La série Checkmate représente les stations de tests sous pointes les plus abouties, disponible jusqu'au wafer 300 mm.
- Toutes les stations sont "upgradables" d'une version à l'autre
- Version manuelle ou semi-automatique
- Test avec carte à pointes compatible
- Caractérisation en température optionelle (-60°C à +300°C)
- Mesures haute tension (HV) et faible courant (fA) possible
- Peut accueillir jusqu'à 8 micropositionneurs DC ou une carte à pointes
RÉFÉRENCES COURANTES
CM210 : Version 200 mm
CM310 : Version 300 mm