MW-Pack4PP-M      Ensemble de mesure 4 pointes manuel gamme moyenne résistivité

MW-Pack4PP-M : Ensemble de mesure 4 pointes manuel gamme moyenne résistivité
MW-Pack4PP-M : Ensemble de mesure 4 pointes manuel gamme moyenne résistivité
MW-Pack4PP-M : Ensemble de mesure 4 pointes manuel gamme moyenne résistivité
MW-Pack4PP-M : Ensemble de mesure 4 pointes manuel gamme moyenne résistivité

Référence

MW-Pack4PP-M

Désignation

Ensemble de mesure 4 pointes manuel gamme moyenne résistivité

Description

Système de mesure 4 pointes pour laboratoires, pour la recherche et petites productions. Le stand comprend plusieurs fonctionnalités lui permettant d'assurer des mesures de résistivité et de résistance de surface grâce à 4 pointes précises. Il est possible de caractériser les matériaux fabriqués par dopage semi-conducteur, dépot de métal ou sur verre, matériaux caoutchouc...

Un levier manuel permet de faire un mouvement en Z de contact et non contact avec une répétabilité de l'ordre du micron. De plus, une molette de réglage située sur le dessus de l'appareil permet d'affiner avec précision le mouvement en Z.
L'échantillon à tester est monté sur un support mobile qui permet de se placer sous la tête de mesure facilement entre chaque point de mesure.
De plus, l'équipement dispose de plusieurs tailles de chuck allant de 4" à 12".

Applications :

- Si, Ge, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN, ZnO, TCOs
- Composant optoélectronique
- Nanomatériaux
- Capteurs, MEMS
- Polymère conducteur
- Dépôt d'oxyde
- Céramique & Verre
- Batteries
- Electrodes
- Photovoltaïque

Spécifications:


• Mesure V/I, résistance de feuille, résistivité ou épaisseur
• Mapping
• Un micro-switch permet d'assurer l'injection du courant à partir du moment où toutes les pointes sont en contact.
• La mesure est effectuée par un appareil externe Keithley 2450.
• Logiciel permettant le traitement des données
• Création d'une courbe I/V
• Mesure bipolaire
• Export de données sous format Txt, Excel, CSV...

Le système de mesure utilise un logiciel de mesure et d'affichage des résultats qui permet l'exportation des données pour un traitement de données postérieur. Il est possible d'effectuer une cartographie de l'échantillon en fonction des résistivités ou des épaisseurs mesurées.
L'utilisateur saisit la taille et forme de l'échantillon, bord d'exclusion et nombre de point à tester. Une image graphique des points de mesure cibles est affichée. A la fin du test de tous les points, nous retrouvons la moyenne des valeurs mesurées, l'écart type ainsi que les maximums et minimums de mesure.

Références courantes

  • MW-Pack4PP-M-4 : Pour wafer 100mm
  • MW-Pack4PP-M-6 : Pour wafer 150mm
  • MW-Pack4PP-M-8 : Pour wafer 200mm

Spécifications techniques

Taille du wafer

100, 150 ou 200 mm

Gamme de résistance surfacique

10 µohms/sq à 100 Mohms/sq

Matériau du chuck

Delrin

Type de mouvement

Manuel

Système d'entrainement X/Y

Libre

Maintien de l'échantillon

Non

Contact/non-contact

4 mm

Course en Z

40 mm

Compatibilité

Tête SP4

Connexion de la tête

Sub-D9

Connexion

4 bananes

Logiciel

Oui

SMU

Keithley 2450

Ordinateur

Non inclus (optionel)

Produits associés

Tête de mesures 4 pointes

SP4Tête de mesures 4 pointes

Tête 4 pointes pour température ambiante, utilisable sur équipements de la série Pack4PP, Quadpro et ou pour une utilisation séparée. La tête standard est conçue en delrin avec 4 pointes indépendantes en tungstène ou en osmium. Une baïonnette ainsi que deux vis permettent de fixer la pointe à notre stand 4 pointes facilement pour des mesures précises et répétables.

Spécifications :

• Matériau des pointes défini selon application & type de couche
• Choix des paramètres : Espacements de pointes (pitch), finesses de bout, pression des pointes
• Terminaisons : Fils volants, fiches banane, BNC, câbles triaxiaux, connecteur 9 broches...
Stand de mesure 4 pointes

S302Stand de mesure 4 pointes

Le système se compose d'une potence de maintien de la tête 4PP avec levier de descente et d'un plateau de réception pour wafer 100 ou 150 mm. Le positionnement de l'échantillon est manuel ainsi que la mise en contact de la tête 4 pointes sur l'échantillon.

Applications :

- Si, Ge, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN, ZnO, TCOs
- Composant optoélectronique
- Nanomatériaux
- Capteurs, MEMS
- Polymère conducteur
- Dépôt d'oxyde
- Céramique & Verre
- Batteries
- Electrodes
- Photovoltaïque

Spécifications :

• Un micro-switch permet d'assurer l'injection du courant à partir du moment où toutes les pointes sont en contact
• La mesure est effectuée par un appareil externe de type Keithley qui peut faire partie de la fourniture
• Le système peut être complété par le logiciel de mesure et d'affichage des résultats
• Parfait pour pour laboratoires, universités, centres de recherche... dans le domaine caractérisation de matériaux
Stand de mesure 4 pointes grande surface

S303Stand de mesure 4 pointes grande surface

Le système se compose d'une potence de maintien de la tête 4PP avec levier de descente et d'un plateau de réception pour wafer 200 ou 300 mm. Le positionnement de l'échantillon est manuel ainsi que la mise en contact de la tête 4 pointes sur l'échantillon.

Applications :

- Si, Ge, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN, ZnO, TCOs
- Composant optoélectronique
- Nanomatériaux
- Capteurs, MEMS
- Polymère conducteur
- Dépôt d'oxyde
- Céramique & Verre
- Batteries
- Electrodes
- Photovoltaïque

Spécifications :

• Un micro-switch permet d'assurer l'injection du courant à partir du moment où toutes les pointes sont en contact
• La mesure est effectuée par un appareil externe de type Keithley qui peut faire partie de la fourniture
• Le système peut être complété par le logiciel de mesure et d'affichage des résultats
• Parfait pour pour laboratoires, universités, centres de recherche... dans le domaine caractérisation de matériaux
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