TEST SOUS POINTESStations de tests sous pointesStations semi-automatiques

CM250 Station de test sous pointes semi-automatique 8"

Référence

CM250

Désignation

Station de test sous pointes semi-automatique 8"

APPLICATIONS

Mesures IV/CV & Analyse de défaillance

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Description

Station de test sous pointes semi-automatique permettant la caractérisation électrique d'un wafer complet jusqu'à 200 mm (8").

- Logiciel de mapping, auto-alignement, reconnaissance de pattern, autofocus...
- Application sur cartes à pointes possible
- Caractérisation en température jusqu'à +600°C
- Mesures hautes tensions (HV - 10kV) et faible courants (fA)
- Système développé pour la validation design (R&D) et rendement de production
- Configurations : jusqu'à 10 ports DC/Kelvin
- Adaptation possible d'un chuck hautes performances ERS (refroidissement à air, température de -60°C à +300°C)

RÉFÉRENCES COURANTES

CM250 : Version 200 mm
CM350 : Version 300 mm

DOCUMENTS

CM250 brochure (pdf)

Spécifications techniques

Taille de l'échantillon

200 mm

Maintien de l'échantillon

Anneaux de vide, réglage par zones

Mouvement du chuck

Semi-automatique

Déplacement X-Y du chuck

200 mm

Matériau du chuck

Nickel

Résolution

0.5 µm

Précision

5 µm

Déplacement Z du chuck

12.5 mm

Répétabilité Z chuck

1 µm

Réglage de planéité du chuck

Oui

Planéité

< 10 µm

Réglage théta

+/- 7.5 °

Résolution théta

0.000035 °

Répétabilité théta

< 1.5 µm

Ajustement Z du plateau

38mm avec blocage

Manette contact/non contact du plateau

4 mm avec une répétabilité de +/- 1 µm

Matériau du plateau

Aluminium (bases à vide seulement)

Type de mouvement du pont optique

Motorisé

Déplacement X-Y du pont optique

X-Y 50x50mm - Résolution 0,02µm

Logiciel

Mapping, auto-alignement, autofocus, reconnaissance de pattern...

Chuck sur glissière pour faciliter le chargement

Oui

Option

Cartes à pointes, boite noire, chuck thermique, chuck triaxial...

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- Choix de tête Pivotante P ou Standard (descente avec molette Z).
- Le SP150 représente le micropositionneur le plus abouti actuellement disponible pour des positionnements de très grande précision.
- Les molettes de réglage en ligne avec vis micrométriques (100TPI) permettent une densité optimale sur le plateau.

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- Descente de la pointe totalement verticale.
- Option tête pivotante (plongée rapide pour pré-positionnement Z puis mouvement fin) ou Standard avec molette Z.
- Les molettes de réglage en ligne avec vis micrométriques (100TPI) permettent une densité optimale sur le plateau.

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