TEST SOUS POINTESAccessoires de testsChucks thermiques

ERS-AC3 Chuck thermique

Référence

ERS-AC3

Désignation

Chuck thermique

APPLICATIONS

Mesures en forte puissance

Tests à très faible courant

Mesures IV/CV & Analyse de défaillance

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Description

Depuis 50 ans ERS développe des chucks thermiques compatible avec toutes les stations de test sous pointe.

Ils possèdent les propriétés suivantes :
- Haute température : 300°C
- Basse température : une technologie brevetée à flux d'air permet le refroidissement jusqu'à -65°C
- Chuck TRIAX pour mesure faible courant (FemtoAmp)
- Chuck Haute tension
- Chuck non magnétique

Spécifications techniques

Taille du wafer

200 ou 300 mm

Gamme de température

-65°C à +300°C

Précision

+/+ 0.05 °C

Stabilité

+/- 0.03 °C

Option

Haute tension, triax

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- Système développé pour la validation design (R&D) et rendement de production
- Configurations : jusqu'à 10 ports DC/Kelvin
- Adaptation possible d'un chuck hautes performances ERS (refroidissement à air, température de -60°C à +300°C)

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- Système développé pour la validation design (R&D) et rendement de production
- Configurations : jusqu'à 4 ports HF (N, S, E, O) et 4 DC
- Chambre locale optionnelle pour blindage EMI et isolation lumineuse

RÉFÉRENCES COURANTES

WL250 : Version 200 mm
WL350 : Version 300 mm
WL250-LE : Version 200 mm avec chambre locale
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