MW-SCA50Sonde coaxiale faible courant
- La pointe (remplaçable) est disponible de 0.5 µm à 20 µm
- En option : Tresse de masse, Kelvin, résistance série/parallèle...
Référence
CM465
Désignation
Station de test sous pointes semi-automatique 6"
Station de test sous pointes semi-automatique permettant la caractérisation électrique d'un wafer complet jusqu'à 150 mm (6'').
- Logiciel de mapping, auto-alignement, reconnaissance de pattern, autofocus...
- Plateau X-Y piloté par moteur à induction linéaire et encodeur optique de grande précision
- Application sur cartes à pointes possible
- Mesures hautes tensions (HV - 10kV) et faibles courants (fA)
- Système développé pour la validation design (R&D) et rendement de production
Taille de l'échantillon
6" (150 mm)
Maintien de l'échantillon
Anneaux de vide, réglage par zones
Mouvement du chuck
Semi-automatique
Déplacement X-Y du chuck
150 mm
Matériau du chuck
Nickel
Résolution
0,5 µm
Répétabilité
3 µm
Précision
2 µm
Déplacement Z du chuck
6 mm
Répétabilité Z chuck
1 µm
Réglage de planéité du chuck
Oui
Planéité
< 10 µm
Réglage théta
18 °
Résolution théta
0.000035 °
Répétabilité théta
< 1.5 µm
Ajustement Z du plateau
38mm avec blocage
Manette contact/non contact du plateau
4 mm avec une répétabilité de +/- 1 µm
Matériau du plateau
Acier pour micropositionneurs à vide ou magnétique
Type de mouvement du pont optique
Manuel
Déplacement X-Y du pont optique
X-Y 50x50mm - Résolution 0,02µm
Chuck sur glissière pour faciliter le chargement
Oui
Option
Cartes à pointes, boite noire, chuck thermique, chuck triaxial...