TEST SOUS POINTESStations de tests sous pointesStations manuelles

CM210 Station de test sous pointes manuelle haute précision 8"

Référence

CM210

Désignation

Station de test sous pointes manuelle haute précision 8"

APPLICATIONS

Mesures IV/CV & Analyse de défaillance

Carte à pointes & Mapping

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Description

La série Checkmate représente les stations de tests sous pointes les plus abouties, disponible jusqu'au wafer 300 mm.

- Toutes les stations sont "upgradables" d'une version à l'autre
- Version manuelle ou semi-automatique
- Test avec carte à pointes compatible
- Caractérisation en température optionelle (-60°C à +300°C)
- Mesures haute tension (HV) et faible courant (fA) possible
- Peut accueillir jusqu'à 8 micropositionneurs DC ou une carte à pointes

RÉFÉRENCES COURANTES

CM210 : Version 200 mm
CM310 : Version 300 mm

DOCUMENTS

CM210 brochure (pdf)

Spécifications techniques

Taille de l'échantillon

200 mm

Maintien de l'échantillon

Anneaux de vide, réglage par zones

Déplacement X-Y du chuck

200 mm

Matériau du chuck

Nickel

Résolution

14 µm par degré de rotation

Précision

1 µm

Déplacement Z du chuck

250µm - Pneumatique

Réglage de planéité du chuck

Oui

Planéité

< 10 µm

Réglage théta

+/- 11 °

Résolution théta

0,01 par degré de rotation

Bloquage en rotation

Oui

Ajustement Z du plateau

38mm avec blocage

Manette contact/non contact du plateau

4 mm avec une répétabilité de +/- 1 µm

Matériau du plateau

Aluminium (bases à vide seulement)

Déplacement X-Y du pont optique

X-Y 50x50mm - Résolution 2µm

Dégagement du microscope

100mm vertical - Pneumatique

Produits associés

MW-DBBoite noire personnalisée

Pour les systèmes de test sous pointes non équipés de chambre locale, Microworld offre des boites noires permettant d'isoler les stations de tests sous pointes ou tout autre système.

- Isolation électrique et lumineuse
- Sécurité utilisateur pour utilisation en haute tension
- Panneaux de connecteurs traversants
- Passage de câble col de cygne
- Taille et design sur demande

SP150Micropositionneur submicronique ultra-stable SP150

Micropositionneur de haute précision et ultra-stable avec molettes de mouvements en ligne, permet de poser des pointes sur des plots ou sur des lignes avec une précision submicronique.

- Descente de la pointe totalement verticale.
- Choix de tête Pivotante P ou Standard (descente avec molette Z).
- Le SP150 représente le micropositionneur le plus abouti actuellement disponible pour des positionnements de très grande précision.
- Les molettes de réglage en ligne avec vis micrométriques (100TPI) permettent une densité optimale sur le plateau.

AZOOMµMicroscope mono-objectif

Ce microscope permet le grossissement d'un microscope à tourelle sans l’encombrement des objectifs non utilisés.
Sa tête trinoculaire permet d'utiliser une caméra, et/ou un laser.

- L'illumination est réalisée par un éclairage traversant à LED
- Montage C pour caméra
- Grande distance de travail

TRXPorte-pointe Triaxial

Porte-pointe à très faible niveau de bruit (± 2 fA lorsque utilisé avec un chuck triaxial et en environnement clos).

Se monte sur les micropositionneurs S725P, S926P, SP100P, SP150P.

TRXCHUCKChuck triaxial

Le chuck triaxial permet des mesures jusqu'au fA avec l'utilisation de micropositionneurs à bras triaxial et d'une boite noire isolant de la lumière et des perturbations magnétiques.

- Il est composé de trois parties dont une partie médiane polarisable
- Disponible en version 150-200-300mm
- Le chuck triaxial existe également en version haute température associé à un chuck chauffant ou tri-temp
- Compatible avec la plupart de nos stations en remplacement du chuck standard pour des mesures de caractérisation très faible courant.

SP100Micropositionneur haute précision SP100

Ce micropositionneur de haute précision avec ses molettes en ligne permet de poser des pointes de tests sur des plots ou sur des lignes avec une précision de l'ordre du micromètre.

- Descente de la pointe totalement verticale.
- Option tête pivotante (plongée rapide pour pré-positionnement Z puis mouvement fin) ou Standard avec molette Z.
- Les molettes de réglage en ligne avec vis micrométriques (100TPI) permettent une densité optimale sur le plateau.

MS12ZMicroscope mono-objectif

Ce microscope est composé d'un mono-objectif avec un zoom interne inclus.
Il permet un grande plage de grossissement sans l'inconvénient de la tourelle pour des applications de tests sous pointes.

- Compact et léger
- Grande distance de travail (idéal pour applications hautes fréquences)
- Montage C pour caméra
- Grande luminosité (éclairage par fibre optique LED)

S1080Contrôleur de température

Ce chuck thermique tri temp permet une caractérisation en température complète des dispositifs dans une plage de température comprise entre -60°C et +300°C.

- Contrôle de la température sur écran tactile ou en remote
- Rapidité de changement d'état (chaud / froid)
- Possibilité de chauffage par rampe (paliers de températures)

HVPPorte-pointe haute tension

Cette série de porte-pointes permet des mesures hautes tensions, jusqu'à 20KV.

Fixation de la pointe par mandrin ou par vis.
Idéal pour des mesures IV sur transistors HT ou diodes HT.