MW-DBBoite noire personnalisée
- Isolation électrique et lumineuse
- Sécurité utilisateur pour utilisation en haute tension
- Panneaux de connecteurs traversants
- Passage de câble col de cygne
- Taille et design sur demande
Référence
CM210
Désignation
Station de test sous pointes manuelle haute précision 8"
La série Checkmate représente les stations de tests sous pointes les plus abouties, disponible jusqu'au wafer 300 mm.
- Toutes les stations sont "upgradables" d'une version à l'autre
- Version manuelle ou semi-automatique
- Test avec carte à pointes compatible
- Caractérisation en température optionelle (-60°C à +300°C)
- Mesures haute tension (HV) et faible courant (fA) possible
- Peut accueillir jusqu'à 8 micropositionneurs DC ou une carte à pointes
RÉFÉRENCES COURANTES
CM210 : Version 200 mm
CM310 : Version 300 mm
Taille de l'échantillon
200 mm
Maintien de l'échantillon
Anneaux de vide, réglage par zones
Déplacement X-Y du chuck
200 mm
Matériau du chuck
Nickel
Résolution
14 µm par degré de rotation
Précision
1 µm
Déplacement Z du chuck
250µm - Pneumatique
Réglage de planéité du chuck
Oui
Planéité
< 10 µm
Réglage théta
+/- 11 °
Résolution théta
0,01 par degré de rotation
Bloquage en rotation
Oui
Ajustement Z du plateau
38mm avec blocage
Manette contact/non contact du plateau
4 mm avec une répétabilité de +/- 1 µm
Matériau du plateau
Aluminium (bases à vide seulement)
Déplacement X-Y du pont optique
X-Y 50x50mm - Résolution 2µm
Dégagement du microscope
100mm vertical - Pneumatique