley qui peut faire partie de la fourniture ou pas
• Le système peut être complété par le logiciel de mesure et d'affichage des résultats.
• Parfait pour pour laboratoires, universités, centres de recherche...dans le domaine caractérisation de matériaux.

Pack 4PP
Système de mesure 4 pointes manuel évolutif
Système de mesure 4 pointes manuel évolutif
Système de mesure 4 pointes pour laboratoires, pour la recherche et petites productions. Le stand comprend plusieurs fonctionnalités lui permettant d'assurer des mesures de résistivité 4 pointes précises. Un levier manuel permet de faire un mouvement en Z de contact et non contact avec une répétabilité de l'ordre du micron. De plus, une molette de réglage située sur le coté droit permet d'affiner avec précision le mouvement en Z.
L'échantillon à tester est monté sur un support mobile qui permet de se placer sous la tête de mesure facilement entre chaque point de mesure.


• Un micro-switch permet d'assurer l'injection du courant à partir du moment où toutes les pointes sont en contact
• La mesure est effectuée par un appareil externe de type Keithley

Le système de mesure utilise un logiciel de mesure et d'affichage des résultats qui permet l'exportation des données pour un traitement de données postérieur. Il est possible d'effectuer une cartographie de l'échantillon en fonction des résistivités ou des épaisseurs mesurées.
L'utilisateur saisit la taille et forme de l'échantillon, bord d'exclusion et nombre de point à tester. Une image graphique des points de mesure cibles est affichée. A la fin du test de tous les points, nous retrouvons la moyenne des valeurs mesurées, l'écart type ainsi que les maximums et minimums de mesure.

Les appareils semi-automatiques sont prévus pour tester une plaquette entière jusqu'à 300 mm de diamètre avec plusieurs cartographies possible afin de déterminer la moyenne et l'écart-type des valeurs de résistivité obtenues. Le chargement est manuel, les déplacements X-Y-Z et le contrôle de la mesure sont automatiques
• Plusieurs cartographies possible, rectangulaires, polaires...
• Mode personnalisé permettant de mesurer sur des points précis définis par l'utilisateur
• Gamme de courant automatique
• Logiciel très complet de mesure et de gestion des cartographies et valeurs mesureées
• SPC, graphe 3D...
280I
Système de mesure 4 pointes semi-automatique
Système de mesure 4 pointes semi-automatique
Gamme de mesure de 1 mohm à 8E11ohm/carré, mesures 1pt, 5 pts ou cartographie pour ce système semi-automatique, cartographie et analyse jusqu'à 6000 points.

• Gamme de mesure standard et étendue, stockage et récupération des valeurs de mesure, fonctions de recherche de résultats évoluées
• Cartographies de mesure polaires ou rectangulaires, jusqu'à 650 points de mesure, scan de diamètre, sites de tests "custom"
• Compensation d'effet de bord, détection automatique de la polarité...
• Ces appareils permettent de répondre à tous les besoins en terme de qualification de résistance de couche, que ce soit en R&D et manuel ou en mode production
QUADPRO
Système de mesure 4 pointes semi-automatique évolutif
Système de mesure 4 pointes semi-automatique évolutif
Ce système est un dérivé du système de mesure PRO4 dans une version semi-automatique (ou manuel) et pour diverses gammes de résistivité, faible et haute résistivité (jusqu'à 10 Gohm/sq).

• Un contrôleur en température et un logiciel optionnel permet une gestion du coefficient TCR
• Adapté aux applications Recherches sur matériaux semi-conducteurs


Permettent de mesurer la résistivité par méthode 4 pointes sur des surfaces larges grâce à une tête 4 pointes mobile
• Plusieurs gammes de résistivité selon couches à mesurer
• Echantillons calibrateurs disponibles
• Pointes montées sur ressorts permettant un contact par pression
Standards de calibration pour vérification et ajustage des appareils de mesure 4 pointes, disponibles en wafer avec plusieurs valeurs de résistivité
SRS3
Wafer de calibration
Wafer de calibration
Ce wafer permet de calibrer les systèmes de mesures de résistivité 4 pointes

• Certification NIST valable 1 an
Pour toute information, devis, commande ou demande de rendez-vous avec un spécialiste technico-commercial. +33 (0)476 561 617

5 rue de la Verrerie

38120 Le Fontanil-Cornillon

Grenoble / France

Fax : +33(0) 476 757 484

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