WL350-LE      Station de test sous pointes semi-automatique HF 12" avec chambre locale

WL350-LE : Station de test sous pointes semi-automatique HF 12
WL350-LE : Station de test sous pointes semi-automatique HF 12

Référence

WL350-LE

Désignation

Station de test sous pointes semi-automatique HF 12" avec chambre locale

Description

Station de test sous pointes semi-automatique permettant la caractérisation électrique hautes fréquences d'un wafer complet jusqu'à 300 mm (12").

- Logiciel de mapping, auto-alignement, reconnaissance de pattern, autofocus...
- Application sur cartes à pointes possible
- Caractérisation en température entre -60°C et +300°C
- Mesures HF jusqu'à 110 GHz
- Système développé pour la validation design (R&D) et rendement de production
- Configurations : jusqu'à 4 ports HF (N, S, E, O) et 4 DC
- Chambre locale optionnelle pour blindage EMI et isolation lumineuse

RÉFÉRENCES COURANTES

WL250 : Version 200 mm
WL350 : Version 300 mm
WL250-LE : Version 200 mm avec chambre locale
WL350-LE : Version 300 mm avec chambre locale

DOCUMENTS

Spécifications techniques

Taille de l'échantillon

300 mm

Maintien de l'échantillon

Trous de vide, réglage par zones

Mouvement du chuck

Semi-automatique

Déplacement X-Y du chuck

200 mm

Matériau du chuck

Nickel

Résolution

0.5 µm

Précision

5 µm

Déplacement Z du chuck

12.5 µm

Répétabilité Z chuck

1 µm

Réglage de planéité du chuck

Oui

Planéité

< 10 µm

Réglage théta

+/- 7.5 °

Résolution théta

0.000035 °

Répétabilité théta

< 1.5 µm

Ajustement Z du plateau

38mm avec blocage

Manette contact/non contact du plateau

4 mm avec une répétabilité de +/- 1 µm

Matériau du plateau

Acier pour micropositionneurs à vide ou magnétique

Type de mouvement du pont optique

Motorisé

Déplacement X-Y du pont optique

X-Y 50x50mm - Résolution 0,02µm

Chuck de calibration

1 chuck de calibration avec réglage angulaire indépendant

Chuck sur glissière pour faciliter le chargement

Oui

Chambre locale

Oui

Option

Cartes à pointes, boite noire, chuck thermique, chuck triaxial...

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Pour toute information, devis, commande ou demande de rendez-vous avec un spécialiste technico-commercial. +33 (0)476 561 617

5 rue de la Verrerie

38120 Le Fontanil-Cornillon

Grenoble / France

Fax : +33(0) 476 757 484

RCS Grenoble B 381 001 171 - APE 4652Z

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