A PROPOS DE NOS Systèmes semi-automatiques
Grâce à leurs supports motorisés, les systèmes semi-automatiques sont parfaitement adaptés pour mesurer l'ensemble de la surface d'échantillons de taille variable. Le chargement se fait manuellement puis l'ensemble des paramètres de mesure et d'analyse se configure à l'aide d'un logiciel intégré. Le mapping est ensuite réalisé de manière automatique et les résultats affichés sous forme de tableur ou cartographie 2D/3D facilitant ainsi l'interprétation des résultats. Mesure possible en température jusqu'à 300°C avec le Quadpro2A
Equipements :
• 280SI : Echantillon jusqu'à 200mm - Gamme de résistance de surface : 1mΩ/sq à 8E5 Ω/sq
• 280DI : Echantillon jusqu'à 200mm - Gamme de résistance de surface : 1mΩ/sq à 8E11 Ω/sq
• 333A : Echantillon jusqu'à 300mm - Gamme de résistance de surface : 1mΩ/sq jusqu'à 8E11 Ω/sq
• Quadpro2A : Echantillon jusqu'à 300mm - Gamme de résistance de surface : 10μΩ/sq jusqu'à 10 GΩ/sq (jusqu'à 300°C)
Spécifications :
• Jusqu'à 6 000 points de mesure par échantillon
• Cartographies 2D/3D, mesures diagonales, 1 point, 9 points etc..
• Différentes taille/géométrie d'échantillon compatibles
• Calcul automatique de la gamme de courant optimale (auto-range)
• Tests de répétabilité, détermination du type de dopage de la couche
• Algorithme correcteurs (exclusion de bords, correcteur géométrique)
• Différents niveaux d'utilisateur avec accès sécurisé (par mot de passe)
• Export des données sous CSV, Excel, SEC II etc..
Gamme de mesure : 10μΩ/sq jusqu'à 8E11Ω/sq
