TEST SOUS POINTESStations de tests sous pointesStations semi-automatiques

CM465 Station de test sous pointes semi-automatique 6"

Référence

CM465

Désignation

Station de test sous pointes semi-automatique 6"

APPLICATIONS

Mesures IV/CV & Analyse de défaillance

Mesures en forte puissance

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Description

Station de test sous pointes semi-automatique permettant la caractérisation électrique d'un wafer complet jusqu'à 150 mm (6'').

- Logiciel de mapping, auto-alignement, reconnaissance de pattern, autofocus...
- Plateau X-Y piloté par moteur à induction linéaire et encodeur optique de grande précision
- Application sur cartes à pointes possible
- Mesures hautes tensions (HV - 10kV) et faibles courants (fA)
- Système développé pour la validation design (R&D) et rendement de production

DOCUMENTS

CM465 brochure (pdf)

Spécifications techniques

Taille de l'échantillon

6" (150 mm)

Maintien de l'échantillon

Anneaux de vide, réglage par zones

Mouvement du chuck

Semi-automatique

Déplacement X-Y du chuck

150 mm

Matériau du chuck

Nickel

Résolution

0,5 µm

Répétabilité

3 µm

Précision

2 µm

Déplacement Z du chuck

6 mm

Répétabilité Z chuck

1 µm

Réglage de planéité du chuck

Oui

Planéité

< 10 µm

Réglage théta

18 °

Résolution théta

0.000035 °

Répétabilité théta

< 1.5 µm

Ajustement Z du plateau

38mm avec blocage

Manette contact/non contact du plateau

4 mm avec une répétabilité de +/- 1 µm

Matériau du plateau

Acier pour micropositionneurs à vide ou magnétique

Type de mouvement du pont optique

Manuel

Déplacement X-Y du pont optique

X-Y 50x50mm - Résolution 0,02µm

Chuck sur glissière pour faciliter le chargement

Oui

Option

Cartes à pointes, boite noire, chuck thermique, chuck triaxial...

Produits associés

MW-SCA50Sonde coaxiale faible courant

Utile pour des mesures faible courant (inf. à 10fA@150°C), cette sonde coaxiale est construite avec des composants micro-ondes. Le faible bruit est obtenu par un dépassement minimal de la pointe (3 mm).

- La pointe (remplaçable) est disponible de 0.5 µm à 20 µm
- En option : Tresse de masse, Kelvin, résistance série/parallèle...

SP100Micropositionneur haute précision SP100

Ce micropositionneur de haute précision avec ses molettes en ligne permet de poser des pointes de tests sur des plots ou sur des lignes avec une précision de l'ordre du micromètre.

- Descente de la pointe totalement verticale.
- Option tête pivotante (plongée rapide pour pré-positionnement Z puis mouvement fin) ou Standard avec molette Z.
- Les molettes de réglage en ligne avec vis micrométriques (100TPI) permettent une densité optimale sur le plateau.

S926PMicropositionneur de précision S926 avec tête pivotante

Ce micropostionneur permet de poser des pointes de tests sur des plots ou sur des lignes avec une précision de l'ordre du micromètre.
Sa tête pivotante est idéale pour les stations de test sous pointe avec une descente rapide en Z et positionnement fin.

MS12ZMicroscope mono-objectif

Ce microscope est composé d'un mono-objectif avec un zoom interne inclus.
Il permet un grande plage de grossissement sans l'inconvénient de la tourelle pour des applications de tests sous pointes.

- Compact et léger
- Grande distance de travail (idéal pour applications hautes fréquences)
- Montage C pour caméra
- Grande luminosité (éclairage par fibre optique LED)