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SP150 Micropositionneur submicronique ultra-stable SP150

Référence

SP150

Désignation

Micropositionneur submicronique ultra-stable SP150

APPLICATIONS

Mesures IV/CV & Analyse de défaillance

Tests à très faible courant

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Description

Micropositionneur de haute précision et ultra-stable avec molettes de mouvements en ligne, permet de poser des pointes sur des plots ou sur des lignes avec une précision submicronique.

- Descente de la pointe totalement verticale.
- Choix de tête Pivotante P ou Standard (descente avec molette Z).
- Le SP150 représente le micropositionneur le plus abouti actuellement disponible pour des positionnements de très grande précision.
- Les molettes de réglage en ligne avec vis micrométriques (100TPI) permettent une densité optimale sur le plateau.

Références courantes

SP150PM : Tête pivotante, base magnétique
SP150PW : Tête pivotante, base magnétique débrayble
SP150PV : Tête pivotante, base à vide
SP150SM : Tête verticale, base magnétique
SP150SV : Tête verticale, base à vide

DOCUMENTS

SP150 brochure (pdf)

Spécifications techniques

Précision

0,5 µm

Déplacement max X

12,5 mm

Déplacement max Y

12,5 mm

Déplacement max Z

12,5 mm

Résolution

100 TPI

Molette

En ligne

Style de base

Magnétique ou à vide

Type de tête

Pivotante, Verticale ou Articulée

Produits associés

TRXPorte-pointe Triaxial

Porte-pointe à très faible niveau de bruit (± 2 fA lorsque utilisé avec un chuck triaxial et en environnement clos).

Se monte sur les micropositionneurs S725P, S926P, SP100P, SP150P.

MW-SCA50Sonde coaxiale faible courant

Utile pour des mesures faible courant (inf. à 10fA@150°C), cette sonde coaxiale est construite avec des composants micro-ondes. Le faible bruit est obtenu par un dépassement minimal de la pointe (3 mm).

- La pointe (remplaçable) est disponible de 0.5 µm à 20 µm
- En option : Tresse de masse, Kelvin, résistance série/parallèle...

UxTBPorte-pointe Coaxial isolation téflon

Ce porte-pointe coaxial permet de monter une pointe de test avec un angle de 45°.

Il est utile pour des mesures IV faibles bruits grace à son isolation téflon.

PTG20Pointe de test en tungstène

Pointe de test droite avec finesse (tip radius) de 0,5 à 100 µm, le corps rigide en tungstène peut être plié et/ou coupé pour dégager l'espace au dessus dans le cas d'objectif à très courte distance de travail.

- Matériau tungstène, longueur totale 38 mm
- Usage pour tests sous pointes standard sur plots et/ou sur motifs
- Le corps peut être plaquée nickel pour soudure aisée, ajouter suffixe "N" au P/N

CM210Station de test sous pointes manuelle haute précision 8"

La série Checkmate représente les stations de tests sous pointes les plus abouties, disponible jusqu'au wafer 300 mm.

- Toutes les stations sont "upgradables" d'une version à l'autre
- Version manuelle ou semi-automatique
- Test avec carte à pointes compatible
- Caractérisation en température optionelle (-60°C à +300°C)
- Mesures haute tension (HV) et faible courant (fA) possible
- Peut accueillir jusqu'à 8 micropositionneurs DC ou une carte à pointes

RÉFÉRENCES COURANTES

CM210 : Version 200 mm
CM310 : Version 300 mm

HVPPorte-pointe haute tension

Cette série de porte-pointes permet des mesures hautes tensions, jusqu'à 20KV.

Fixation de la pointe par mandrin ou par vis.
Idéal pour des mesures IV sur transistors HT ou diodes HT.

SP150 Micropositionneur submicronique ultra-stable SP150

Mesures IV/CV & Analyse de défaillance

Mesures en forte puissance

Tests à très faible courant

Description

DOCUMENTS

Spécifications techniques

Produits associés

TRXPorte-pointe Triaxial

MW-SCA50Sonde coaxiale faible courant

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HVPPorte-pointe haute tension