UH104      Insolateur UV manuel

PROCEDES BACK-ENDMachines d'insolation UV

UH104      Insolateur UV manuel

Description Spécifications techniques Documents Produits associés

Référence

UH104

Désignation

Insolateur UV manuel

APPLICATIONS

Insolation de film UV après découpe
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Description

Modèle de table à faible encombrement, le modèle UH104 offre une souplesse inégalée dans l'insolation des films UV utilisés dans la découpe des wafers ou le backgrinding.

- Chargement manuel, séquencement jusqu'à la fin de l'insolation UV automatique
- Lampe UV "Ozone-free" remplaçable 365nm
- Idéal pour R&D et petits volumes de production
- Disponible en version 8" (et plus petit) et 12"
- Insolation du frame ou anneau

Références courantes

  • UH104-8 : Modèle 8" (200 mm)
  • UH104-12 : Modèle 12" (300 mm)

Spécifications techniques

Diamètre wafer & Substrats

50 à 300 mm

Longueur d'onde de la lampe

365 nm

Réglage du temps d'insolation

Oui

Génération d'ozone

Non

Support d'insolation

Frame ou Anneau (Ring)

Alimentation

230VAC / 50Hz / Mono / 3A

Produits associés

FFCadre métallique de maintien durant découpe (wafer frame)

Cadre métallique (Wafer frame) pour wafer jusqu'à 300mm (12"), permettant de maintenir le wafer durant la découpe.

- Matériau acier inox électro-poli (alu optionnel)
- Plusieurs tailles et modèles selon équipements de découpe utilisés
- Frame plastique disponible également

APAnneau plastique de maintien de film

Destiné à maintenir le film adhésif pendant les opérations de découpe ou typiquement après une expansion du film. Cet anneau plastique (deux enclipsables) est fabriqué en polycarbonate (Lexan), une matière robuste et légère.

- Ils peuvent maintenir un film fortement expansé à l'aide notamment de l'équipement UH130 afin de séparer nettement les puces pour le prélèvement
- Disponibles pour plaquette de 100 à 300 mm.

F20Film adhésif sensible aux UV

Microworld propose une série de films adhésifs sensibles aux UV pour des applications de découpes de wafer.

- La base PVC permet une expansion importante et homogène après découpe afin de séparer les puces avant prélèvement
- L'adhésif UV offre une adhésion forte pendant la découpe et faible après insolation pour le prélèvement
- Pellicule de protection
- Conditionnement : rouleau emballage hermétique

F42Film antistatique adhésif sensible aux UV

Microworld propose une série de films adhésifs antistatiques sensibles aux UV pour des applications de découpes de wafer.

- Film à base Polyoléfine avec adhésif sensible aux UV conditionné en rouleau avec pellicule de protection.
- Le film comporte une couche antistatique qui élimine les charges développées pendant le déroulement
- L'adhésif UV offre une adhésion forte pendant la découpe et faible après insolation pour le prélèvement
- Conditionnement : rouleau emballage hermétique protégé de la lumière
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