TEST SOUS POINTESAccessoires de testsChucks spécifiques

TRXCHUCK Chuck triaxial

Référence

TRXCHUCK

Désignation

Chuck triaxial

APPLICATIONS

Tests à très faible courant

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Description

Le chuck triaxial permet des mesures jusqu'au fA avec l'utilisation de micropositionneurs à bras triaxial et d'une boite noire isolant de la lumière et des perturbations magnétiques.

- Il est composé de trois parties dont une partie médiane polarisable
- Disponible en version 150-200-300mm
- Le chuck triaxial existe également en version haute température associé à un chuck chauffant ou tri-temp
- Compatible avec la plupart de nos stations en remplacement du chuck standard pour des mesures de caractérisation très faible courant.

Spécifications techniques

Taille du wafer

Puce individuelle, wafer partiel, 300 mm max

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