QUADPRO2A      Système de mesure 4 pointes semi-automatique en température

QUADPRO2A : Système de mesure 4 pointes semi-automatique en température
QUADPRO2A : Système de mesure 4 pointes semi-automatique en température

Référence

QUADPRO2A

Désignation

Système de mesure 4 pointes semi-automatique en température

Description

Système semi-automatique de mesure 4 pointes en ligne en température sur échantillon allant de 10mm à 300mm de diamètre. Capable de mesurer des gammes de résistance de surface de 10μΩ/sq à 10GΩ/sq. Plusieurs versions possibles pour optimiser la précision sur la mesure en fonction des gammes testées.

Spécifications:

• Mesure V/I, résistance de feuille, résistivité ou épaisseur
• Rapports Moyenne, Écart-type, Minimum, Maximum et 3Sigma pour l'ensemble de données
• Mesures du coefficient de température de résistance (TCR)
• Cartographie 2D automatisée, cartographie 3D et coupe transversale
• Ultra haute précision et répétabilité
• Cartographie comparative

L'option TCR

L'option Coefficient de température de résistance intègre le contrôle de la température de l'échantillon ainsi que le contrôle automatisé du courant injecté et les calculs de résistance.
Intégré à un système de chuck thermique, le test balaie automatiquement les températures sur une large gamme sans déplacer les pointes de test. Les mesures sont prises à chaque températures cibles et les résultats sont tracés sur un graphique. Le TCR est exprimé en parties par million (PPM).
Les utilisateurs définissent la plage de température, les paliers, et le delay pour chaque point de test avant d'effectuer une mesure. Une variété de chuck thermiques sont disponibles pour définir la plage et la résolution allant de la température ambiante à 300°C, avec une résolution de 1°.
Les données peuvent être imprimées ou exportées vers une feuille de calcul pour une analyse plus approfondie.



DOCUMENTS

Spécifications techniques

Taille du wafer

Jusqu'à 300 mm

Gamme de résistance surfacique

1 µohm/sq à 10 Gohm/sq

Maintien de l'échantillon

Vide

Type de mouvement

Semi-automatique

Compatibilité

Tête SP4 et HT4

SMU

Keithley 2400, 2600, 2182 ou 2636

Logiciel

Gestion de la mesure, calcul, analyse, mapping, contrôle de température

Licence

Multi-postes

Calcul des paramètres

Res (Ω.cm), R (Ω/sq), V/I, T (cm)

Export des données

CSV

Vide

25 in Hg - 1/4" OD

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Spécifications :

• Matériau des pointes défini selon type de couche à mesurer
• Choix des paramètres : Espacements de pointes (pitch), finesses de bout, pression des pointes
• Terminaisons : Fils volants, Banana jacks, Triax...
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