ERS-AC3 : Chuck thermique ERS-AC3 : Chuck thermique

Référence

ERS-AC3

Désignation

Chuck thermique

Description

Depuis 50 ans ERS développe des chucks thermiques compatible avec toutes les stations de test sous pointe.

Ils possèdent les propriétés suivantes :
- Haute température : 300°C
- Basse température : une technologie brevetée à flux d'air permet le refroidissement jusqu'à -65°C
- Chuck TRIAX pour mesure faible courant (FemtoAmp)
- Chuck Haute tension
- Chuck non magnétique

Spécifications techniques

Taille du wafer

200 ou 300 mm

Gamme de température

-65°C à +300°C

Précision

+/+ 0.05 °C

Stabilité

+/- 0.03 °C

Option

Haute tension, triax

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- Logiciel de mapping, auto-alignement, reconnaissance de pattern, autofocus...
- Application sur cartes à pointes possible
- Caractérisation en température jusqu'à +600°C
- Mesures hautes tensions (HV - 10kV) et faible courants (fA)
- Système développé pour la validation design (R&D) et rendement de production
- Configurations : jusqu'à 10 ports DC/Kelvin
- Adaptation possible d'un chuck hautes performances ERS (refroidissement à air, température de -60°C à +300°C)

RÉFÉRENCES COURANTES

CM250 : Version 200 mm
CM350 : Version 300 mm
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Station de test sous pointes semi-automatique permettant la caractérisation électrique hautes fréquences d'un wafer complet jusqu'à 200 mm (8").

- Logiciel de mapping, auto-alignement, reconnaissance de pattern, autofocus...
- Application sur cartes à pointes possible
- Caractérisation en température entre -60°C et +300°C
- Mesures HF jusqu'à 110 GHz
- Système développé pour la validation design (R&D) et rendement de production
- Configurations : jusqu'à 4 ports HF (N, S, E, O) et 4 DC
- Chambre locale optionnelle pour blindage EMI et isolation lumineuse

RÉFÉRENCES COURANTES

WL250 : Version 200 mm
WL350 : Version 300 mm
WL250-LE : Version 200 mm avec chambre locale
WL350-LE : Version 300 mm avec chambre locale
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