CM350      Station de test sous pointes semi-automatique 12"

CM350 : Station de test sous pointes semi-automatique 12 CM350 : Station de test sous pointes semi-automatique 12

Référence

CM350

Désignation

Station de test sous pointes semi-automatique 12"

Description

Station de test sous pointes semi-automatique permettant la caractérisation électrique d'un wafer complet jusqu'à 300 mm (12").

- Logiciel de mapping, auto-alignement, reconnaissance de pattern, autofocus...
- Application sur cartes à pointes possible
- Caractérisation en température jusqu'à +600°C
- Mesures hautes tensions (HV - 10kV) et faible courants (fA)
- Système développé pour la validation design (R&D) et rendement de production
- Configurations : jusqu'à 10 ports DC/Kelvin
- Adaptation possible d'un chuck hautes performances ERS (refroidissement à air, température de -60°C à +300°C)

RÉFÉRENCES COURANTES

CM250 : Version 200 mm
CM350 : Version 300 mm

Spécifications techniques

Taille de l'échantillon

300 mm

Maintien de l'échantillon

Anneaux de vide, réglage par zones

Mouvement du chuck

Semi-automatique

Déplacement X-Y du chuck

300 mm

Matériau du chuck

Nickel

Résolution

0.5 µm

Précision

5 µm

Déplacement Z du chuck

12.5 mm

Répétabilité Z chuck

1 µm

Réglage de planéité du chuck

Oui

Planéité

< 10 µm

Réglage théta

+/- 7.5 °

Résolution théta

0.000035 °

Répétabilité théta

< 1.5 µm

Ajustement Z du plateau

38mm avec blocage

Manette contact/non contact du plateau

10 mm avec une répétabilité de +/- 1 µm

Matériau du plateau

Aluminium (bases à vide seulement)

Type de mouvement du pont optique

Motorisé

Déplacement X-Y du pont optique

X-Y 50x50mm - Résolution 0,02µm

Logiciel

Mapping, auto-alignement, autofocus, reconnaissance de pattern...

Chuck sur glissière pour faciliter le chargement

Oui

Option

Cartes à pointes, boite noire, chuck thermique, chuck triaxial...

Produits associés

Boite noire personnalisée

MW-DBBoite noire personnalisée

Pour les systèmes de test sous pointes non équipés de chambre locale, Microworld offre des boites noires permettant d'isoler les stations de tests sous pointes ou tout autre système.

- Isolation électrique et lumineuse
- Sécurité utilisateur pour utilisation en haute tension
- Panneaux de connecteurs traversants
- Passage de câble col de cygne
- Taille et design sur demande
Micropositionneur submicronique ultra-stable SP150

SP150Micropositionneur submicronique ultra-stable SP150

Micropositionneur de haute précision et ultra-stable avec molettes de mouvements en ligne, permet de poser des pointes sur des plots ou sur des lignes avec une précision submicronique.

- Descente de la pointe totalement verticale.
- Choix de tête Pivotante P ou Standard (descente avec molette Z).
- Le SP150 représente le micropositionneur le plus abouti actuellement disponible pour des positionnements de très grande précision.
- Les molettes de réglage en ligne avec vis micrométriques (100TPI) permettent une densité optimale sur le plateau.
Porte-pointe Triaxial

TRXPorte-pointe Triaxial

Porte-pointe à très faible niveau de bruit (± 2 fA lorsque utilisé avec un chuck triaxial et en environnement clos).

Se monte sur les micropositionneurs S725P, S926P, SP100P, SP150P.
Chuck triaxial

TRXCHUCKChuck triaxial

Le chuck triaxial permet des mesures jusqu'au fA avec l'utilisation de micropositionneurs à bras triaxial et d'une boite noire isolant de la lumière et des perturbations magnétiques.

- Il est composé de trois parties dont une partie médiane polarisable
- Disponible en version 150-200-300mm
- Le chuck triaxial  existe également en version haute température associé à un chuck chauffant ou tri-temp
- Compatible avec la plupart de nos stations en remplacement du chuck standard pour des mesures de caractérisation très faible courant.
Micropositionneur haute précision SP100

SP100Micropositionneur haute précision SP100

Ce micropositionneur de haute précision avec ses molettes en ligne permet de poser des pointes de tests sur des plots ou sur des lignes avec une précision de l'ordre du micromètre.

- Descente de la pointe totalement verticale.
- Option tête pivotante (plongée rapide pour pré-positionnement Z puis mouvement fin) ou Standard avec molette Z.
- Les molettes de réglage en ligne avec vis micrométriques (100TPI) permettent une densité optimale sur le plateau.
Microscope mono-objectif

MS12ZMicroscope mono-objectif

Ce microscope est composé d'un mono-objectif avec un zoom interne inclus.
Il permet un grande plage de grossissement sans l'inconvénient de la tourelle pour des applications de tests sous pointes.


- Compact et léger
- Grande distance de travail (idéal pour applications hautes fréquences)
- Montage C pour caméra
- Grande luminosité (éclairage par fibre optique LED)
Contrôleur de température

S1080Contrôleur de température

Ce chuck thermique tri temp permet une caractérisation en température complète des dispositifs dans une plage de température comprise entre -60°C et +300°C.

- Contrôle de la température sur écran tactile ou en remote
- Rapidité de changement d'état (chaud / froid)
- Possibilité de chauffage par rampe (paliers de températures)
Porte-pointe haute tension

HVPPorte-pointe haute tension

Cette série de porte-pointes permet des mesures hautes tensions, jusqu'à 20KV.

Fixation de la pointe par mandrin ou par vis.
Idéal pour des mesures IV sur transistors HT ou diodes HT.
Pour toute information, devis, commande ou demande de rendez-vous avec un spécialiste technico-commercial.
+33 (0)476 561 617

5 rue de la Verrerie

38120 Le Fontanil-Cornillon

Grenoble / France

Fax : +33(0) 476 757 484

RCS Grenoble B 381 001 171 - APE 4652Z

TVA FR 48 381 001 171