QUADPRO2M      Système de mesure 4 pointes manuel en température

QUADPRO2M : Système de mesure 4 pointes manuel en température QUADPRO2M : Système de mesure 4 pointes manuel en température

Référence

QUADPRO2M

Désignation

Système de mesure 4 pointes manuel en température

Description

Système manuel de mesure 4 pointes en ligne en température sur échantillon allant de 10mm à 300mm de diamètre. Capable de mesurer des gammes de résistance de surface de 10μΩ/sq à 10GΩ/sq. Plusieurs versions possibles pour optimiser la précision sur la mesure en fonction des gammes testées.

Spécifications:

• Mesure V/I, résistance de feuille, résistivité ou épaisseur
• Rapports Moyenne, Écart-type, Minimum, Maximum et 3Sigma pour l'ensemble de données
• Mesures du coefficient de température de résistance (TCR)
• Cartographie 2D automatisée, cartographie 3D et coupe transversale
• Ultra haute précision et répétabilité
• Cartographie comparative

L'option TCR

L'option Coefficient de température de résistance intègre le contrôle de la température de l'échantillon ainsi que le contrôle automatisé du courant injecté et les calculs de résistance.
Intégré à un système de chuck thermique, le test balaie automatiquement les températures sur une large gamme sans déplacer les pointes de test. Les mesures sont prises à chaque températures cibles et les résultats sont tracés sur un graphique. Le TCR est exprimé en parties par million (PPM).
Les utilisateurs définissent la plage de température, les paliers, et le delay pour chaque point de test avant d'effectuer une mesure. Une variété de chuck thermiques sont disponibles pour définir la plage et la résolution allant de la température ambiante à 300°C, avec une résolution de 1°.
Les données peuvent être imprimées ou exportées vers une feuille de calcul pour une analyse plus approfondie.

Spécifications techniques

Taille du wafer

Jusqu'à 300 mm

Gamme de résistance surfacique

10 µohm/sq à 10Gohm/sq

Type de mouvement

Manuel

Système d'entrainement X/Y

Crémaillère

Connexion de la tête

Sub-D9

Connexion du stand

4 bananes

Logiciel

Gestion de la mesure, calcul, analyse, mapping, contrôle de température

Licence

Multi-postes

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Spécifications :

• Matériau des pointes défini selon application & type de couche
• Choix des paramètres : Espacements de pointes (pitch), finesses de bout, pression des pointes
• Terminaisons : Fils volants, fiches banane, BNC, câbles triaxiaux, connecteur 9 broches...
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Applications :

- Si, Ge, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN, ZnO, TCOs
- Composant optoélectronique
- Nanomatériaux
- Capteurs, MEMS
- Polymère conducteur
- Dépôt d'oxyde
- Céramique & Verre
- Batteries
- Electrodes
- Photovoltaïque

Spécifications :

• Un micro-switch permet d'assurer l'injection du courant à partir du moment où toutes les pointes sont en contact
• La mesure est effectuée par un appareil externe de type Keithley qui peut faire partie de la fourniture
• Le système peut être complété par le logiciel de mesure et d'affichage des résultats
• Parfait pour pour laboratoires, universités, centres de recherche... dans le domaine caractérisation de matériaux
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Spécifications :

• Matériau des pointes défini selon type de couche à mesurer
• Choix des paramètres : Espacements de pointes (pitch), finesses de bout, pression des pointes
• Terminaisons : Fils volants, Banana jacks, Triax...
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