TEST SOUS POINTESStations de tests sous pointesStations manuelles

H150 Station de test sous pointes manuelle 4"

Référence

H150

Désignation

Station de test sous pointes manuelle 4"

APPLICATIONS

Mesures IV/CV & Analyse de défaillance

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Description

Station de tests sous pointes facile à utiliser pour wafers jusqu'à 100mm.

- Déplacement du chuck XY
- Système de levée rapide du plateau
- Accepte jusqu'à 6 micropositionneurs ou carte à pointes
- Support microscope fixe

DOCUMENTS

H150 brochure (pdf)

Spécifications techniques

Maintien de l'échantillon

Anneaux de vide, réglage par zones

Mouvement du chuck

Manuel

Déplacement X-Y du chuck

100 mm

Matériau du chuck

Nickel

Déplacement Z du chuck

Non

Réglage de planéité du chuck

Oui

Planéité

< 10 µm

Réglage théta

360 Degrés

Bloquage en rotation

Non

Manette contact/non contact du plateau

Répétabilité +/- 1 µm

Matériau du plateau

Acier pour micropositionneurs à vide ou magnétique

Déplacement X-Y du pont optique

Optionel

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