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SP150 Micropositionneur submicronique ultra-stable SP150

Référence

SP150

Désignation

Micropositionneur submicronique ultra-stable SP150

APPLICATIONS

Mesures IV/CV & Analyse de défaillance

Mesures en forte puissance

Tests à très faible courant

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Description

Micropositionneur de haute précision et ultra-stable avec molettes de mouvements en ligne, permet de poser des pointes sur des plots ou sur des lignes avec une précision submicronique.

- Descente de la pointe totalement verticale.
- Choix de tête Pivotante P ou Standard (descente avec molette Z).
- Le SP150 représente le micropositionneur le plus abouti actuellement disponible pour des positionnements de très grande précision.
- Les molettes de réglage en ligne avec vis micrométriques (100TPI) permettent une densité optimale sur le plateau.

Références courantes

SP150PM : Tête pivotante, base magnétique
SP150PW : Tête pivotante, base magnétique débrayble
SP150PV : Tête pivotante, base à vide
SP150SM : Tête verticale, base magnétique
SP150SV : Tête verticale, base à vide

DOCUMENTS

SP150 brochure (pdf)

Spécifications techniques

Précision

0,5 µm

Déplacement max X

12,5 mm

Déplacement max Y

12,5 mm

Déplacement max Z

12,5 mm

Résolution

100 TPI

Molette

En ligne

Style de base

Magnétique ou à vide

Type de tête

Pivotante, Verticale ou Articulée

Produits associés

TRXPorte-pointe Triaxial

Porte-pointe à très faible niveau de bruit (± 2 fA lorsque utilisé avec un chuck triaxial et en environnement clos).

Se monte sur les micropositionneurs S725P, S926P, SP100P, SP150P.

MW-SCA50Sonde coaxiale faible courant

Utile pour des mesures faible courant (inf. à 10fA@150°C), cette sonde coaxiale est construite avec des composants micro-ondes. Le faible bruit est obtenu par un dépassement minimal de la pointe (3 mm).

- La pointe (remplaçable) est disponible de 0.5 µm à 20 µm
- En option : Tresse de masse, Kelvin, résistance série/parallèle...

UxTBPorte-pointe Coaxial isolation téflon

Ce porte-pointe coaxial permet de monter une pointe de test avec un angle de 45°.

Il est utile pour des mesures IV faibles bruits grace à son isolation téflon.

PTG20Pointe de test en tungstène

Pointe de test droite avec finesse (tip radius) de 0,5 à 100 µm, le corps rigide en tungstène peut être plié et/ou coupé pour dégager l'espace au dessus dans le cas d'objectif à très courte distance de travail.

- Matériau tungstène, longueur totale 38 mm
- Usage pour tests sous pointes standard sur plots et/ou sur motifs
- Le corps peut être plaquée nickel pour soudure aisée, ajouter suffixe "N" au P/N

CM210Station de test sous pointes manuelle haute précision 8"

La série Checkmate représente les stations de tests sous pointes les plus abouties, disponible jusqu'au wafer 300 mm.

- Toutes les stations sont "upgradables" d'une version à l'autre
- Version manuelle ou semi-automatique
- Test avec carte à pointes compatible
- Caractérisation en température optionelle (-60°C à +300°C)
- Mesures haute tension (HV) et faible courant (fA) possible
- Peut accueillir jusqu'à 8 micropositionneurs DC ou une carte à pointes

RÉFÉRENCES COURANTES

CM210 : Version 200 mm
CM310 : Version 300 mm

HVPPorte-pointe haute tension

Cette série de porte-pointes permet des mesures hautes tensions, jusqu'à 20KV.

Fixation de la pointe par mandrin ou par vis.
Idéal pour des mesures IV sur transistors HT ou diodes HT.