TEST SOUS POINTESAccessoires de testsChucks thermiques

ERS-AC3 Chuck thermique

Référence

ERS-AC3

Désignation

Chuck thermique

APPLICATIONS

Mesures IV/CV & Analyse de défaillance

Produits similaires Demander plus d’information Demander un devis

Description

Depuis 50 ans ERS développe des chucks thermiques compatible avec toutes les stations de test sous pointe.

Ils possèdent les propriétés suivantes :
- Haute température : 300°C
- Basse température : une technologie brevetée à flux d'air permet le refroidissement jusqu'à -65°C
- Chuck TRIAX pour mesure faible courant (FemtoAmp)
- Chuck Haute tension
- Chuck non magnétique

Spécifications techniques

Taille du wafer

200 ou 300 mm

Gamme de température

-65°C à +300°C

Précision

+/+ 0.05 °C

Stabilité

+/- 0.03 °C

Option

Haute tension, triax

Produits associés

CM250Station de test sous pointes semi-automatique 8"

Station de test sous pointes semi-automatique permettant la caractérisation électrique d'un wafer complet jusqu'à 200 mm (8").

- Logiciel de mapping, auto-alignement, reconnaissance de pattern, autofocus...
- Application sur cartes à pointes possible
- Caractérisation en température jusqu'à +600°C
- Mesures hautes tensions (HV - 10kV) et faible courants (fA)
- Système développé pour la validation design (R&D) et rendement de production
- Configurations : jusqu'à 10 ports DC/Kelvin
- Adaptation possible d'un chuck hautes performances ERS (refroidissement à air, température de -60°C à +300°C)

RÉFÉRENCES COURANTES

CM250 : Version 200 mm
CM350 : Version 300 mm

WL250-LEStation de test sous pointes semi-automatique HF 8" avec chambre locale

Station de test sous pointes semi-automatique permettant la caractérisation électrique hautes fréquences d'un wafer complet jusqu'à 200 mm (8").

- Logiciel de mapping, auto-alignement, reconnaissance de pattern, autofocus...
- Application sur cartes à pointes possible
- Caractérisation en température entre -60°C et +300°C
- Mesures HF jusqu'à 110 GHz
- Système développé pour la validation design (R&D) et rendement de production
- Configurations : jusqu'à 4 ports HF (N, S, E, O) et 4 DC
- Chambre locale optionnelle pour blindage EMI et isolation lumineuse

RÉFÉRENCES COURANTES

WL250 : Version 200 mm
WL350 : Version 300 mm
WL250-LE : Version 200 mm avec chambre locale
WL350-LE : Version 300 mm avec chambre locale