CM465      Station de test sous pointes semi-automatique 6"

CM465 : Station de test sous pointes semi-automatique 6 CM465 : Station de test sous pointes semi-automatique 6

Référence

CM465

Désignation

Station de test sous pointes semi-automatique 6"

Description

Station de test sous pointes semi-automatique permettant la caractérisation électrique d'un wafer complet jusqu'à 150 mm (6'').

- Logiciel de mapping, auto-alignement, reconnaissance de pattern, autofocus...
- Plateau X-Y piloté par moteur à induction linéaire et encodeur optique de grande précision
- Application sur cartes à pointes possible
- Mesures hautes tensions (HV - 10kV) et faibles courants (fA)
- Système développé pour la validation design (R&D) et rendement de production

Spécifications techniques

Taille de l'échantillon

6" (150 mm)

Maintien de l'échantillon

Anneaux de vide, réglage par zones

Mouvement du chuck

Semi-automatique

Déplacement X-Y du chuck

150 mm

Matériau du chuck

Nickel

Résolution

0,5 µm

Répétabilité

3 µm

Précision

2 µm

Déplacement Z du chuck

6 mm

Répétabilité Z chuck

1 µm

Réglage de planéité du chuck

Oui

Planéité

< 10 µm

Réglage théta

18 °

Résolution théta

0.000035 °

Répétabilité théta

< 1.5 µm

Ajustement Z du plateau

38mm avec blocage

Manette contact/non contact du plateau

4 mm avec une répétabilité de +/- 1 µm

Matériau du plateau

Acier pour micropositionneurs à vide ou magnétique

Type de mouvement du pont optique

Manuel

Déplacement X-Y du pont optique

X-Y 50x50mm - Résolution 0,02µm

Chuck sur glissière pour faciliter le chargement

Oui

Option

Cartes à pointes, boite noire, chuck thermique, chuck triaxial...

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Ce micropositionneur de haute précision avec ses molettes en ligne permet de poser des pointes de tests sur des plots ou sur des lignes avec une précision de l'ordre du micromètre.

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- Compact et léger
- Grande distance de travail (idéal pour applications hautes fréquences)
- Montage C pour caméra
- Grande luminosité (éclairage par fibre optique LED)
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