TEST SOUS POINTESStations de tests sous pointesStations semi-automatiques

WL250-LE Station de test sous pointes semi-automatique HF 8" avec chambre locale

Référence

WL250-LE

Désignation

Station de test sous pointes semi-automatique HF 8" avec chambre locale

APPLICATIONS

Test sous pointes en gamme HF & Microwave

Mesures IV/CV & Analyse de défaillance

Mesures en forte puissance

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Description

Station de test sous pointes semi-automatique permettant la caractérisation électrique hautes fréquences d'un wafer complet jusqu'à 200 mm (8").

- Logiciel de mapping, auto-alignement, reconnaissance de pattern, autofocus...
- Application sur cartes à pointes possible
- Caractérisation en température entre -60°C et +300°C
- Mesures HF jusqu'à 110 GHz
- Système développé pour la validation design (R&D) et rendement de production
- Configurations : jusqu'à 4 ports HF (N, S, E, O) et 4 DC
- Chambre locale optionnelle pour blindage EMI et isolation lumineuse

RÉFÉRENCES COURANTES

WL250 : Version 200 mm
WL350 : Version 300 mm
WL250-LE : Version 200 mm avec chambre locale
WL350-LE : Version 300 mm avec chambre locale

DOCUMENTS

WL250-LE brochure (pdf)

Spécifications techniques

Taille de l'échantillon

200 mm

Maintien de l'échantillon

Trous de vide, réglage par zones

Mouvement du chuck

Semi-automatique

Déplacement X-Y du chuck

200 mm

Matériau du chuck

Nickel

Résolution

0.5 µm

Précision

5 µm

Déplacement Z du chuck

12.5 µm

Répétabilité Z chuck

1 µm

Réglage de planéité du chuck

Oui

Planéité

< 10 µm

Réglage théta

+/- 7.5 °

Résolution théta

0.000035 °

Répétabilité théta

< 1.5 µm

Ajustement Z du plateau

38mm avec blocage

Manette contact/non contact du plateau

4 mm avec une répétabilité de +/- 1 µm

Matériau du plateau

Acier pour micropositionneurs à vide ou magnétique

Type de mouvement du pont optique

Motorisé

Déplacement X-Y du pont optique

X-Y 50x50mm - Résolution 0,02µm

Chuck de calibration

1 chuck de calibration avec réglage angulaire indépendant

Chuck sur glissière pour faciliter le chargement

Oui

Chambre locale

Oui

Option

Cartes à pointes, boite noire, chuck thermique, chuck triaxial...

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Ce micropositionneur est spécifiquement conçu pour recevoir des pointes multicontact de configuration coplanaire, il dispose de déplacements de 25mm sur chaque axe et d'un système de prévention de mouvement intempestif de la pointe (cross roller bearing).

- Ultra-stable avec fixation par vis sur le plateau (option base magnétique).
- Molette de réglage de coplanarité pour les pointes multicontact (GS, GSG, GSGSG, ...).
- Disponible avec différentes orientations pour montage de la tête RF (Nord, Sud, Est, Ouest).

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Sa tête trinoculaire permet d'utiliser une caméra, et/ou un laser.

- L'illumination est réalisée par un éclairage traversant à LED
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Une gamme de sondes dédiées RF Microwave de DC à 50GHz en configuration GSG, SG, GS ou ''dual'' (2 sondes sur un micropositionneur).

- Ces sondes sont disponibles pour différents espacements (pitch) de 25 à 1250µm.
- Plusieurs styles de montage sur le micropositionneur
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- Option haute température et forte puissance, nous consulter

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Ce micropositionneur est spécifiquement conçu pour recevoir des pointes multicontact de configuration coplanaire, il dispose de déplacements de 25mm sur chaque axe et d'un système de prévention de mouvement intempestif de la pointe (cross roller bearing).

- Ultra-stable avec fixation par vis sur le plateau (option base magnétique).
- Molette de réglage de co-planarité pour les pointes multixontact (GS, GSG, GSGSG, ...).
- Disponible avec différentes orientations pour montage de la tête RF (Nord, Sud, Est, Ouest).

MWRF-67ASonde RF 67 GHz

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- Ces sondes sont disponibles pour différents espacements (pitch) de 25 à 1250µm.
- Plusieurs styles de montage sur le micropositionneur
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- Disponibles en BeCu ou Tungstène
- Option Non Magnétique
- Option haute température et forte puissance, nous consulter

TA-VIS-9090Table antivibratoire sur coussin d'air

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ERS-AC3Chuck thermique

Depuis 50 ans ERS développe des chucks thermiques compatible avec toutes les stations de test sous pointe.

Ils possèdent les propriétés suivantes :
- Haute température : 300°C
- Basse température : une technologie brevetée à flux d'air permet le refroidissement jusqu'à -65°C
- Chuck TRIAX pour mesure faible courant (FemtoAmp)
- Chuck Haute tension
- Chuck non magnétique