Ensemble d'équipements permettant de mesurer la résistivité de surface des couches minces en utilisant la méthode 4 pointes en ligne.
- Systèmes portables, manuels et semi-automatiques
- Puces seules au wafer 300mm (12")
- Température jusqu'à 600°C
- Logiciel de cartographie, mesure et analyse
- Têtes 4 pointes avec choix de pitch, radius et pression