TEST SOUS POINTESStations de tests sous pointesStations manuelles

S1160B-8N Station de test sous pointes manuelle 8"

Référence

S1160B-8N

Désignation

Station de test sous pointes manuelle 8"

APPLICATIONS

Test sous pointes d'un substrat non plat

Mesures IV/CV & Analyse de défaillance

Tests à très faible courant

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Description

Station de test sous pointes pour analyses de précision telles que IV, CV, sur puces seules, sur wafers, sur composants...
Modulaire, la S1160 permet d'accueillir plusieurs options et accessoires pour une multitudes d'applications (température, mesures faibles courants...).

- Elévation rapide du plateau par bras manuel (contact / non contact)
- Accepte microscopes binoculaire et trinoculaire
- Wafers jusqu'à 8'' (Wafers 200mm)
- Réglage angulaire du Wafer
- Permet d'accueillir jusqu'à 8 micropositionneurs DC ou une carte à pointes
- Châssis massif pour une meilleure stabilité

REFERENCES COURANTES

S1160A-8N : Mouvement du pont optique pour microscope à tourelle
S1160B-8N : Mouvement du pont optique pour microscope trinoculaire stéréozoom
S1160C-8N : Pont optique fixe pour microscope trinoculaire stéréozoom

DOCUMENTS

S1160 brochure (pdf)

Spécifications techniques

Taille de l'échantillon

200 mm

Maintien de l'échantillon

Anneaux de vide, réglage par zones

Mouvement du chuck

Manuel

Déplacement X-Y du chuck

200 mm

Matériau du chuck

Nickel

Résolution

<1μm (0,001mm) @ 250μm/tour

Déplacement Z du chuck

Non

Réglage de planéité du chuck

Oui

Planéité

< 10 µm

Réglage théta

360 Degrés

Bloquage en rotation

Non

Ajustement Z du plateau

38 mm

Manette contact/non contact du plateau

10 mm avec une répétabilité de +/- 1 µm

Matériau du plateau

Acier pour micropositionneurs à vide ou magnétique

Déplacement X-Y du pont optique

X-Y 50x50mm - Résolution 10µm

Produits associés

MW-DBBoite noire personnalisée

Pour les systèmes de test sous pointes non équipés de chambre locale, Microworld offre des boites noires permettant d'isoler les stations de tests sous pointes ou tout autre système.

- Isolation électrique et lumineuse
- Sécurité utilisateur pour utilisation en haute tension
- Panneaux de connecteurs traversants
- Passage de câble col de cygne
- Taille et design sur demande

TRXPorte-pointe Triaxial

Porte-pointe à très faible niveau de bruit (± 2 fA lorsque utilisé avec un chuck triaxial et en environnement clos).

Se monte sur les micropositionneurs S725P, S926P, SP100P, SP150P.

TRXCHUCKChuck triaxial

Le chuck triaxial permet des mesures jusqu'au fA avec l'utilisation de micropositionneurs à bras triaxial et d'une boite noire isolant de la lumière et des perturbations magnétiques.

- Il est composé de trois parties dont une partie médiane polarisable
- Disponible en version 150-200-300mm
- Le chuck triaxial existe également en version haute température associé à un chuck chauffant ou tri-temp
- Compatible avec la plupart de nos stations en remplacement du chuck standard pour des mesures de caractérisation très faible courant.

S725PMicropositionneur S725 avec tête pivotante

Ce micropositionneur permet de positionner des pointe à des plots et lignes de dimension > 20 µm.
La tête pivotante est conçue pour une plongée rapide en Z avant positionnement fin.

S926PMicropositionneur de précision S926 avec tête pivotante

Ce micropostionneur permet de poser des pointes de tests sur des plots ou sur des lignes avec une précision de l'ordre du micromètre.
Sa tête pivotante est idéale pour les stations de test sous pointe avec une descente rapide en Z et positionnement fin.

SMZ171Microscope stéréozoom

Microscope stéréozoom à grossissement modéré pour faciliter le positionnement des pointes de tests.

- Très grande distance de travail (WD = 110mm)
- Montage C pour caméra numérique (version trinoculaire)
- Large gamme d'objectifs et d'oculaires pour tout grossissement
- Eclairage à LED ou fibre optique disponible

TA-VIS-7575Table antivibratoire sur coussin d'air

Table montée sur coussins d'air permettant un amortissement des vibrations du sol pour de l'analyse sous pointes de grande précision ou de l'inspection optique.

- Plateau de plusieurs dimensions selon poids et taille de l'équipement
- Rattrapage automatique du niveau horizontal

S1080Contrôleur de température

Ce chuck thermique tri temp permet une caractérisation en température complète des dispositifs dans une plage de température comprise entre -60°C et +300°C.

- Contrôle de la température sur écran tactile ou en remote
- Rapidité de changement d'état (chaud / froid)
- Possibilité de chauffage par rampe (paliers de températures)

MOTICAM1080XCaméra numérique

Cette caméra est très utile pour une vison en direct pour faciliter la pose de pointes.

- Compatible avec nos microscopes trinoculaires
- Montage C
- Multi-sorties pour vision directe sur moniteur (HMDI) et USB