Systèmes de mesures par contact Mercure

CARACTERISATION DE COUCHES - Systèmes de mesures par contact Mercure

Les appareils de la série CVMap permettent de mesurer, caractériser et monitorer un grand nombre de paramètres pour les matériaux semi-conducteurs sur la qualité des procédés eux-mêmes.

Ces systèmes utilisent du Mercure qui permet de s'affranchir des dommages causés par des pointes et de mesurer ainsi sur des couches sensibles.

- Acceptent des wafers de toutes tailles jusqu'à 300mm (12")
- Chargement manuel ou automatique
- Mesures des composants SOI
- Mesures de claquage
- Mesures d'oxydation
CVmap3093
Appareil semi-automatique C-V par contact mercure
Appareil semi-automatique C-V par contact mercure
Appareil C(V) manuel à contact mercure pour caractérisation de wafers et substrats jusqu'à 300mm

- Chargement manuel de l'échantillon, Mesure automatique
- Permet de Mesurer & Caractériser & Monitorer un grand nombre de paramètres sur les matériaux semi-conducteurs et la qualité des procédés eux-mêmes
- Mesure d'oxyde, paramètre K, permittivité
- Existe en version cassette/cassette
Pour toute information, devis, commande ou demande de rendez-vous avec un spécialiste technico-commercial. +33 (0)476 561 617

5 rue de la Verrerie

38120 Le Fontanil-Cornillon

Grenoble / France

Fax : +33(0) 476 757 484

RCS Grenoble B 381 001 171 - APE 4652Z

TVA FR 48 381 001 171