TEST SOUS POINTESAccessoires de testsChucks thermiques

S1080 Contrôleur de température

Référence

S1080

Désignation

Contrôleur de température

APPLICATIONS

Mesures IV/CV & Analyse de défaillance

Mesures sous pointes et sous vide

Test sous pointes en gamme HF & Microwave

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Description

Ce chuck thermique tri temp permet une caractérisation en température complète des dispositifs dans une plage de température comprise entre -60°C et +300°C.

- Contrôle de la température sur écran tactile ou en remote
- Rapidité de changement d'état (chaud / froid)
- Possibilité de chauffage par rampe (paliers de températures)

Références courantes

S1080C : Gestion du chauffage et du refroidissement • Nécessite un chiller
S1080H : Gestion du chauffage uniquement • Nécessite un refroidisseur (temp >150°C)

DOCUMENTS

S1080 brochure (pdf)

Spécifications techniques

Gamme de température

-60°C à +300°C (selon configuration)

Résolution

0.1 °C

Précision

0.5 °C

Contrôle

Ecran tactile

Communication

RS232

Intégration

Compatible rack 19"

Produits associés

CM250Station de test sous pointes semi-automatique 8"

Station de test sous pointes semi-automatique permettant la caractérisation électrique d'un wafer complet jusqu'à 200 mm (8").

- Logiciel de mapping, auto-alignement, reconnaissance de pattern, autofocus...
- Application sur cartes à pointes possible
- Caractérisation en température jusqu'à +600°C
- Mesures hautes tensions (HV - 10kV) et faible courants (fA)
- Système développé pour la validation design (R&D) et rendement de production
- Configurations : jusqu'à 10 ports DC/Kelvin
- Adaptation possible d'un chuck hautes performances ERS (refroidissement à air, température de -60°C à +300°C)

RÉFÉRENCES COURANTES

CM250 : Version 200 mm
CM350 : Version 300 mm

WL250-LEStation de test sous pointes semi-automatique HF 8" avec chambre locale

Station de test sous pointes semi-automatique permettant la caractérisation électrique hautes fréquences d'un wafer complet jusqu'à 200 mm (8").

- Logiciel de mapping, auto-alignement, reconnaissance de pattern, autofocus...
- Application sur cartes à pointes possible
- Caractérisation en température entre -60°C et +300°C
- Mesures HF jusqu'à 110 GHz
- Système développé pour la validation design (R&D) et rendement de production
- Configurations : jusqu'à 4 ports HF (N, S, E, O) et 4 DC
- Chambre locale optionnelle pour blindage EMI et isolation lumineuse

RÉFÉRENCES COURANTES

WL250 : Version 200 mm
WL350 : Version 300 mm
WL250-LE : Version 200 mm avec chambre locale
WL350-LE : Version 300 mm avec chambre locale

S1160B-8NStation de test sous pointes manuelle 8"

Station de test sous pointes pour analyses de précision telles que IV, CV, sur puces seules, sur wafers, sur composants...
Modulaire, la S1160 permet d'accueillir plusieurs options et accessoires pour une multitudes d'applications (température, mesures faibles courants...).

- Elévation rapide du plateau par bras manuel (contact / non contact)
- Accepte microscopes binoculaire et trinoculaire
- Wafers jusqu'à 8'' (Wafers 200mm)
- Réglage angulaire du Wafer
- Permet d'accueillir jusqu'à 8 micropositionneurs DC ou une carte à pointes
- Châssis massif pour une meilleure stabilité

REFERENCES COURANTES

S1160A-8N : Mouvement du pont optique pour microscope à tourelle
S1160B-8N : Mouvement du pont optique pour microscope trinoculaire stéréozoom
S1160C-8N : Pont optique fixe pour microscope trinoculaire stéréozoom

CM210Station de test sous pointes manuelle haute précision 8"

La série Checkmate représente les stations de tests sous pointes les plus abouties, disponible jusqu'au wafer 300 mm.

- Toutes les stations sont "upgradables" d'une version à l'autre
- Version manuelle ou semi-automatique
- Test avec carte à pointes compatible
- Caractérisation en température optionelle (-60°C à +300°C)
- Mesures haute tension (HV) et faible courant (fA) possible
- Peut accueillir jusqu'à 8 micropositionneurs DC ou une carte à pointes

RÉFÉRENCES COURANTES

CM210 : Version 200 mm
CM310 : Version 300 mm