A PROPOS DE NOS Systèmes de mesures 4 pointes
Ensemble d'équipements permettant de mesurer la résistance de surface de couches minces en utilisant la méthode 4 pointes en ligne (à bien différencier de la méthode Van Der Pauw).
A l'aide d'une tête de mesure disposant de 4 pointes métalliques réparties de manière rectiligne et équidistante, un courant est injecté au niveau des deux contacts extérieures et une tension est mesurée aux bornes des deux pointes intérieures. Par loi d'ohm puis grâce à des algorithmes poussés on détermine ainsi la résistance surfacique de la couche mince mesurée.
Ces systèmes existent en version portable, manuelle ou automatique.
Les logiciels permettent de piloter l'appareil de source/mesure (type Keithley ou Keysight), effectuer des tracés ou cartographies et exporter les données pour des analyses plus poussées. Certaines versions sont également disponibles pour de la mesure en température.
Applications :
- Si, Ge, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN, ZnO, TCOs
- Composants optoélectroniques
- Nanomatériaux
- Capteurs, MEMS
- Polymères conducteurs
- Dépôts d'oxyde
- Céramiques & Verres
- Batteries
- Electrodes
- Photovoltaïque
Spécifications :
• Gamme de résistance de surface : 10 µΩ/sq à 8E11 Ω/sq
• Taille d'échantillon : de la puce jusqu'au wafer 12" (300mm)
• Nombre de points de mesure : jusqu'à 6 000 points
