CARACTERISATION DE COUCHESSystèmes de mesures 4 pointesSystèmes semi-automatiques

333A Système de mesure 4 pointes semi-automatique 12"

Référence

333A

Désignation

Système de mesure 4 pointes semi-automatique 12"

APPLICATIONS

Automatique avec cartographie

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Description

Systèmes semi-automatique de mesure 4 pointes en ligne sur échantillon allant de 10mm à 300mm de diamètre.
Grâce à leurs chuck motorisés, les 333A permettent de cartographier jusqu'à 6000 points de mesure sur des gammes de résistance de surface de 1 mohm/sq à 8E11 Ohm/sq.

Spécification:

• Différentes versions adaptées aux différentes gammes de résistance testées
• Plusieurs types de cartographie : 1pts, 5pts, 9pts, diagonale, carthésien, customisé etc..
• Algorithme de calcul puissant
• Compensation effet de bord, facteur géométrique
• Communication SECS II
• Version possible en Full-Automatique avec chargement de wafers via cassette et pré-aligner

Application:

- Si, Ge, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN, ZnO, TCOs
- Composant optoélectronique
- Nanomatériaux
- Capteurs, MEMS
- Polymère conducteur
- Dépôt d'oxyde
- Céramique & Verre
- Batteries
- Electrodes
- Photovoltaïque

DOCUMENTS

333A brochure (pdf)

Spécifications techniques

Taille du wafer

Jusqu'à 300 mm

Gamme de résistance surfacique

1 mΩ/sq à 800KΩ/sq (ou 8E11Ω/sq)

Maintien de l'échantillon

Vide

Type de mouvement

Semi-automatique (Y, Z et Théta)

Compatibilité

Tête CP4

SMU

Interne

Répétabilité de mesure

< 0,2 %

Précision de mesure

< 0,1 %

Logiciel

Oui (Windows)

Licence

Multi-postes

Mode industriel

Oui

Recettes

Création, édition et lancement

Mesures simples

1, 5, 9 sites, 5, 6, 9, 10, 13 sites ASTM/SEMI X-Patterns ou personnalisés

Cartographies cartésiennes

Jusqu'à 5 000 sites

Cartographies polaires

9, 25, 45, 49, 65, 81, 121, 169, 225, 289, 361, 441, 529, 625

Calcul des paramètres

Res (Ω.cm), R (Ω/sq), V/I, T (cm), T(A)

Cartographie

2D, 3D et table

Export des données

Excel, CSV et ASCII (SECS II optionel)

Ordinateur

Inclus (Windows11)

Communication

RS232

Pompe à vide

Non incluse

Connecteur de vide

1/4" OD

Besoins électriques

230VAC - 50Hz - Mono - 1A

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CP4Tête de mesures 4 pointes cylindrique

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Spécifications:

• Pointes avec pression ajustable
• Finesse de bout des pointes (tip radius) adaptée à la plupart des couches électroniques
• Livrée avec connecteur 9 broches pour câblage direct
• Utilisation température ambiante uniquement